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一种用于半导体清洗机的毛刷安装组件的制作方法

  • 国知局
  • 2024-07-11 16:54:30

1.本实用新型涉及半导体清洗机毛刷,具体为一种用于半导体清洗机的毛刷安装组件。背景技术:2.半导体在生产时易吸附各种杂质,如颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等,若不将异物清除干净,会对后续工艺造成影响,现有的半导体清洗机用的毛刷,存在不便拆装的问题,在毛刷出现损坏的时候,更换较为麻烦。技术实现要素:3.本实用新型提供了一种用于半导体清洗机的毛刷安装组件,具备方便拆装的优点。4.为实现方便拆装的目的,本实用新型提供如下技术方案:一种用于半导体清洗机的毛刷安装组件,包括刷体,所述刷体的内部设置有通道,所述刷体的底部形成有凹槽,所述通道螺纹连接有喷嘴,所述刷体的底部设置有刷头,所述刷头的顶部开设有容纳喷嘴的通孔,所述刷头由一体成型的卡块和刷板组成,所述卡块卡接在刷体底部的凹槽内,所述刷板的底部位于通孔的外周均匀设置有刷毛,所述喷嘴的底部均设置有喷水口,所述刷体的两侧均设置有将刷头限位的限位装置。5.作为本实用新型的一种优选技术方案,其特征在于:所述刷头开设的通孔的底部均固定连接有抵块,所述抵块抵紧喷嘴。6.作为本实用新型的一种优选技术方案,限位装置包括限位槽、限位杆和滑动板,所述卡块的两侧均开设限位槽,所述刷体的凹槽的两侧内壁均开设有滑动槽,滑动槽内滑动连接滑动板,所述滑动板的一侧固定连接限位杆,所述限位杆卡接限位槽,所述滑动板可由齿轮传动机构驱动。7.作为本实用新型的一种优选技术方案,齿轮传动机构包括齿条、蜗杆和转动槽,刷体的两侧位于滑动槽的上方开设有连通滑动槽的转动槽,所述转动槽内转动连接有蜗杆,所述滑动板的顶部设置有与蜗杆啮合的齿条。8.作为本实用新型的一种优选技术方案,所述蜗杆延伸出转动槽外,且其延伸出转动槽外的一端固定连接有转把。9.作为本实用新型的一种优选技术方案,所述刷体底部的凹槽的顶内壁位于通道的两侧均开设有t形定位槽,所述卡块的顶部两侧固定连接有与t形定位槽卡接的t形定位块。10.作为本实用新型的一种优选技术方案,所述t形定位槽的顶内壁连接有被t形定位块穿过并抵压的弹簧。11.作为本实用新型的一种优选技术方案,所述刷体的顶部设置有法兰盘。12.与现有技术相比,本实用新型提供了一种用于半导体清洗机的毛刷安装组件,具备以下有益效果:该用于半导体清洗机的毛刷安装组件,刷头通过卡块与刷体卡接,并通过限位杆和限位槽的配合而锁紧限位,限位杆可通过转动转把来带动脱离限位槽,进而便于刷头和刷体的拆装。附图说明13.图1为本实用新型的结构示意图;14.图2为本实用新型的a处放大示意图;15.图3为本实用新型的b处放大示意图;16.图4为本实用新型的c处放大示意图;17.图5为本实用新型的俯视图。18.图中:1、刷体;2、通道;3、喷嘴;4、刷头;5、卡块;6、刷板;7、刷毛;8、喷水口;9、抵块;10、限位槽;11、限位杆;12、滑动板;13、齿条;14、蜗杆;15、转动槽;16、转把;17、t形定位槽;18、t形定位块;19、弹簧;20、法兰盘。具体实施方式19.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。20.请参阅图1-5,本实用新型公开了一种用于半导体清洗机的毛刷安装组件,包括刷体1,所述刷体1的内部设置有通道2,所述刷体1的底部形成有凹槽,所述通道2螺纹连接有喷嘴3,所述刷体1的底部设置有刷头4,所述刷头4的顶部开设有容纳喷嘴3的通孔,所述刷头4由一体成型的卡块5和刷板6组成,所述卡块5卡接在刷体1底部的凹槽内,所述刷板6的底部位于通孔的外周均匀设置有刷毛7,所述喷嘴3的底部均设置有喷水口8,所述刷体1的两侧均设置有将刷头4限位的限位装置。21.具体的,所述刷头4开设的通孔的底部均固定连接有抵块9,所述抵块9抵紧喷嘴3。22.本实施方案中,在刷头4和刷体1紧密连接时,通孔内的抵块9可抵紧喷嘴3,以避免喷嘴3在长时间使用后和通道2的螺纹连接发生松动。23.具体的,限位装置包括限位槽10、限位杆11和滑动板12,所述卡块5的两侧均开设限位槽10,所述刷体1的凹槽的两侧内壁均开设有滑动槽,滑动槽内滑动连接滑动板12,所述滑动板12的一侧固定连接限位杆11,所述限位杆11卡接限位槽10,所述滑动板12可由齿轮传动机构驱动。24.本实施方案中,此结构的设计,可在刷头4通过卡块5卡接凹槽时,对卡块5进行限位,使得刷头4和刷体1连接紧密。25.具体的,齿轮传动机构包括齿条13、蜗杆14和转动槽15,刷体1的两侧位于滑动槽的上方开设有连通滑动槽的转动槽15,所述转动槽15内转动连接有蜗杆14,所述滑动板12的顶部设置有与蜗杆14啮合的齿条13。26.本实施方案中,带动蜗杆14顺时针旋转,可啮合传动齿条13并带动滑动板12和限位杆11向贴近限位槽10的方向运动,进而使得限位杆11卡接限位槽10,带动蜗杆14逆时针转动,可使得限位杆11脱离限位槽10。27.具体的,所述蜗杆14延伸出转动槽15外,且其延伸出转动槽15外的一端固定连接有转把16。28.本实施方案中,转把16的设置,便于使用者手动转动蜗杆14。29.具体的,所述刷体1底部的凹槽的顶内壁位于通道2的两侧均开设有t形定位槽17,所述卡块5的顶部两侧固定连接有与t形定位槽17卡接的t形定位块18。30.本实施方案中,此结构的设计,可在刷头4和刷体1连接时,起到定位作用,进而便于刷头4和刷体1的连接。31.具体的,所述t形定位槽17的顶内壁连接有被t形定位块18穿过并抵压的弹簧19。32.本实施方案中,当刷头4和刷体1紧密连接时,弹簧19可在刷头清理半导体时起到一定的缓冲减震作用。33.具体的,所述刷体1的顶部设置有法兰盘20。34.本实施方案中,法兰盘20的设置,便于将连接清理水源的水管与通道2之间连接。35.本实用新型的工作原理及使用流程:在使用时,如需更换刷头4时,逆时针转动转把16,以带动蜗杆14转动,蜗杆14的转动可啮合传动齿条13,进而带动滑动板12和限位杆11向远离限位槽10的方向运动,继而可接触限位杆11对限位槽10的限位状态,之后再向下拉动刷头4,即可使得刷头4脱离刷体1,之后将新的刷头4安装在刷体1上,并顺时针转动转把16即可。36.综上所述,该用于半导体清洗机的毛刷安装组件,该用于半导体清洗机的毛刷安装组件,刷头4通过卡块5与刷体1卡接,并通过限位杆11和限位槽10的配合而锁紧限位,限位杆11可通过转动转把16来带动脱离限位槽10,进而便于刷头4和刷体1的拆装。37.需要说明的是,在本文中,诸如术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。38.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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