推片总成及移载传送设备的制作方法

1.本实用新型大致涉及半导体制备技术领域，尤其是一种推片总成及移载传送设备。


背景技术：

2.晶圆传送盒是在半导体制程中被用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器。晶圆传送盒一般包含底托、标准机械化接口系统(smif,standard mechani cal interface)和外罩，其中，标准机械化接口系统放置在底托上，外罩扣合在底托上并将标准机械化接口系统罩在内部。
3.晶圆传送盒的打开或闭合通常需要借助于移载传送设备。当前的移载传送设备都只能实现开关锁功能(即，将底托与外罩解扣的功能和将底托与外罩锁扣的功能)和开闭盒功能(即，分别定位外罩与底托并向下移动底托，使外罩与底托分离的功能)，和分别定位外罩与底托并向上移动底托，使底托插入外罩的功能。在将晶圆放到晶圆传送和的标准机械化接口系统中时，有时会出现晶圆放置不到位，导致晶圆凸出底托的情况，这样在使用移载传送设备关闭晶圆传送盒时，可能会损坏晶圆。
4.背景技术部分的内容仅仅是发明人所知晓的技术，并不当然代表本领域的现有技术。


技术实现要素：

5.针对现有技术中的一个或多个缺陷，本实用新型提供一种推片总成，包括：
6.安装架；
7.推杆，配置成可以在所述安装架上绕一固定轴线旋转，从而具有推动位置和避让位置；
8.驱动装置，连接于所述安装架，并配置成驱动所述推杆在推动位置与避让位置之间切换。
9.根据本实用新型的一个方面，所述推杆包括连接部和工作部，所述工作部连接有滚轮。
10.根据本实用新型的一个方面，所述驱动装置包括：
11.直线驱动器，具有可以沿直线往复运动的输出部，所述输出部与所述推杆抵接，所述输出部配置成驱动所述推杆由避让位置切换至推动位置；
12.复位弹簧，连接在所述推杆与所述安装架之间，所述复位弹簧配置成促使所述推杆复位至避让位置。
13.根据本实用新型的一个方面，所述安装架螺纹连接有调节螺栓，所述复位弹簧一端与调节螺栓连接，另一端与所述推杆连接。
14.根据本实用新型的一个方面，所述驱动装置包括：
15.直线驱动器，具有可以沿直线往复运动的输出部；
16.传动件，连接在输出部与推杆之间，所述传动件配置成将输出部的直线运动转化为所述推杆绕所述固定轴线的旋转运动。
17.根据本实用新型的一个方面，所述传动件为传动杆，所述传动杆铰接在输出部与所述推杆之间。
18.根据本实用新型的一个方面，所述传动件为随动件，所述推杆上设置有滑槽，所述滑槽的长度方向与所述输出部的运动方向始终不平行，所述随动件伸入所述滑槽并配置成可以沿所述滑槽的长度方向滑动。
19.根据本实用新型的一个方面，所述推片总成还包括外罩，所述外罩罩在所述安装架外并避开所述推杆。
20.根据本实用新型的一个方面，所述安装架上设置有槽式光电开关，当所述推杆处于避让位置，所述推杆至少有一部分进入所述槽式光电开关的检测槽中。
21.本实用新型还提供一种移载传送设备，包括如上所述的推片总成。
22.根据本实用新型的一个方面，所述移载传送设备还包括：
23.机架，具有底托升降空间；
24.升降总成，安装于所述机架；
25.凸片检测模块，包括发光部和接收部，所述接收部配置成能够接收发光部发出的检测光并在接收不到所述检测光时发出电信号；
26.其中，所述推片总成安装于所述机架，并位于所述底托升降空间的出口侧；所述发光部和所述接收部分别设置在底托升降空间出口侧的两边。
27.根据本实用新型的一个方面，所述凸片检测模块为对射式光电开关。
28.与现有技术相比，本实用新型的实施例提供了一种推片总成及移载传送设备，凸片检测模块可以检测到晶圆是否凸出晶圆传送盒，在有晶圆凸出于晶圆传送盒时，升降总成停止工作，驱动装置可以驱动推杆从避让位置切换到推动位置，以将凸出于晶圆传送盒的晶圆推回晶圆传送盒内，从而避免晶圆在传送过程中损坏，使晶圆的传送更加稳定和安全。
附图说明
29.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
30.图1示出了根据本实用新型的一个实施例的推片总成的爆炸图；
31.图2示出了根据本实用新型的另一个实施例的驱动装置与推杆的连接结构示意图；
32.图3示出了根据本实用新型的又一个实施例的驱动装置与推杆的连接结构示意图；
33.图4示出了根据本实用新型的一个实施例的移载传送设备的爆炸图；
34.图5示出了根据本实用新型的一个实施例的移载传送设备的另一爆炸图；
35.图6示出了根据本实用新型的一个实施例的凸片检测模块和推片总成。
36.图中：100、推片总成；110、安装架；111、横板；112、纵板；113、通孔；114、螺纹孔；120、推杆；121、工作部；122、连接部；123、转轴；124、滚轮；125、滑槽；130、驱动装置；131、直
线驱动器；1311、输出部；132、复位弹簧；133、传动件；1331、传动杆；1332、随动件；134、调节螺栓；140、槽式光电开关；150、外罩；200、移载传送设备；210、机架；220、升降总成；230、凸片检测模块；231、发光部；232、接收部。
具体实施方式
37.在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。
38.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语"中心"、"纵向"、"横向"、"长度"、"宽度"、"厚度"、"上"、"下"、"前"、"后"、"左"、"右"、"竖直"、"水平"、"顶"、"底"、"内"、"外"、"顺时针"、"逆时针"等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语"第一"、"第二"仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有"第一"、"第二"的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本实用新型的描述中，"多个"的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
39.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语"安装"、"相连"、"连接"应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接:可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
40.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之"上"或之"下"可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征"之上"、"上方"和"上面"包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征"之下"、"下方"和"下面"包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
41.下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
42.以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
43.图1示出了根据本实用新型的一个实施例的推片总成100，下面结合图1进行详细描述。
44.如图1所示，推片总成100包括安装架110、推杆120和驱动装置130。其中，安装架
110作为承载部件，用于对其它部件提供支撑。安装架110可以包括横板111和纵板112，纵板112连接在横板111的一端，纵板112与横板111大致垂直。
45.如图1所示，推杆120可以包括工作部121和连接部122，推杆120设置在安装架110的一侧并连接有转轴123。转轴123位于工作部121与连接部122过渡处，并且转轴123与安装架110的位置相对固定，具体的，转轴123与安装架110之间可以间接连接，例如，转轴123与安装架110可以连接在同一个板件上，在其它实施例中，转轴123与安装架110之间也可以直接连接，即转轴123直接设置在安装架110上。推杆120配置成可以绕转轴123转动，从而具有推动位置和避让位置(或称第一位置和第二位置)。工作部121远离连接部122的一端可以转动连接有滚轮124，在推杆120由避让位置切换至推动位置的过程中，可以由滚轮124与晶圆接触，以避免划伤晶圆。转轴123可以具备限位功能，以限制推杆120只能在推动位置与避让位置之间摆动。根据本实用新型的一个实施例，可以在安装架110上设置限位凸起，从而限制推杆120围绕转轴123的转动范围，该转动范围的两个边界即对应于推动位置与避让位置。
46.如图1所示，驱动装置130连接于安装架110，驱动装置130配置成驱动推杆120在推动位置与避让位置之间切换。
47.具体的，如图1所示，驱动装置130可以包括直线驱动器131和复位弹簧132。其中，复位弹簧132连接在推杆120(例如推杆120的连接部122)与安装架110(例如安装架110的纵板112)之间，并配置成促使推杆120复位至避让位置。直线驱动器131至少可以是直线马达、气缸或液压缸，直线驱动器131具有可以沿直线往复运动的输出部1311，直线驱动器131可以安装在纵板112背向推杆120的一侧，在纵板112上开设有通孔113，直线马达的输出部1311经通孔113穿过纵板112并与推杆120抵接。通过控制输出部1311持续向直线驱动器131的壳体外伸出，输出部1311可以推动推杆120绕转轴123转动，进而由避让位置切换至推动位置；通过控制输出部1311持续向直线驱动器131的壳体内收回，复位弹簧132促使推杆120从推动位置复位至避让位置。
48.如图2所示，在另一个实施例中，驱动装置130可以包括直线驱动器131和传动件133，传动件133可以是传动杆1331，传动杆1331铰接在直线驱动器131的输出部1311与推杆120的连接部122之间。通过控制直线驱动器131的输出部1311向不同方向做直线运动，传动杆1331便可带动推杆120绕转轴123向不同方向转动，进而使推杆120可以在避让位置与推动位置之间切换。如图3所示，在又一实施例中，传动件133可以是随输出部1311共同移动的随动件1332(例如为凸块的形式)，在推杆120上设置有滑槽125，滑槽125的长度方向与输出部1311的运动方向始终不平行，随动件1332伸入滑槽125中并配置成可以沿滑槽125的长度方向滑动。通过控制直线驱动器131的输出部1311向不同方向做直线运动，随动件1332会在滑槽125中滑动，并推动或拉动推杆120绕转轴123向不同方向转动，进而使推杆120可以在避让位置与推动位置之间切换。
49.以上描述了根据本实用新型优选实施例的驱动装置130。本领域技术人员容易理解，驱动装置130并不限于直线类型的驱动器，也可以通过其他类型的驱动机构来实现，包括但不限于旋转电机和凸轮结构，以及电机和曲柄结构，只要能够驱动推杆120在推动位置与避让位置之间切换即可。
50.根据本实用新型的一个实施例，如图1所示，可以在安装架110上螺纹连接调节螺
栓134，复位弹簧132的一端与调节螺栓134连接，另一端与推杆120的连接部122连接。具体的，可以是在纵板112上开设螺纹孔114，调节螺栓134旋拧于螺纹孔114，可以通过旋拧调节螺栓134，来调节复位弹簧132的张紧程度，进而保证复位弹簧132能够促使推杆120快速复位。
51.根据本实用新型的一个实施例，如图1所示，安装架110上还连接有槽式光电开关140，槽式光电开关140用于检测推杆120是否复位到避让位置。当推杆120由推动位置切换至避让位置时，推杆120的连接部122的一部分会进入槽式光电开关140的检测槽中，槽式光电开关140发出电信号。
52.根据本实用新型的一个实施例，如图1所示，推片总成100还可以包括外罩150，外罩150罩在安装架110外，并具有避开推杆120的避让口(图中未示出)。
53.图4示出了根据本实用新型的一个实施例的移载传送设备200的爆炸图，图5示出了根据本实用新型的一个实施例的移载传送设备200的另一爆炸图，下面结合图4和图5进行详细描述。
54.如图4和图5所示，移载传送设备200包括机架210、升降总成220、凸片检测模块230和如上所述的推片总成100。其中，机架210具有底托升降空间，底托升降空间的一侧为出口侧(图中左侧)，晶圆传送盒的底托可以从底托升降空间的出口侧离开或进入底托升降空间，也可以在底托升降空间中上下移动。升降总成220安装在机架210的一侧，用于驱动底托在底托升降空间中上下移动。升降总成220可以包括直线滑台。
55.如图4和图6所示，凸片检测模块230用于检测晶圆是否从晶圆传送盒中伸出，并且当检测到晶圆从晶圆传送盒中伸出时发出触发信号。根据本实用新型的一个优选实施例，凸片检测模块230包括发光部231和接收部232，发光部231和接收部232安装在机架210上并分别位于底托升降空间出口侧的两边，接收部232配置成能够接收发光部231发出的检测光并在接收不到检测光时发出电信号。因此，在正常情况下，接收部232能够接收发光部231发出的检测光，当晶圆从晶圆传送盒中伸出时，发光部231发出的检测光被晶圆阻挡而无法被接收部232接收到，因此发出电信号。凸片检测模块230可以是对射式光电开关。推片总成100的安装架110和转轴123连接在机架210上，并且推杆120位于底托升降空间的开口侧，推杆120与凸片检测模块230大致处于同一高度。
56.移载传送设备200还可以包括控制器，控制器分别电连接接收部232、升降总成220、直线驱动器131和槽式光电开关140。
57.移载传送设备200的工作原理如下。当把晶圆传送盒通过出口侧放置到底托升降空间中之后，升降总成220可以驱动底托在底托升降空间内上下移动。底托携带晶圆在底托升降空间内向上移动的过程中，若有晶圆凸出于底托的开口侧，则当该晶圆运动到凸片检测模块230处时，该晶圆会遮挡检测光，接收部232向控制器发出电信号；控制器根据接收部232发出的电信号，控制升降总成220停止动作，并控制直线驱动器131驱动推杆120从避让位置移动到推动位置，从而将上述晶圆推回底托，从而避免晶圆在传送过程中损坏，使晶圆的传送更加稳定和安全。晶圆被推回底托之后，控制直线驱动器131驱动推杆120从推动位置移动到避让位置，槽式光电开关140被推杆120触发，向控制器发出电信号，控制器根据槽式光电开关140发出的电信号，控制升降总成220恢复动作。
58.与现有技术相比，本实用新型的实施例中，凸片检测模块230可以检测到晶圆是否
凸出晶圆传送盒，在有晶圆凸出于晶圆传送盒时，升降总成220停止工作，驱动装置130可以驱动推杆120从避让位置切换到推动位置，以将凸出于晶圆传送盒的晶圆推回晶圆传送盒内，从而避免晶圆在传送过程中损坏，使晶圆的传送更加稳定和安全。
59.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。