一种晶圆片选片装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体电子技术领域，具体涉及一种晶圆片选片装置。


背景技术：

2.在半导体电子技术领域，晶圆片在生产完成后，放置在选片装置中周转；具体的，选片装置包括卡塞，晶圆片是卡接在卡塞中的。为了防止不合格的晶圆片流入下一道工序，通常对选片装置中的晶圆片进行抽检。
3.抽检晶圆片需要使用吸笔伸入卡塞中，吸取所需晶圆片的背面，从而取出该晶圆片。
4.但是，多个晶圆片竖直设置在卡塞中，多个晶圆片互相平行地间隔设置，每个卡塞中通常有25个晶圆片，相邻的晶圆片中间隔较小。吸笔伸入卡塞的过程中，吸笔容易刮伤某个相邻的晶圆片的正面。


技术实现要素：

5.本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种晶圆片选片装置，避免在抽检晶圆片时，损伤其他晶圆片。
6.为了解决上述技术问题，本实用新型采用的一种技术方案为：一种晶圆片选片装置，包括载盒和选片柱，所述载盒具有向上的开口，所述载盒的内侧壁上开设多个卡槽(所述载盒可放置用于装载片源的卡塞)，所述选片柱设有多个，所述选片柱设置在载盒的内底面，每个所述选片柱对应某一个卡槽设置在该卡槽的下侧方，所述选片柱的数量少于卡槽数量。
7.进一步地，所述载盒包括盒体和卡塞，所述卡塞具有内部空腔和向上的开口，所述卡槽设置在卡塞内壁，所述卡塞可拆卸设置在盒体中，所述选片柱贯穿卡塞底部。
8.进一步地，所述盒体呈长方体状，所述卡塞下部适配晶圆片呈圆弧状，所述盒体内部空间的角部设有定位条，所述定位条垂直于卡槽所在平面，所述定位条抵接卡塞。
9.进一步地，还包括定位片，所述定位片设置在盒体的内侧壁上，所述定位片所在的盒体的内侧壁平行于卡槽所在平面。
10.进一步地，还包括横板和横板螺丝，所述横板滑动连接盒体的内底面，所述横板螺丝垂直卡槽所在平面设置，所述横板螺丝贯穿盒体的侧壁驱动横板；所述选片柱设置在横板上。
11.进一步地，所述选片柱通过柱体螺丝可拆卸连接于横板。
12.本实用新型的有益效果在于：晶圆片从载盒开口进入载盒中，晶圆片进入载盒中后，晶圆片的侧边沿卡在卡槽中，某些晶圆片的底部抵接在选片柱顶端，某些晶圆片的底部接触载盒的底面。使在选片柱上的晶圆片为被抽检的晶圆片，由于选片柱的承接，被抽检的晶圆片所在高度高于其他的晶圆片，这使工作人员在抽检使用吸笔时，无需将吸笔伸入相邻的晶圆片之间就可以吸取被抽检的晶圆片。故本实用新型提供的晶圆片选片装置可避免
在抽检晶圆片时划伤晶圆片，提高了晶圆片生产的质量和效率。
附图说明
13.图1为本实用新型的具体实施方式的一种晶圆片选片装置的部分结构正视剖面图；
14.图2为本实用新型的具体实施方式的一种晶圆片选片装置的部分结构侧视图；
15.图3为本实用新型的具体实施方式的卡塞结构正视剖面图；
16.图4为本实用新型的具体实施方式的一种晶圆片选片装置的部分结构俯视图；
17.标号说明：
18.1、载盒；2、选片柱；3、卡槽；4、盒体；5、卡塞；6、定位条；7、定位片；8、横板；9、横板螺丝；10、柱体螺丝。
具体实施方式
19.为详细说明本实用新型的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
20.请参照图1-4，一种晶圆片选片装置，包括载盒1和选片柱2，所述载盒1具有向上的开口，所述载盒1的内侧壁上开设多个卡槽3，所述选片柱2设有多个，所述选片柱2设置在载盒1的内底面，每个所述选片柱2对应某一个卡槽3设置在该卡槽3的下侧方，所述选片柱2的数量少于卡槽3数量。
21.由上描述可知，本实用新型的有益效果在于：晶圆片从载盒1开口进入载盒1中，晶圆片进入载盒1中后，晶圆片的侧边沿卡在卡槽3中，某些晶圆片的底部抵接在选片柱2顶端，某些晶圆片的底部接触载盒1的底面。使在选片柱2上的晶圆片为被抽检的晶圆片，由于选片柱2的承接，被抽检的晶圆片所在高度高于其他的晶圆片，这使工作人员在抽检使用吸笔时，无需将吸笔伸入相邻的晶圆片之间就可以吸取被抽检的晶圆片。故本实用新型提供的晶圆片选片装置可避免在抽检晶圆片时划伤晶圆片，提高了晶圆片生产的质量和效率。
22.进一步地，所述载盒1包括盒体4和卡塞5，所述卡塞5具有内部空腔和向上的开口，所述卡槽3设置在卡塞5内壁，所述卡塞5可拆卸设置在盒体4中，所述选片柱2贯穿卡塞5底部。
23.由上描述可知，所述载盒1和选片柱2难以一体成型，设置可拆卸的卡塞5，方便选片柱2的安装。
24.进一步地，所述盒体4呈长方体状，所述卡塞5下部适配晶圆片呈圆弧状，所述盒体4内部空间的角部设有定位条6，所述定位条6垂直于卡槽3所在平面，所述定位条6抵接卡塞5。
25.由上描述可知，所述定位条6将卡塞5卡在盒体4的中部，使卡塞5安装位置准确。
26.进一步地，还包括定位片7，所述定位片7设置在盒体4的内侧壁上，所述定位片7所在的盒体4的内侧壁平行于卡槽3所在平面。
27.由上描述可知，所述定位片7用于示意工作人员安装晶圆片时，将全部晶圆片的正面都朝向定位片7。
28.进一步地，还包括横板8和横板螺丝9，所述横板8滑动连接盒体4的内底面，所述横
板螺丝9垂直卡槽3所在平面设置，所述横板螺丝9贯穿盒体4的侧壁驱动横板8；所述选片柱2设置在横板8上。
29.由上描述可知，所述横板螺丝9调节横板8位置后，使选片柱2对应卡槽3设置，避免选片柱2不能承接晶圆片底部。
30.进一步地，所述选片柱2通过柱体螺丝10可拆卸连接于横板8。
31.由上描述可知，上述设置提供一种简单高效的选片柱2的可拆卸结构。
32.本实用新型提供的晶圆片选片装置应用场景为：避免从选片装置中抽检晶圆片过程中损伤晶圆片时。
33.实施例一
34.请参照图1-4，一种晶圆片选片装置，包括载盒1和选片柱2，所述载盒1具有向上的开口，所述载盒1的内侧壁上开设多个卡槽3(所述载盒可放置用于装载片源的卡塞5)，所述选片柱2设有多个，所述选片柱2设置在载盒1的内底面，每个所述选片柱2对应某一个该卡槽3的下侧方，所述选片柱2的数量少于卡槽3数量。
35.所述载盒1包括盒体4和卡塞5，所述卡塞5具有内部空腔和向上的开口，所述卡槽3设置在卡塞5内壁，所述卡塞5可拆卸设置在盒体4中，所述选片柱2贯穿卡塞5底部。
36.所述盒体4呈长方体状，所述卡塞5下部适配晶圆片呈圆弧状，所述盒体4内部空间的角部设有定位条6，所述定位条6垂直于卡槽3所在平面，所述定位条6抵接卡塞5。
37.所述晶圆片选片装置还包括定位片7、横板8和横板螺丝9，所述定位片7设置在盒体4的内侧壁上，所述定位片7所在的盒体4的内侧壁平行于卡槽3所在平面。
38.所述横板8滑动连接盒体4的内底面，所述横板螺丝9垂直卡槽3所在平面设置，所述横板螺丝9贯穿盒体4的侧壁驱动横板8；所述选片柱2设置在横板8上。
39.所述选片柱2通过柱体螺丝10可拆卸连接于横板8。
40.所述晶圆片选片装置的使用及原理：
41.所述卡槽3通常设有25个，第1、6、11、16、21个卡槽3下侧方设置选片柱2，需要被抽检的晶圆片设置在所述晶圆片选片装置中时，晶圆片的侧边沿卡接在卡槽3中，底部由选片柱2承接，使被抽检的晶圆片在载盒1中的高度高于其他晶圆片的高度。这样，吸笔就无需伸入相邻的晶圆片之间就可以吸起(吸取)晶圆片。
42.所述选片柱2是一同设置在横板8上的，调节横板8的位置，可调节哪些卡槽3中的晶圆片为需要抽检的晶圆片，比如，可将选片柱2调节到第2、7、12、17、22个卡槽3下方，使晶圆片安装在所述晶圆片选片装置后，第2、7、12、17、22个晶圆片成为需要抽检的晶圆片。
43.以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。