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一种基于二维半导体材料薄膜晶体管

2022-08-03 14:39:53 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种基于二维半导体材料薄膜晶体管,包括柔性垫底板(1),其特征在于:所述柔性垫底板(1)的顶端设置有氧化物有源层(6),所述氧化物有源层(6)顶端的一侧固定连接有源极(5),所述氧化物有源层(6)顶端的另一侧固定连接有第二金属层(8),所述源极(5)的顶端固定连接有第一金属层(4),所述第二金属层(8)的顶端固定连接有漏极(7);所述氧化物有源层(6)的顶端固定连接有连接层(3),所述连接层(3)的顶端固定连接有透明保护膜(2),所述连接层(3)与第一金属层(4)构成固定连接,所述连接层(3)与漏极(7)构成固定连接。2.根据权利要求1所述的一种基于二维半导体材料薄膜晶体管,其特征在于:所述柔性垫底板(1)的中心线与透明保护膜(2)的中心线在同一垂直面上,所述透明保护膜(2)的长度等于柔性垫底板(1)的长度。3.根据权利要求1所述的一种基于二维半导体材料薄膜晶体管,其特征在于:所述柔性垫底板(1)的顶端固定连接有栅极绝缘层(9),所述柔性垫底板(1)的顶端固定连接有栅极本体(10),所述栅极本体(10)与栅极绝缘层(9)构成固定连接,所述栅极绝缘层(9)与氧化物有源层(6)构成固定连接。4.根据权利要求1所述的一种基于二维半导体材料薄膜晶体管,其特征在于:所述柔性垫底板(1)的中心线与栅极本体(10)的中心线在同一垂直面上,所述柔性垫底板(1)的长度等于栅极绝缘层(9)的长度。5.根据权利要求1所述的一种基于二维半导体材料薄膜晶体管,其特征在于:所述透明保护膜(2)的中心线与栅极绝缘层(9)的中心线在同一垂直面上,所述透明保护膜(2)与栅极绝缘层(9)构成固定连接。6.根据权利要求1所述的一种基于二维半导体材料薄膜晶体管,其特征在于:所述透明保护膜(2)的材质为疏水材质,所述柔性垫底板(1)的材质为疏水材质。

技术总结
本实用新型公开了一种基于二维半导体材料薄膜晶体管,包括柔性垫底板,所述柔性垫底板的顶端设置有氧化物有源层,所述氧化物有源层顶端的一侧固定连接有源极,所述氧化物有源层顶端的另一侧固定连接有第二金属层,所述源极的顶端固定连接有第一金属层。该基于二维半导体材料薄膜晶体管通过设置有透明保护膜,在加工该薄膜晶体管时,在两侧第一金属层和漏极的顶端涂敷连接层,且在连接层的顶端贴敷透明保护膜,并使透明保护膜的两侧紧贴在栅极绝缘层的顶端,使透明保护膜将第一金属层和漏极罩在底部,从而对底端的第一金属层和漏极以及源极和第二金属层进行保护,防止该薄膜晶体管上的组件受损,解决的是防护效果不足的问题。解决的是防护效果不足的问题。解决的是防护效果不足的问题。


技术研发人员:袁地 张静 耿会娟 田俊龙 李胜楠
受保护的技术使用者:安阳师范学院
技术研发日:2022.04.12
技术公布日:2022/8/2
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