晶圆辅助抓取工具的制作方法

技术特征：
1.一种晶圆辅助抓取工具，其特征在于，包括：两个夹持件和两个驱动件；两个所述夹持件的一端为自由端，另一端分别与两个所述驱动件一一对应地连接；两个所述驱动件用于围绕垂直于晶圆的转动轴线转动，以驱使两个所述夹持件靠近或远离所述晶圆的外周，以夹持所述晶圆或解除对所述晶圆的夹持。2.如权利要求1所述的晶圆辅助抓取工具，其特征在于，所述晶圆辅助抓取工具还包括限位部，所述限位部位于所述夹持件上，用于与所述晶圆抵靠，以限制所述晶圆的自由度。3.如权利要求2所述的晶圆辅助抓取工具，其特征在于，所述限位部包括第一接触件，所述夹持件包括本体，所述第一接触件的一端与所述本体连接，另一端朝向所述晶圆的方向延伸。4.如权利要求3所述的晶圆辅助抓取工具，其特征在于，所述第一接触件包括抵靠斜面，所述抵靠斜面与所述晶圆的轴线成角度，所述抵靠斜面用于与所述晶圆的外周抵靠。5.如权利要求4所述的晶圆辅助抓取工具，其特征在于，所述限位部还包括第二接触件，所述第二接触件具有沿所述晶圆的周向延伸的凹槽，所述凹槽用于容置所述晶圆。6.如权利要求5所述的晶圆辅助抓取工具，其特征在于，所述第二接触件具有第一伸出部和第二伸出部，所述第一伸出部和所述第二伸出部沿平行于所述晶圆的转动轴线的方向间隔排布，其间形成所述凹槽；其中，所述第一伸出部向所述晶圆的伸出距离大于所述第二伸出部向所述晶圆的伸出距离，并且，所述第一伸出部位于所述抵靠斜面与所述晶圆的夹角为锐角的一侧，所述第二伸出部位于所述抵靠斜面与所述晶圆的夹角为钝角的一侧。7.如权利要求6所述的晶圆辅助抓取工具，其特征在于，所述第一接触件与所述第二接触件沿所述晶圆的周向间隔布置。8.如权利要求1所述的晶圆辅助抓取工具，其特征在于，所述驱动件包括固定部和握持部，所述握持部通过所述固定部与所述夹持件连接。9.如权利要求8所述的晶圆辅助抓取工具，其特征在于，所述握持部包括平直段和折回段，所述平直段的一端与所述固定端连接，另一端与所述折回段连接，所述折回段自所述平直段远离所述固定部的一端向靠近所述固定部的方向折回。10.如权利要求1所述的晶圆辅助抓取工具，其特征在于，所述驱动件可拆卸地与所述夹持件连接。

技术总结
本实用新型提供一种晶圆辅助抓取工具，包括：两个夹持件和两个驱动件；两个所述夹持件的一端为自由端，另一端分别与两个所述驱动件一一对应地连接；两个所述驱动件用于围绕垂直于晶圆的转动轴线转动，以驱使两个所述夹持件靠近或远离所述晶圆的外周，以夹持所述晶圆或解除对所述晶圆的夹持。如此配置，驱动件围绕垂直于晶圆的转动轴线转动，驱使两个夹持件靠近或远离晶圆的外周，以夹持晶圆或解除对晶圆的夹持，使得在机台发生故障时，操作者不需要人为取出晶圆，减少了化学物质的危害，也降低了晶圆产生缺陷的概率，提升了产品的良率。提升了产品的良率。提升了产品的良率。


技术研发人员：陈健铖
受保护的技术使用者：广州粤芯半导体技术有限公司
技术研发日：2022.10.08
技术公布日：2022/12/23