光学测定装置、安装基板的组装装置以及组装方法与流程

1.本公开涉及光学测定装置、安装基板的组装装置以及安装基板的组装方法。


背景技术：

2.作为测定被测定物的微小的倾角的装置，已知自动校准仪。自动校准仪对被测定物照射光，使用受光元件对来自被测定物的反射光进行受光。自动校准仪能够基于受光元件上的反射光的受光位置的偏离量来测定被测定物的倾角。
3.在被测定物的倾角中，有作为绕相互正交的3个轴的角度的偏航角、俯仰角以及滚转角。自动校准仪不能测定绕针对被测定物的照射光的光轴的角度即滚转角。
4.在专利文献1中，公开了对被测定物的偏航角、俯仰角以及滚转角进行测定的方法。在专利文献1中，公开了以下(a)、(b)以及(c)的事项。
5.(a)将具有2个反射构件的测定体安装在被测定物，使得相对于照射到被测定物的光的光轴成为双重对称。
6.(b)基于由一个反射构件反射的光来测定俯仰角以及偏航角。
7.(c)基于透过一个反射构件而由另一反射构件反射的光来测定滚转角。
8.在先技术文献
9.专利文献
10.专利文献1：日本特开2010-66090号公报


技术实现要素：

11.本公开的一个方式涉及的光学测定装置具备：激光光源，射出具有第1波长的第1光；拍摄部，射出具有与所述第1波长不同的第2波长的第2光；分离部，接受所述第1光以及所述第2光，使所述第1光以及所述第2光朝向被测定物，并且接受来自所述被测定物的反射光，将所述反射光分离为基于所述第1光的第1反射光和基于所述第2光的第2反射光；受光元件，对由所述分离部分离出的所述第1反射光进行受光；计算部，基于所述受光元件的受光结果，计算出所述被测定物的俯仰角以及偏航角，所述拍摄部通过对由所述分离部分离出的所述第2反射光进行受光来拍摄所述被测定物，所述计算部基于所述拍摄部的拍摄结果来计算所述被测定物的滚转角。
12.本公开的一个方式涉及的安装基板的组装装置具备：激光光源，射出具有第1波长的第1光；拍摄部，射出具有与所述第1波长不同的第2波长的第2光；分离部，接受所述第1光以及所述第2光，使所述第1光以及所述第2光朝向光纤阵列，并且接受来自所述光纤阵列的反射光，将所述反射光分离为基于所述第1光的第1反射光和基于所述第2光的第2反射光；受光元件，对由所述分离部分离出的所述第1反射光进行受光；计算部，基于所述受光元件的受光结果，计算出所述光纤阵列的偏航角以及俯仰角；调整装置，基于所述计算部的计算结果，调整所述光纤阵列相对于基板的姿势；和固定装置，将所述光纤阵列固定于所述基板，所述拍摄部通过对由所述分离部分离出的所述第2反射光进行受光来拍摄所述光纤阵
列，所述计算部基于所述拍摄部的拍摄结果，计算所述光纤阵列的滚转角。
13.本公开的一个方式涉及的安装基板的组装方法包括：将从激光光源射出的具有第1波长的第1光和从拍摄部射出且具有与所述第1波长不同的第2波长的第2光照射到光纤阵列的步骤；将来自所述光纤阵列的反射光分离为基于所述第1光的第1反射光和基于所述第2光的第2反射光的步骤；由受光元件对所述第1反射光进行受光的步骤；由所述拍摄部对所述第2反射光进行受光的步骤；基于由所述受光元件对所述第1反射光的受光结果来计算所述光纤阵列的俯仰角以及偏航角的步骤；基于由所述拍摄部对所述第2反射光的受光结果来计算所述光纤阵列的滚转角的步骤；基于计算出的所述俯仰角、所述偏航角以及所述滚转角来调整所述光纤阵列相对于基板的姿势的步骤；和将所述光纤阵列固定于所述基板的步骤。
附图说明
14.图1是示出实施方式涉及的光学测定装置的概略情况的俯视图。
15.图2是对偏航角的测定原理进行说明的俯视图。
16.图3是光学测定装置具备的受光元件的主视图。
17.图4是示出通过基于光学测定装置的拍摄而生成的被测定物的图像的一个例子的图。
18.图5是示出实施方式涉及的组装装置的俯视图。
19.图6是示出由实施方式涉及的组装装置实现的安装基板的组装步骤的流程图。
20.图7是示出由实施方式涉及的组装装置实现的调整光纤阵列的姿势的步骤的流程图。
21.图8是示出专利文献1所公开的光学测定装置的概略情况的侧视图。
22.符号说明
23.1光学测定装置
24.2偏航/俯仰测定部
25.20光检测装置
26.21激光光源
27.22偏振分离部
28.23透镜
29.24波长板
30.25受光元件
31.25a受光传感器
32.3滚转测定部
33.30拍摄装置
34.31拍摄部
35.32透镜
36.40分离部
37.50透镜
38.60计算部
39.61偏航/俯仰计算部
40.62滚转计算部
41.81被测定物
42.811底面
43.81l近似线
44.81a被照射面
45.82物体
46.821表面
47.82l近似线
48.83光纤阵列
49.831底面
50.85基板
51.851表面
52.90组装装置
53.91调整装置
54.92固定装置
55.921工作台
56.922受光装置
57.923粘接剂涂敷装置
58.924uv照射装置
59.g图像
60.l1第1光
61.l2第2光
62.lr1第1反射光
63.lr2第2反射光
64.p1受光位置
65.p2受光位置
66.s1、s2、s3、s4、s5、s6、s7、s10、s20、s30、s31、s32、s33、s34、s35、s36、s37步骤
67.100光学测定装置
68.101装置主体
69.102测定体
70.103激光光源
71.104非偏振分束器
72.105第1受光元件
73.106偏振分束器
74.107平行化透镜
75.108第2受光元件
76.109计算单元
77.110反射镜
78.111 反射单元
79.112 波长板
80.113 角形棱镜
具体实施方式
81.(专利文献1的公开内容)
82.首先，一边参照图8一边对专利文献1所公开的光学测定装置100进行说明。图8是示出专利文献1所公开的光学测定装置100的概略情况的侧视图。
83.光学测定装置100具备装置主体101以及安装于被测定物的测定体102。
84.装置主体101具备激光光源103、非偏振分束器104、偏振分束器106、平行化透镜107、第1受光元件105、第2受光元件108以及计算单元109。
85.激光光源103射出光。
86.非偏振分束器104是使光的一部分透过并对另一部分进行反射的元件。非偏振分束器104将反射后的光朝向偏振分束器106射出。
87.偏振分束器106是反射具有与给定的偏振面正交的偏振面的光的光学元件。由非偏振分束器104反射后的光是具有给定的偏振面的光，因而该光不被反射而透过偏振分束器106。
88.平行化透镜107将透过偏振分束器106的光平行化而从装置主体101射出。
89.第1受光元件105对来自测定体102的反射光且透过偏振分束器106以及非偏振分束器104后的光(以下称为第1测定光)进行受光。
90.第2受光元件108对来自测定体102的反射光且由偏振分束器106反射后的光(以下称为第2测定光)进行受光。
91.计算单元109基于第2受光元件108的受光结果，计算被测定物的偏航角以及俯仰角。此外，计算单元109基于第2受光元件108的受光结果，计算被测定物的滚转角。
92.测定体102安装于被测定物，使得相对于从装置主体101射出的光的光轴oa成为双重对称。测定体102具备反射镜110以及反射单元111。
93.反射镜110对从装置主体101射出的光的一部分进行反射。
94.反射单元111具备1/4波长板112以及角形棱镜113。
95.1/4波长板112将透过反射镜110后的光的偏振面改变45度而朝向角形棱镜113射出。角形棱镜113对从1/4波长板112射出且入射到角形棱镜113的光进行反射。由角形棱镜113反射的反射光与入射到角形棱镜113的光平行。
96.如上述那样，从装置主体101射出的光的一部分被反射镜110反射。该一部分的光具有给定的偏振面，因而能透过偏振分束器106。该透过后的光的一部分(即，第1测定光)透过非偏振分束器104而由第1受光元件105受光。
97.计算单元109基于第1受光元件105中的第1测定光的受光位置的位移，计算被测定物的偏航角以及俯仰角的位移。
98.此外，如上述那样，从装置主体101射出的光的另一部分透过反射镜110以及1/4波长板112，并由角形棱镜113反射而再次透过1/4波长板112。透过1/4波长板112两次的光的偏振面与从装置主体101射出的光的偏振面正交。因此，透过1/4波长板112两次的光由偏振
分束器106反射。由偏振分束器106反射后的光(即，第2测定光)由第2受光元件108受光。
99.计算单元109基于第2受光元件108中的第2测定光的受光位置的位移，计算被测定物的滚转角的位移。
100.然而，在被测定物的尺寸微小的情况下，不能将测定体安装于被测定物，因而不能利用专利文献1的方法来测定被测定物的倾角。
101.具体地，如上述那样，在使用光学测定装置100来测定被测定物的倾角的情况下，需要将测定体102安装于被测定物。例如，作为硅光子学领域中的构件且将1个以上的光纤捆束而得到的光纤阵列的尺寸为几平方毫米程度。光学测定装置100不能对这样的小到不能安装测定体102的程度的微小的被测定物的倾角进行测定。由此，不能将光纤阵列相对于基板以适当的姿势安装。
102.本公开的目的在于，提供能够对微小尺寸的被测定物的3种倾角进行测定的光学测定装置、安装基板的组装装置以及安装基板的组装方法。
103.如以下说明的那样，根据本公开，能够测定如光纤阵列那样的微小构件的3种倾角，能够相对于基板以适当的姿势安装光纤阵列。
104.(实施方式)
105.以下，一边参照附图一边对本公开的实施方式进行说明。另外，对于在各图中共同的构成要素，标注相同的附图标记，并适当省略它们的说明。
106.＜光学测定装置＞
107.图1是示出实施方式涉及的光学测定装置1的概略情况的俯视图。被测定物81载置在与被测定物81不同的物体82上。光学测定装置1是测定被测定物81的倾角的装置。
108.在本实施方式的说明中，将与物体82的表面821垂直且从表面821远离的方向设为z轴的正方向。此外，如图1所示，将与z轴构成右手坐标系的2个方向之中的一者设为x轴的正方向，并且将另一者设为y轴的正方向。在图1中，从里侧朝向近前的方向为z轴的正方向，向下的方向为x轴的正方向，并且向右的方向为y轴的正方向。
109.光学测定装置1具备光检测装置20、拍摄装置30、分离部40、透镜50以及计算部60。
110.光检测装置20测定与被测定物81的绕z轴的倾角以及绕x轴的倾角有关的数据。详细情况将在后面描述，但在本实施方式中，对被测定物照射的光的光轴沿着y轴，因而绕z轴的倾角为偏航角，绕x轴的倾角为俯仰角，绕y轴的倾角为滚转角。
111.光检测装置20具备激光光源21、偏振分离部22、透镜23、波长板24以及受光元件25。
112.激光光源21是射出具有第1波长的第1光l1的激光射出装置。在本实施方式中，第1光l1是直线偏振光。此外，第1光l1是可见光以外的光，例如是红外光。另外，图1的oa1是从激光光源21射出的第1光l1的光轴。
113.偏振分离部22例如是偏振分束器。偏振分离部22不对具有给定的偏振面的光进行反射而使其透过，并且对具有与给定的偏振面正交的偏振面的光进行反射，改变该光的行进方向而使其透过。在本实施方式中，第1光l1具有给定的偏振面。由此，偏振分离部22不改变第1光l1的行进方向而使从激光光源21射出的第1光l1透过。
114.另一方面，偏振分离部22将第1反射光lr1的行进方向改变为朝向受光元件25并使其透过，第1反射光lr1是由被测定物81反射的反射光且是基于第1光l1的反射光。对于第1
反射光lr1由偏振分离部22反射的理由，在后面描述。
115.透镜23将透过偏振分离部22之后的第1光l1校准成平行光，并且使透过分离部40以及波长板24后的第1反射光lr1聚光于受光元件25。
116.波长板24是1/4波长板。波长板24改变透过偏振分离部22以及透镜23后的第1光l1的偏振方向。其结果，第1光l1从直线偏振光变换成圆偏振光。此外，波长板24改变透过分离部40后的第1反射光lr1的偏振方向。其结果，第1反射光lr1从圆偏振光变换成直线偏振光。另外，透过波长板24后的第1反射光lr1的偏振面与透过波长板24之前的第1光l1的偏振面(上述的给定的偏振面)正交。因此，透过波长板24之后的第1反射光lr1由偏振分离部22反射。
117.受光元件25具备受光传感器25a。受光元件25是通过受光传感器25a受光透过偏振分离部22后的第1反射光lr1的元件。受光元件25只要是能够对第1反射光lrl的受光位置进行检测的元件即可。例如，受光元件25是psd(position sensitive detector，位置敏感探测器)、ccd(charge coupled device，电荷耦合器件)或cmos(complementary metal-oxide semiconductor，互补金属氧化物半导体)。
118.受光元件25将表示受光传感器25a对第1反射光lrl的受光结果的数据输出到计算部60。
119.拍摄装置30是对被测定物81以及物体82进行拍摄的装置。拍摄装置30具备拍摄部31以及透镜32。
120.拍摄部31具备传感器31a。拍摄部31是相机，射出具有第2波长的第2光l2，通过传感器31a对由被测定物81反射的反射光且为基于第2光l2的反射光的第2反射光lr2进行受光，从而拍摄被测定物81以及物体82。第2光l2具有与第1光l1具有的第1波长不同的第2波长。具体地，第2光l2是可见光。另外，图1的oa2是从拍摄部31射出的第2光l2的光轴。
121.拍摄部31基于第2反射光lr2的受光结果即基于拍摄结果，生成显示有被测定物81以及物体82的图像g(参照图4)，并将像g输出到计算部60。拍摄部31是ccd相机或cmos相机等能够将被测定物81的像作为2维信号输出的设备即可。在本实施方式中，图像g为静止图像。
122.透镜32将透过分离部40后的第2反射光lr2聚光于拍摄部31，从而将被测定物81以及物体82的像成像在拍摄部31的传感器31a上。
123.分离部40是分色镜。分离部40改变第1光l1的行进方向而使第1光l1透过，并且不改变第2光l2的行进方向而使第2光l2透过。其结果，分离部40能够将第1光l1以及第2光l2引导至被测定物81。
124.分离部40具备将具有相互不同的波长的光彼此光学地分离的特性，将来自被测定物81的反射光分离为第1反射光lr1和第2反射光lr2。
125.此外，分离部40改变第1反射光lr1的行进方向而使第1反射光lr1透过，并且不改变第2反射光lr2的行进方向而使第2反射光lr2透过。
126.透镜50将透过分离部40后的第1光l1以及第2光l2聚光于被测定物81的被照射面81a。从透镜50照射到被照射面81a的第1光l1的光轴与从透镜50照射到被测定物81的第2光l2的光轴一致。
127.此外，透镜50使由被测定物81反射后的光为平行光并将其引导至分离部40。其结
果，透镜50对被测定物81的像进行校准并将其中继至透镜32。
128.透镜50是消色差透镜等像差校正透镜。通过透镜50为像差校正透镜，从而能够对由第1光l1与第2光l2的波长差引起的色差进行校正。透镜50只要能够将透过分离部40后的第1光l1以及第2光l2聚光于被测定物81，并将由被测定物81反射后的光引导至分离部40，则也可以不必是像差校正透镜。
129.计算部60是具备cpu(central processing unit)和非易失性存储器以及易失性存储器的计算机。cpu读出存储于非易失性存储器的给定的程序，并在易失性存储器展开，通过执行展开后的程序来作为偏航/俯仰计算部61以及滚转计算部62而发挥功能。
130.偏航/俯仰计算部61基于受光元件25的受光结果，计算被测定物81的俯仰角以及偏航角。
131.滚转计算部62基于拍摄部31的拍摄结果来测定被测定物81的滚转角。
132.另外，上述的光检测装置20与偏航/俯仰计算部61一起构成偏航/俯仰测定部2。此外，上述的拍摄装置30与滚转计算部62一起构成滚转测定部3。
133.＜由偏航/俯仰测定部2实现的测定＞
134.图2是对偏航角的测定原理进行说明的俯视图。在图2中，省略了第1光l1的图示。
135.首先，对将第1光l1照射到被测定物81的过程进行说明。激光光源21射出第1光l1。第1光l1透过偏振分离部22，并由透镜23校准而成为平行光。接下来，第1光l1由波长板24变换成圆偏振光。进一步地，第1光l1由分离部40反射。其结果，第1光l1的进方向被改变90度而朝向被测定物81射出。从分离部40射出的第1光l1由透镜50聚光于被测定物81的被照射面81a。
136.接下来，对第1反射光lr1由受光元件25受光的过程进行说明。由被测定物81的被照射面81a反射后的第1反射光lr1由分离部40反射。其结果，第1反射光lr1的行进方向被改变90度而朝向偏振分离部22射出。
137.从分离部40射出的第1反射光lr1由波长板24从圆偏振光变换成直线偏振光。在此，第1反射光lr1被变换成为具有与从激光光源21射出的第1光l1的偏振面正交的偏振面的光。
138.透过波长板24后的第1反射光lr1透过透镜23，由偏振分离部22反射，并朝向受光元件25射出。受光元件25通过受光传感器25a对第1反射光lr1进行受光。
139.以下，对偏航角的测定原理进行说明。以下，设为在被测定物81的被照射面81a与照射到被测定物81的第1光l1的光轴垂直时，被测定物81的偏航角是0度。
140.在偏航角为0度时，第1反射光lr1如在图2中由虚线箭头示出的那样被导光到受光元件25，在受光传感器25a的受光位置p1被受光。另一方面，在偏航角为θz度时，第1反射光lr1如在图2中由实线箭头示出的那样被导光到受光元件25，在受光传感器25a的受光位置p2被受光。
141.图3是光学测定装置1具备的受光元件25的受光传感器25a的主视图。
142.受光位置p2相对于受光位置p1向x轴的负方向移位。在将偏航角为0度时从被照射面81a到受光传感器25a为止的第1反射光lr1的光路长度设为1的情况下，受光位置p1与受光位置p2之间的距离能够由ltanθz来近似。实际上，由于透镜50以及透镜23被配置于第1反射光lr1的光路中途，因而受光位置p1与受光位置p2的距离有可能从通过1tanθz计算出的
值偏离些许。
143.受光元件25将受光位置的数据输出到计算部60。偏航/俯仰计算部61基于来自受光元件25的受光位置的数据和上述的数学式来计算偏航角。偏航/俯仰计算部61也可以计算被测定物81相对于物体82的偏航角以及俯仰角。例如，偏航/俯仰计算部61保持有与物体82的姿势有关的姿势信息。偏航/俯仰计算部61基于计算出的偏航角和姿势信息，计算被测定物81相对于物体82的偏航角。
144.另外，偏航/俯仰测定部2能够与偏航角同样地计算俯仰角。
145.若被照射面81a与照射到被测定物81的第1光l1的光轴垂直时的被测定物81的俯仰角为0度，则俯仰角为0度时，第1反射光lr1由受光传感器25a在受光位置p1受光。此外，在俯仰角从0度倾斜θx度时，受光传感器25a中的第1反射光lr1的受光位置相对于受光位置p1，向z轴的正方向或z轴的负方向移位。其移位量能够使用作为俯仰角为0度时从被测定物81到受光传感器25a为止的第1反射光lr1的光路长度的1，并用1tanθx这一式子来近似。
146.这样，偏航/俯仰计算部61能够与偏航角同样地计算俯仰角。
147.＜由滚转测定部3实现的测定＞
148.图4是示出通过由光学测定装置1实现的拍摄而生成的被测定物81的图像g的一个例子的图。
149.滚转计算部62针对图像g进行图像处理。具体地，滚转计算部62检测被测定物81的底面811，基于检测结果对图像g中的底面811的轮廓进行直线近似，由此求出近似线81l。此外，滚转计算部62检测物体82的表面821，基于检测结果对图像g中的表面821的轮廓进行直线近似，由此求出近似线82l。
150.然后，滚转计算部62计算近似线81l相对于近似线82l的倾角。由此求出滚转角为θy度。
151.＜安装基板的组装装置＞
152.以下，一边参照图5一边对具备上述的光学测定装置1的安装基板的组装装置90进行说明。图5是示出实施方式涉及的组装装置90的俯视图。图5的83是光纤阵列。图5的85是基板。在基板85形成有十几毫米程度的大小的光回路。
153.组装装置90是将光纤阵列83固定于基板85，对安装基板进行组装的装置。
154.组装装置90具备光学测定装置1、调整装置91以及固定装置92。
155.光学测定装置1是测定光纤阵列83相对于基板85的姿势(即，偏航角、俯仰角以及滚转角)的装置。
156.调整装置91经由保持构件(未图示)而保持着光纤阵列83。调整装置91是驱动装置，基于光学测定装置1的测定结果来调整光纤阵列83的位置以及姿势。
157.固定装置92是将光纤阵列83固定于基板85的装置，具备工作台921、受光装置922、粘接剂涂敷装置923、uv照射装置924以及控制装置(未图示)。
158.在工作台921固定有基板85。工作台921安装于移动工作台(未图示)。移动工作台通过控制装置而在xy平面内移动。因此，伴随着移动工作台的移动而工作台921进行移动，即移动基板85进行移动。
159.受光装置922具备受光透镜(未图示)以及光检测器(未图示)。受光装置922通过用光检测器来检测经由受光透镜从基板85上的光回路射出的光，从而测定该光的能量。从该
光回路射出的光是指经由光纤阵列83保持的光纤(未图示)射出并入射到基板85的光回路，在该光回路内导波并从该光回路射出的光。
160.粘接剂涂敷装置923是针对基板85涂敷粘接剂的装置。
161.uv照射装置924是通过对基板85上的粘接剂照射紫外光来使粘接剂固化的装置。uv照射装置924配置在光学测定装置1的上侧，即相对于光学测定装置1配置在z轴的正方向上。即，uv照射装置924配置在物理上不干扰光学测定装置1的位置。
162.控制装置进行固定装置92的整体控制。
163.图6是示出由组装装置90实现的安装基板的组装步骤的流程图。
164.首先，调整装置91对光纤阵列83相对于基板85的姿势进行调整(步骤s10)。在步骤s10的时间点，工作台921位于初始区域。工作台921位于初始区域时，基板85位于适合uv照射装置924朝向基板85照射紫外光的位置。
165.步骤s10包括以下的步骤s1～s7。
166.光学测定装置1使从激光光源21射出的第1光l1和从拍摄部31射出的第2光l2照射在光纤阵列83(步骤s1)。
167.接下来，分离部40将来自光纤阵列83的反射光分离为第1反射光lr1和第2反射光lr2(步骤s2)。
168.接着，受光元件25对第1反射光lr1进行受光(步骤s3)。
169.然后，拍摄部31对第2反射光lr2进行受光(步骤s4)。通过由拍摄部31对第2反射光lr2进行受光，从而拍摄部31能够对光纤阵列83以及基板85进行拍摄。拍摄部31生成显示有光纤阵列83以及基板85的图像，并输出到计算部60。
170.接着，光学测定装置1的计算部60基于受光元件25的受光结果，计算光纤阵列83相对于基板85的偏航角以及俯仰角(步骤s5)。
171.接着，光学测定装置1基于拍摄部31的拍摄结果，计算光纤阵列83相对于基板85的滚转角(步骤s6)。在步骤s6中，光学测定装置1的计算部60基于从拍摄部31输出的图像，计算光纤阵列83的底面831相对于基板85的表面851的倾角。
172.然后，调整装置91基于计算出的偏航角、俯仰角以及滚转角，调整光纤阵列83相对于基板85的姿势，使得光纤阵列83的底面831与基板85的表面851平行(步骤s7)。
173.接下来，光学测定装置1判定光纤阵列83的底面831是否已与基板85的表面851平行(步骤s20)。
174.在光纤阵列83未与基板85平行的情况下(步骤s20的否)，执行步骤s10直到光纤阵列83与基板85平行为止。
175.在光纤阵列83d已与基板85平行的情况下(步骤s20的是)，固定装置92将光纤阵列83固定于基板85(步骤s30)。
176.步骤s30包括以下的步骤s31～s37。
177.在步骤s30中，首先，调整装置91使光纤阵列83向z轴的负方向移动而使其接近基板85的表面851(步骤s31)。
178.接下来，调整装置91以及固定装置92执行主动对准(步骤s32)。主动对准是指，使光纤阵列83移动到xy平面中的给定的位置。给定的位置是指，根据经由光纤射出到基板85的光，基板85上的光回路射出的光的能量成为最大的xy平面中的光纤阵列83的位置。
179.在步骤s32中，首先，固定装置92经由光纤使光射出。然后，根据该光，由受光装置922对基板85上的光回路射出的光进行受光，测定所受光的光的能量。接着，调整装置91在xy平面上对光纤阵列83进行扫描，并且固定装置92探寻测定结果(即，光的能量)成为最大的位置。
180.在主动对准完成的情况下，固定装置92使基板85从初始区域移动到粘接剂涂敷装置923附近(以下称为粘接剂涂敷区域)(步骤s33)。在步骤s33中，固定装置92使移动工作台从初始区域移动到粘接剂涂敷区域。另外，在步骤s33中，光纤阵列83不移动。
181.接下来，粘接剂涂敷装置923在基板85涂敷粘接剂(步骤s34)。
182.接着，固定装置92使基板85移动到初始区域(步骤s35)。在步骤s35中，固定装置92使移动工作台从粘接剂涂敷区域移动到初始区域。
183.接下来，固定装置92再次执行主动对准(步骤s36)。再次执行主动对准的理由是因为，由于移动了基板85一次，光纤阵列83相对于基板85的相对位置会发生偏离。
184.接下来，粘接剂涂敷装置923向基板85上的粘接剂照射紫外光，使粘接剂固化(步骤s37)。粘接剂固化的结果是，光纤阵列83被固定于基板85。
185.经过以上的过程而对安装基板进行组装。
186.如以上说明的那样，光学测定装置1在偏航角以及俯仰角的测定中利用第1光l1，在滚转角的测定中利用第2光l2。此外，光学测定装置1具备分离部40，分离部40将来自被测定物81的反射光分离为基于第1光l1的第1反射光lr1和基于第2光l2的第2反射光lr2。由此，能够测定被测定物81的3种倾角。此外，光学测定装置1基于拍摄部31对被测定物81的拍摄结果来计算偏航角。即，无需在被测定物81安装构件就能够测定偏航角。
187.因此，能够测定微小尺寸的被测定物81的3种倾角。由此，组装装置90能够相对于基板85以适当的姿势安装微小尺寸的光纤阵列83。
188.此外，由于光学测定装置1具有分离部40，因而能够同时测定被测定物81的3种倾角。由此，由于组装装置90具备光学测定装置1，因而能够快速地完成光纤阵列83相对于基板85的姿势的调整。由此，能够提高安装基板的组装效率。
189.拍摄部31生成显示有被测定物81以及物体82的图像g，因而能够以物体82为基准来计算被测定物81的倾角。由此，能够通过简易的方法来测定被测定物81的滚转角。
190.光学测定装置1具备将第1光l1以及第2光l2聚光于被测定物81的透镜50，因而能从相同的方向向被测定物81照射第1光l1以及第2光l2。由此，在测定被测定物81的倾角时，能够将光检测装置20和拍摄装置30相对于被测定物81配置在相同侧。由此，组装装置90具备的各装置的配置位置的自由度变高。
191.例如，在组装装置除偏航角以及俯仰角测定用的装置以外，还具有以与该装置相同的原理测定倾角的装置作为滚转角测定用的装置的情况下，在与调整装置91正对的位置配置滚转角测定用的装置。在该情况下，难以确保受光装置922的配置空间。
192.然而，根据本实施方式，能够将光检测装置20和拍摄装置30相对于被测定物81配置在相同侧，因而能够将受光装置922配置在与调整装置91正对的位置。
193.光检测装置20具备波长板24，波长板24改变透过偏振分离部22后的第1光l1的偏振方向以及第1反射光lr1的偏振方向。因此，偏振分离部22能够仅改变第1光l1和第1反射光lr1之中的第1反射光lr1的行进方向。由此，光检测装置20能够以简单的方法来测定偏航
角以及俯仰角。
194.(变形例)
195.偏振分离部22只要改变第1光l1和透过波长板24后的第1反射光lr1之中的一者的行进方向即可。即，偏振分离部22可以改变第1光l1的行进方向而不改变第1反射光lr1的行进方向。在该情况下，激光光源21配置在图1的受光元件25所在的位置，受光元件25配置在图1的激光光源21所在的位置。
196.另外，分离部40也可以改变第2光l2的行进方向。在该情况下，分离部40改变第2反射光lr2的行进方向。此外，拍摄装置30配置在图1的光检测装置20所在的位置，光检测装置20配置在图1的拍摄装置30所在的位置。
197.从透镜50照射到被测定物81的第1光l1的光轴也可以不必与从透镜50照射到被测定物81的第2光l2的光轴一致，只要第1光l1以及第2光l2相对于被测定物81从相同的方向照射到被测定物81即可。
198.拍摄部31也可以不对物体82进行拍摄而仅对被测定物81进行拍摄。在该情况下，例如可以是，拍摄部31具有倾斜传感器，计算部60以拍摄部31的倾斜为基准，并且基于针对被测定物81的拍摄结果来计算偏航角。
199.拍摄部31也可以实时地生成运动图像，并输出到计算部60。
200.第2光l2只要具有与第1光l1具有的波长不同的波长即可，因而也可以不必是可见光。例如，也可以是，第2光l2为红外光，第1光l1为可见光。
201.计算部60也可以分为计算俯仰角以及偏航角的计算机和计算滚转角的计算机。
202.根据本公开，能够提供能够测定微小尺寸的被测定物的3种倾角的光学测定装置、安装基板的组装装置以及安装基板的组装方法。
203.产业上的可利用性
204.本公开的光学测定装置、安装基板的组装装置以及安装基板的组装方法能够适当地利用于测定微小尺寸的被测定物的倾角的光学测定装置、安装基板的组装装置以及安装基板的组装方法。