一种活动夹具的制作方法

技术特征：
1.一种活动夹具，其特征在于，包括：旋转夹具、抓取手臂和至少三个活动支撑脚，所述活动支撑脚的形状与所述抓取手臂的抓取端适配；其中，所述抓取手臂被配置为：将所述活动支撑脚固定在所述旋转夹具上以及将所述活动支撑脚从所述旋转夹具上分离；所述旋转夹具被配置为可拆卸地固定所述活动支撑脚，并用于通过放置在其上的至少三个所述活动支撑脚支撑待支撑对象。2.如权利要求1所述的一种活动夹具，其特征在于，所述旋转夹具包括一旋转柱和一旋转台，所述旋转台位于所述旋转柱上方，所述旋转柱能够带动所述旋转台转动。3.如权利要求2所述的一种活动夹具，其特征在于，所述旋转台为圆柱体形，所述旋转台的上底面上具有一安装槽，所述安装槽沿所述上底面的周向设置，所述活动支撑脚能够与所述安装槽卡接。4.如权利要求3所述的一种活动夹具，其特征在于，所述待支撑对象包括晶圆，所述安装槽的环径与所述晶圆的直径相适应。5.如权利要求4所述的一种活动夹具，其特征在于，所述安装槽包括周向排布的数个卡槽，所述卡槽能够与所述活动支撑脚卡接。6.如权利要求5所述的一种活动夹具，其特征在于，所述活动支撑脚的第一端插入所述卡槽，所述活动支撑脚的第二端凸出所述旋转台的上底面并用于支撑所述晶圆。7.如权利要求6所述的一种活动夹具，其特征在于，所述活动支撑脚的所述第二端与所述晶圆接触的一面为光滑平面；和/或所述第二端的尺寸大于所述第一端的尺寸。8.如权利要求1-7任一项所述的活动夹具，其特征在于，所述抓取手臂包括相连的第一段抓取手臂和第二段抓取手臂，所述第一段抓取手臂和所述第二段抓取手臂在连接处能够转动形成任意角度。9.如权利要求8所述的一种活动夹具，其特征在于，所述抓取手臂的抓取端设置在所述第二段抓取手臂远离所述第一段抓取手臂的端部，所述抓取端为具有一开口的c型环柱，所述抓取端通过所述开口抓取所述活动支撑脚。10.如权利要求1所述的一种活动夹具，其特征在于，所述活动支撑脚的预设数量为四个或六个。

技术总结
本实用新型提供一种活动夹具，包括旋转夹具、抓取手臂和至少三个活动支撑脚，所述活动支撑脚的形状与所述抓取手臂的抓取端适配；其中，所述抓取手臂被配置为：将所述活动支撑脚固定在所述旋转夹具上以及将所述活动支撑脚从所述旋转夹具上分离；所述旋转夹具被配置为可拆卸地固定所述活动支撑脚，并用于通过放置在其上的至少三个所述活动支撑脚支撑待支撑对象。本实用新型提供的活动夹具，通过抓取手臂改变放置在所述旋转夹具上的活动支撑脚的数量和位置，并通过转动所述旋转夹具改变所述活动支撑脚与所述晶圆的接触位置，从而真实模拟出所述晶圆在机台中不同位置处的状态，并由此量测出所述晶圆在机台不同位置处时真实的翘曲程度。翘曲程度。翘曲程度。


技术研发人员：邓培基
受保护的技术使用者：广州粤芯半导体技术有限公司
技术研发日：2022.03.31
技术公布日：2022/11/10