一种用于8寸晶圆的抓手的制作方法

技术特征：
1.一种用于8寸晶圆的抓手，其特征在于，包括安装板(1)，在安装板(1)下表面上安装有一导向杆(2)，在导向板下表面上固定连接有一定位板(3)，定位板(3)呈十字设置，在定位板(3)的四端下表面上均固定连接有一导向块(4)，在两个相对的导向块(4)的相对面的下端均开设有一导向面(5)，在安装板(1)两端下表面上均安装有一夹板(6)，在两块夹板(6)相对面的下端均固定连接有一提升板(7)，提升板(7)与夹板(6)呈垂直设置，在安装板(1)下表面上设有用于驱动两块夹板(6)相对运动的驱动机构(8)。2.根据权利要求1所述的一种用于8寸晶圆的抓手，其特征在于，所述驱动机构(8)包括固定连接在安装板(1)下表面上的双轴电机(9)、同轴固定连接在双轴电机(9)两根输出轴上的驱动丝杠(10)和设置在夹板(6)与安装板(1)下表面之间用于限位夹板(6)沿着驱动丝杠(10)长度方向运动的限位件(11)，两根所述驱动丝杠(10)的螺纹旋向相反，两根所述驱动丝杠(10)分别与两个夹板(6)螺纹连接。3.根据权利要求2所述的一种用于8寸晶圆的抓手，其特征在于，所述限位件(11)包括固定连接在安装板(1)下表面上的滑轨(12)、固定连接在夹板(6)上表面上且呈u型设置的滑块(14)、固定连接在滑块(14)靠近开口的一端内壁上的防尘套(15)，所述滑块(14)的开口朝上设置，所述防尘套(15)滑动连接在滑轨(12)上。4.根据权利要求3所述的一种用于8寸晶圆的抓手，其特征在于，在所述安装板(1)上螺纹连接有两个限位螺栓(16)，限位螺栓(16)的下端超出滑轨(12)的下表面且两个限位螺栓(16)分别位于滑轨(12)的两端。5.根据权利要求1所述的一种用于8寸晶圆的抓手，其特征在于，在所述安装板(1)下表面上固定连接有一导向管(17)，导向管(17)内壁截面呈矩形设置，所述导向杆(2)的截面呈矩形设置，导向杆(2)滑动连接在导向管(17)中，在导向管(17)外壁上螺纹连接有一防脱螺栓(18)，防脱螺栓(18)的一端伸入导向管(17)中，在导向杆(2)外壁上沿着导向杆(2)长度方向开设有一长槽(19)，所述防脱螺栓(18)的一端滑动连接在长槽(19)中。6.根据权利要求1所述的一种用于8寸晶圆的抓手，其特征在于，在夹板(6)和安装板(1)之间设有用于定位夹板(6)在安装板(1)上的位置的定位件(20)，定位件(20)包括固定连接在两块夹板(6)相对面上的检测板(21)、两个固定连接在安装板(1)下表面上的第一光电传感器(22)，两个光电传感器的连线与滑轨(12)的长度方向呈平行设置。7.根据权利要求5所述的一种用于8寸晶圆的抓手，其特征在于，在所述定位板(3)上表面上固定连接有检知板(23)，在安装板(1)下表面上固定连接有一支架(24)，在支架(24)上沿着支架(24)高度方向固定连接有两个第二光电传感器(25)。8.根据权利要求7所述的一种用于8寸晶圆的抓手，其特征在于，在所述导向杆(2)上端端面上开设有一安装孔(26)，在安装孔(26)孔底上固定连接有一安装弹簧(27)，安装弹簧(27)的另一端固定连接在安装板(1)下表面上。9.根据权利要求1所述的一种用于8寸晶圆的抓手，其特征在于，在所述安装板(1)侧壁上固定连接有一防护罩(28)。10.根据权利要求1所述的一种用于8寸晶圆的抓手，其特征在于，在所述提升板(7)上表面上设有用于检测晶圆盒上把手的第三光电传感器(29)。

技术总结
本发明提供了一种用于8寸晶圆的抓手，属于晶圆生产设备技术领域，包括安装板，在安装板下表面上安装有一导向杆，在导向板下表面上固定连接有一定位板，定位板呈十字设置，在定位板的四端下表面上均固定连接有一导向块，在两个相对的导向块的相对面的下端均开设有一导向面，在安装板两端下表面上均安装有一夹板，在两块夹板相对面的下端均固定连接有一提升板，提升板与夹板呈垂直设置，在安装板下表面上设有用于驱动两块夹板相对运动的驱动机构，本发明具有方便了对8寸晶圆盒的取放，提高了对晶圆盒的取放稳定性的优点。了对晶圆盒的取放稳定性的优点。了对晶圆盒的取放稳定性的优点。


技术研发人员：余君山 温孟川 龚昱 王伟忠 刘军
受保护的技术使用者：华芯（嘉兴）智能装备有限公司
技术研发日：2022.04.26
技术公布日：2022/8/5