一种过滤器的制作方法

1.本技术涉及生产制造技术领域，具体涉及一种过滤器。


背景技术：

2.在半导体拉晶生产制造中，尤其在生长重度掺杂的硅单晶制造时，单晶炉体尾部排气除了产生以一氧化硅为主杂质外，高浓度的掺杂剂的加入使得挥发物的量大大增加，会有部分挥发物通过真空管道进入泵中，引起泵油变粘稠，泵的工作性能下降使用寿命缩短。
3.为了减少杂质进入真空泵，现有技术是在单晶炉体排气管和真空泵之间安装一个过滤器，过滤器主要采用电磁铁或减速机这两种驱动机构带动滤袋挂架上下谐振滤袋，以清除滤袋表面附着粉尘及颗粒，这种结构的过滤器存在如下缺点：
4.电磁铁驱动机构故障率高，线圈烧毁，绝缘失效，铁芯松动磨损等都会导致驱动失效。减速机驱动机构能耗高。


技术实现要素：

5.本实用新型旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。
6.为此，本实用新型的一个目的提出了一种过滤器。
7.有鉴于此，本实用新型的提出了一种过滤器，包括：壳体，壳体包括过滤腔、进气端和出气端，进气端和出气端均与过滤腔相连通；过滤袋，设置于过滤腔内；传动组件，传动组件的输出端与过滤袋相连接；气动驱动件，气动驱动件与传动件的输入端相连接，气动驱动件用于驱动传动组件运动，进而带动传动组件运动。
8.本技术提供的过滤器包括壳体、过滤袋、传动组件和气动驱动件，过滤袋安装于壳体的过滤腔内，气动驱动件设置于壳体上，气动驱动件的输出端与传动组件的输入端相连接，传动组件与过滤袋相连接，进而实现了通过气动驱动件驱动传动组件运动，传动组件带动过滤袋运动，进而通过过滤袋的往复运动，使得过滤袋表面附着的粉尘及颗粒掉落，提升清除过滤袋表面的附着物的技术效果。进一步地，通过采用气动驱动件实现对过滤袋的驱动，一方面与现有技术中采用的电磁铁驱动机构相比，气动驱动件的使用性能更稳定，使用寿命更长；一方面与现有技术中采用的减速机驱动机构相比，气动驱动件的能耗较低一些，进而达到了降低能耗的作用。
9.在上述技术方案中，进一步地，气动驱动件包括气缸；传动组件包括：齿轮和齿条，齿轮与齿条相啮合，气缸的输出端与齿条相连接；主动轴，主动轴的一端与齿轮相连接；从动轴，主动轴的另一端与从动轴相连接，从动轴与过滤袋相连接；其中，气缸用于驱动齿条往复运动，进而带动齿轮往复转动，齿轮转动带动主动轴往复转动，主动轴带动从动轴和过滤袋往复转动。
10.在该技术方案中，气动驱动件采用气缸；传动组件包括齿轮和与齿轮相啮合的齿条，齿轮穿设于主动轴上，主动轴与从动轴相连接，从动轴与过滤袋相连接。具体运动过程
为：气缸带动齿条伸出，齿条伸出过程中带动齿轮转动，齿轮转动带动主动轴和从动轴跟随转动，进而带动了过滤袋跟随转动；气缸缩回过程中，齿轮反向转动，进而带动主动轴和从动轴反向转动，进而带动过滤袋也跟随向反方向转动。本技术通过气缸与齿轮和齿条配合运动，通过带动过滤袋的扭转运动，对过滤袋表面附着粉尘及颗粒的清理，提升了过滤袋的清理效率。
11.在上述任一技术方案中，进一步地，气缸的数量为两个，齿条的数量为两个，每个气缸均连接一个齿条；两个齿条位于齿轮的两侧，两个气缸的伸出动作交替进行。
12.在该技术方案中，采用两个气缸，每个气缸的输出端均连接有一个齿条，在两个齿条之间设置齿轮，齿轮能够与两侧的齿条进行啮合。通过采用双气缸和双齿条实现对齿轮驱动，其中一个气缸伸出，则另一个气缸缩回，实现对齿轮的驱动。通过设置双气缸，当其中一个气缸出现故障的时候，另一个气缸仍然可以实现对齿轮的驱动，保证设备的正常运行，进而提升了整机运行的稳定性，降低能耗的同时，减少了停机故障率。
13.在上述任一技术方案中，进一步地，壳体还包括：箱体，箱体包括过滤腔，进气端设置于箱体；盖体，盖体盖设于箱体上，出气端设置与盖体上，盖体与箱体之间围成出气腔；其中，待过滤气体经进气端进入箱体，进入过滤腔，经过滤袋过滤后经出气端排出。
14.在该技术方案中，壳体还包括箱体和盖体，盖体盖设于箱体上。进一步地，出气端设置于盖体上，进气端设置于箱体靠近底部一侧。进而实现了带过滤的气体通过底部的进气端进入到过滤腔内，经过过滤袋过后的气体，通过过滤袋的开口进入到出气腔内，再从出气端排出。
15.在上述任一技术方案中，进一步地，壳体还包括：挂架，挂架设置于箱体内，过滤袋的底部与挂架相连接，从动轴与挂架相连接，挂架与箱体的底壁之间围成进气腔，进气端与进气腔相联通；第一通孔，第一通孔开设于挂架上，第一通孔连通进气腔和过滤腔；其中，从动轴带动挂架往复转动，挂架带动过滤袋往复转动。
16.在该技术方案中，壳体还包括挂架和开设于挂架上的第一通孔，挂架于箱体的底壁之间围成进气腔，进气端与进气腔相连通，进而通过进气端进入的待过滤气体直接进入到了进气腔，再通过挂架上的多个第一通孔进入到过滤腔内。
17.在上述任一技术方案中，进一步地，壳体还包括：安装板，设置与箱体相连接，安装板与挂架之间围成过滤腔，过滤袋安装于安装板上，过滤袋的出气端与安装板上的第二通孔相对应；安装孔，开设于安装板上；轴承，套设于从动轴上，轴承位于安装孔的孔壁和从动轴之间。
18.在该技术方案中，壳体还包括安装板，安装板与箱体相连接，安装板和挂架之间是过滤腔，安装板和盖体之间是出气腔，安装板上设置有第二通孔，过滤袋的开口端安装于安装板上，开口于第二通孔对应，过滤袋的另一端安装于挂架上，也即，过滤袋的开口位于出气端。
19.使用过程中，待过滤气体通过进气端进入到进气腔，通过挂架上的第二通孔进入到过滤腔内，通过过滤袋的外部进入到过滤袋的内部，完成过滤后的气体通过过滤袋的开口进入到出气腔，通过出气端排出。本技术中通过安装板和挂架实现了过滤袋的倒置设置，进而也实现了待过滤气体由过滤袋的外部进入到内部完成过滤，进而增加了待过滤气体的容置空间，进而也避免了现有技术中待过滤气体从过滤袋的开进入从过滤袋的侧壁滤出，
由于过滤袋内部空间过于狭小，导致单位容积内的杂质浓度高，容易产生滤袋燃烧的问题，提升了过滤袋的使用寿命，以及整机使用的安全性。
20.进一步地，安装板设置有安装孔，从动轴与安装孔的孔壁之间设置有轴承，从动轴能够相对于安装板转动，进而实现了在从动轴转动过程中，安装板保持不动。
21.在上述任一技术方案中，进一步地，还包括：连接座，设置于挂架上，连接座上开设有槽体结构；拨动杆，设于从动轴的端部，拨动杆位于槽体结构内。
22.在该技术方案中，挂架上设置有连接座，连接座上开设有用于与从动轴连接的槽体结构，槽体结构具有朝向过滤袋一侧的开口；从动轴的端部设置有拨动杆，拨动杆位于槽体结构内，拨动杆与槽体结构能够相对运动。
23.具体地，从动轴在主动轴的驱动下转动，拨动杆转动的同时驱动挂架跟随转动，挂架带动过滤袋的转动，由于过滤袋的开口端与安装板固定连接，且在从动轴的转动过程中，安装板保持不动，故而，过滤袋的开口端是固定的，过滤袋与挂架连接的一端与挂架同步转动，即实现了过滤袋的扭动，进而达到了提升过滤袋外部的附着物进行清理的效果。
24.在上述任一技术方案中，进一步地，还包括：主动拨轮，设置于主动轴的输出端；从动拨轮，设置于从动轴的输入端，主动轴和从动轴通过主动拨轮和从动拨轮相连接。
25.在该技术方案中，主动轴的一端与齿轮连接，主动轴的另一端设置有主动拨轮；从动轴的一端设置有从动拨轮，主动拨轮和从动拨轮相卡接，齿轮带动主动轴转动，主动拨轮跟随主动轴转动，进而实现对从动拨轮的拨动，进而实现带动从动轴转动，实现了驱动过滤袋的扭转，对过滤袋附着物的清理。
26.在上述任一技术方案中，进一步地，还包括：防护罩，防护罩罩设于过滤袋的朝向进气腔的端部。
27.在该技术方案中，通过在过滤袋朝向进气端的一端设置防护罩，实现对过滤袋的保护，避免过滤袋直接接触高温待过滤气体进而对过滤袋造成伤害，通过设置防护罩可以有效提升过滤袋的使用寿命。
28.在上述任一技术方案中，进一步地，传动组件还包括：磁流体，磁流体套设于主动轴上。
29.在该技术方案中，真空泵的过滤器使用在真空工况，必须满足过滤器整体在工作中处于负压无泄漏状态，过滤器外部的驱动机构通过气缸传导到过滤器内部的主动拨轮，通过在主动轴上设置有具有旋转密封功能的磁流体，进而保证传动过程中的密封性。
30.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
31.本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
32.图1示出了本实用新型的一个实施例的过滤器的结构示意图；
33.图2示出了图1所示实施例中的盖体和气动驱动件的结构示意图；
34.图3示出了图2所示实施例中的气动驱动件的结构示意图；
35.图4示出了图2所示实施例中的部分传动组件的结构示意图；
36.图5示出了图1所示实施例中的箱体内的结构示意图；
37.图6示出了图5所示实施例中的箱体内的部分结构示意图；
38.图7示出了图1所示实施例中的去掉壳体后的部分结构示意图。
39.其中，图1至图7中的附图标记与部件名称之间的对应关系为：
40.1过滤器，100壳体，102箱体，104盖体，106过滤腔，108进气端， 110出气端，112挂架，114第一通孔，116连接座，118槽体结构，120拨动杆，122安装板，124第二通孔，200过滤袋，300传动组件，302齿轮， 304齿条，306主动轴，308从动轴，310主动拨轮，312从动拨轮，314磁流体，316齿轮箱体，318套体，320调整螺栓，400防护罩，500气缸，600控制箱，700门体。
具体实施方式
41.为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
42.在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。
43.下面参照图1至图7描述根据本实用新型一些实施例的过滤器1。
44.如图1至图7所示，本实用新型的一个实施例提出了一种过滤器1，包括：壳体100，壳体100包括过滤腔106、进气端108和出气端110，进气端108和出气端110均与过滤腔106相连通；过滤袋200，设置于过滤腔106内；传动组件300，传动组件300的输出端与过滤袋200相连接；气动驱动件，气动驱动件与传动件的输入端相连接，气动驱动件用于驱动传动组件300运动，进而带动传动组件300运动。
45.本技术提供的过滤器1包括壳体100、过滤袋200、传动组件300和气动驱动件，过滤袋200安装于壳体100的过滤腔106内，气动驱动件设置于壳体100上，气动驱动件的输出端与传动组件300的输入端相连接，传动组件300与过滤袋200相连接，进而实现了通过气动驱动件驱动传动组件300运动，传动组件300带动过滤袋200运动，进而通过过滤袋200的往复运动，使得过滤袋200表面附着的粉尘及颗粒掉落，提升清除过滤袋 200表面的附着物的技术效果。进一步地，通过采用气动驱动件实现对过滤袋200的驱动，一方面与现有技术中采用的电磁铁驱动机构相比，气动驱动件的使用性能更稳定，使用寿命更长；一方面与现有技术中采用的减速机驱动机构相比，气动驱动件的能耗较低一些，进而达到了降低能耗的作用。
46.在上述实施例中，进一步地，如图2和图3所示，气动驱动件包括气缸500；如图4至图7所示，传动组件300包括：齿轮302和齿条304，齿轮302与齿条304相啮合，气缸500的输出端与齿条304相连接；主动轴 306，主动轴306的一端与齿轮302相连接；从动轴308，主动轴306的另一端与从动轴308相连接，从动轴308与过滤袋200相连接其中，气缸500 用于驱动齿条304往复运动，进而带动齿轮302往复转动，齿轮302转动带动主动轴306往复转动，主动轴306带动从动轴308和过滤袋200往复转动。
47.在该实施例中，气动驱动件采用气缸500；传动组件300包括齿轮302 和与齿轮302
相啮合的齿条304，齿轮302穿设于主动轴306上，主动轴 306与从动轴308相连接，从动轴308与过滤袋200相连接。具体运动过程为：气缸500带动齿条304伸出，齿条304伸出过程中带动齿轮302转动，齿轮302转动带动主动轴306和从动轴308跟随转动，进而带动了过滤袋200跟随转动；气缸500缩回过程中，齿轮302反向转动，进而带动主动轴306和从动轴308反向转动，进而带动过滤袋200也跟随向反方向转动。本技术通过气缸500与齿轮302和齿条304配合运动，通过带动过滤袋200的扭转运动，对过滤袋200表面附着粉尘及颗粒的清理，提升了过滤袋200的清理效率。
48.在上述任一实施例中，进一步地，如图2和图3所示，气缸500的数量为两个，齿条304的数量为两个，每个气缸500均连接一个齿条304；两个齿条304位于齿轮302的两侧，两个气缸500的伸出动作交替进行。
49.在该实施例中，采用两个气缸500，每个气缸500的输出端均连接有一个齿条304，在两个齿条304之间设置齿轮302，齿轮302能够与两侧的齿条304进行啮合。通过采用双气缸500和双齿条304实现对齿轮302驱动，其中一个气缸500伸出，则另一个气缸500缩回，实现对齿轮302的驱动。通过设置双气缸500，当其中一个气缸500出现故障的时候，另一个气缸500仍然可以实现对齿轮302的驱动，保证设备的正常运行，进而提升了整机运行的稳定性，降低能耗的同时，减少了停机故障率。
50.进一步地，还包括气缸支座，气缸支座设置于壳体100上，气缸500 设置于气缸支座上，通过设置气缸支座，方便气缸500的安装或拆卸。
51.进一步地，还包括齿轮箱体316，齿轮302和齿条304均安装于齿轮箱体316内，齿轮箱体316与气缸支座相连接，
52.进一步地，还包括轴承组，轴承组设置于齿轮箱体316内，位于齿条 304与齿轮302的啮合面的另一侧，通过设置轴承座实现对齿条304的限位，以保证齿轮302和齿条304啮合的有效性。
53.进一步地，还包括调整螺栓320，安装于齿轮箱体316上，位于齿条 304的端部，通过设置调整螺栓320能够对齿条304的前进距离进行调整，进而满足不同的运行需求。
54.在上述任一实施例中，进一步地，壳体100还包括：箱体102，箱体 102包括过滤腔106，进气端108设置于箱体102；盖体104，盖体104盖设于箱体102上，出气端110设置与盖体104上，盖体104与箱体102之间围成出气腔；其中，待过滤气体经进气端108进入箱体102，进入过滤腔106，经过滤袋200过滤后经出气端110排出。
55.在该实施例中，如图1所示，壳体100还包括箱体102和盖体104，盖体104盖设于箱体102上。进一步地，出气端110设置于盖体104上，进气端108设置于箱体102靠近底部一侧。进而实现了带过滤的气体通过底部的进气端108进入到过滤腔106内，经过过滤袋200过后的气体，通过过滤袋200的开口进入到出气腔内，再从出气端110排出。
56.进一步地，所述箱体102设置有连接法兰，盖体104通过连接法兰与箱体102相连接。
57.进一步地，还包括控制箱600，设置于箱体102的外侧壁，控制箱600 与气动驱动件相连接，用于控制气动组件件工作，以完成过滤工作，实现智能haul控制。
58.进一步地，箱体102包括清理口和门体700，门体700用于开启或关闭清理口，通过清理口实现对箱体102内部经过滤残留的杂质进行清理。
59.在上述任一实施例中，进一步地，如图5至图7所示，壳体100还包括：挂架112，挂架112设置于箱体102内，过滤袋200的底部与挂架112 相连接，从动轴308与挂架112相连接，挂架112与箱体102的底壁之间围成进气腔，进气端108与进气腔相联通；第一通孔114，第一通孔114 开设于挂架112上，第一通孔114连通进气腔和过滤腔106；其中，从动轴308带动挂架112往复转动，挂架112带动过滤袋200往复转动。
60.在该实施例中，壳体100还包括挂架112和开设于挂架112上的第一通孔114，挂架112于箱体102的底壁之间围成进气腔，进气端108与进气腔相连通，进而通过进气端108进入的待过滤气体直接进入到了进气腔，再通过挂架112上的多个第一通孔114进入到过滤腔106内。
61.进一步地，第一通孔114的数量为多个，多个第一通孔114均布于挂架112上。具体使用时，炉体排气管道接至过滤器1的进气端108，滤前气体高温介入，现有技术中，因进气端108离过滤袋200位置过近，过滤袋200没有防护措施，进而导致滤袋长期受热变硬失效。本实施例通过设置具有多个第一通孔114的挂架112，进而使得刚刚进入到过滤器1内的高温气体被阻挡后，再进入到过滤腔106经过经过滤袋200进行过滤后排出，避免了高温气体直接进入过滤袋200，进而避免了过滤袋200长期受热变硬失效，从而延长了过滤袋200的使用寿命。
62.在上述任一实施例中，进一步地，如图5至图7所示，壳体100还包括：安装板122，设置与箱体102相连接，安装板122与挂架112之间围成过滤腔106，过滤袋200安装于安装板122上，过滤袋200的出气端110 于安装板122上的第二通孔124相对应。安装孔，开设于安装板122上；轴承，套设于从动轴308上，轴承位于安装孔的孔壁和从动轴308之间。
63.在该实施例中，壳体100还包括安装板122，安装板122与箱体102 相连接，安装板122和挂架112之间是过滤腔106，安装板122和盖体104 之间是出气腔，安装板122上设置有第二通孔124，过滤袋200的开口端安装于安装板122上，开口于第二通孔124对应，过滤袋200的另一端安装于挂架112上，也即，过滤袋200的开口位于出气端110。
64.使用过程中，待过滤气体通过进气端108进入到进气腔，通过挂架112 上的第二通孔124进入到过滤腔106内，通过过滤袋200的外部进入到过滤袋200的内部，完成过滤后的气体通过过滤袋200的开口进入到出气腔，通过出气端110排出。本技术中通过安装板122和挂架112实现了过滤袋 200的倒置设置，进而也实现了待过滤气体由过滤袋200的外部进入到内部完成过滤，进而增加了待过滤气体的容置空间，进而也避免了现有技术中待过滤气体从过滤袋200的开进入从过滤袋200的侧壁滤出，由于过滤袋200内部空间过于狭小，导致单位容积内的杂质浓度高，容易产生滤袋燃烧的问题，提升了过滤袋200的使用寿命，以及整机使用的安全性。
65.进一步地，安装板122设置有安装孔，从动轴308与安装孔的孔壁之间设置有轴承，从动轴308能够相对于安装板122转动，进而实现了在从动轴308转动过程中，安装板122保持不动。
66.进一步地，安装板122上的第二通孔124的数量是多个，多个第二通孔124均布于安装板122上，过滤袋200的数量是多个，多个过滤袋200 与多个第二通孔124一一对应设置，进而提升过滤器1的整体过滤效率。
67.进一步地，还包括轴承座，轴承座与安装板122相连接，轴承座用于固定轴承，以保
证轴承运转的稳定性。
68.在上述任一实施例中，进一步地，如图7所示还包括：连接座116，设置于挂架112上，连接座116上开设有槽体结构118；拨动杆120，设于从动轴308的端部，拨动杆120位于槽体结构118内。
69.在该实施例中，挂架112上设置有连接座116，连接座116上开设有用于与从动轴308连接的槽体结构118，槽体结构118具有朝向过滤袋200 一侧的开口；从动轴308的端部设置有拨动杆120，拨动杆120位于槽体结构118内，拨动杆120与槽体结构118能够相对运动。
70.具体地，从动轴308在主动轴306的驱动下转动，拨动杆120转动的同时驱动挂架112跟随转动，挂架112带动过滤袋200的转动，由于过滤袋200的开口端与安装板122固定连接，且在从动轴308的转动过程中，安装板122保持不动，故而，过滤袋200的开口端是固定的，过滤袋200 与挂架112连接的一端与挂架112同步转动，即实现了过滤袋200的扭动，进而达到了提升过滤袋200外部的附着物进行清理的效果。
71.进一步地，在过滤袋200扭动的过程中，过滤袋的底部会升高，进而带动着与过滤袋200相连接的挂架112向上浮动，通过在连接座116上设置具有一定深度的槽体结构118，进而使得挂架112在向上浮动的过程中，拨动杆120不会对挂架112造成阻挡，也即当过滤袋200处于未扭动状态时，拨动杆120与槽体结构118的底壁具有一定的距离，该距离大于挂架112向上的浮动距离，以保证过滤袋200的扭转，以达到较佳的清理效果。
72.在上述任一实施例中，进一步地，如图7所示，还包括：主动拨轮310，设置于主动轴306的输出端；从动拨轮312，设置于从动轴308的输入端，主动轴306和从动轴308通过主动拨轮310和从动拨轮312相连接。
73.在该实施例中，主动轴306的一端与齿轮302连接，主动轴306的另一端设置有主动拨轮310；从动轴308的一端设置有从动拨轮312，主动拨轮310和从动拨轮312相卡接，齿轮302带动主动轴306转动，主动拨轮 310跟随主动轴306转动，进而实现对从动拨轮312的拨动，进而实现带动从动轴308转动，实现了驱动过滤袋200的扭转，对过滤袋200附着物的清理。
74.在上述任一实施例中，进一步地，如图6所示，还包括：防护罩400，防护罩400罩设于过滤袋200的朝向进气腔的端部。
75.在该实施例中，通过在过滤袋200朝向进气端108的一端设置防护罩 400，实现对过滤袋200的保护，避免过滤袋200直接接触高温待过滤气体进而对过滤袋200造成伤害，通过设置防护罩400可以有效提升过滤袋200 的使用寿命。
76.进一步地，如图4所示，传动组件300还包括：磁流体314，磁流体 314套设于主动轴306上。真空泵的过滤器1使用在真空工况，必须满足过滤器1整体在工作中处于负压无泄漏状态，过滤器1外部的驱动机构通过气缸500传导到过滤器1内部的主动拨轮310，通过在主动轴306上设置有具有旋转密封功能的磁流体314，进而保证传动过程中的密封性。
77.进一步地，传动组件300还包括套体318，套体318穿设于壳体100 的对应孔内，套体318的一端设置连接板，连接板与齿轮箱体316的底部相连接；主动轴306穿设于套体318的安装孔内，磁流体314套设于主动轴306上，位于套体318内，以实现旋转密封。主动拨轮310设置于主动轴306位于套体318外部的一端上。
78.在本实用新型中，术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定。术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；“相连”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
79.在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
80.以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。