光学滤波器的制作方法

本公开实施例涉及一种光学滤波器，特别涉及光学滤波器的滤波堆叠(filteringstack)。

背景技术：

1、电子装置，如笔记本电脑、手机、以及其他产品，有时配备有光感测器。举例来说，可在装置中纳入光学滤波器以提供对环境光状况所需的信息。光学滤波器的光学读数可用来控制装置设定。举例来说，若检测到很亮的日光状况，电子装置可增加显示亮度作为补偿。在一些配置中，执行光学滤波器以收集环境光的颜色信息(如光谱)。可基于环境光的颜色调整所显示影像的颜色。

2、为了收集不同颜色的光学读数，光学滤波器可包括窄带通滤波器(narrow bandpass filter,nbpf)，其为在基底上排列的多膜层部件。每个窄带通滤波器可允许入射光的特定波长范围或波带(如颜色的光谱范围)传输，而其他不想要的波长范围可被抑制(例如不想要的波长范围被窄带通滤波器吸收或反射远离)，从而提高颜色识别的能力。被传输的波长范围和被抑制的波长范围也分别被称为通带(passband)和阻带(cutband)。传统上，多膜层部件包括交错堆叠的低折射率膜层和高折射率膜层。为了抑制较长波长，多膜层堆叠可能需要被设计具有较高数量的交错膜层，因而导致更高的厚度。因此，需要通过光学滤波器的设计和制造来解决这些相关问题。

技术实现思路

1、在一实施例中，一种光学滤波器，包括基底、以及设置于基底上的滤波堆叠。滤波堆叠包括多个第一层和多个第二层，其中第一层与第二层交错排列。第二层包括等离激元透明导电膜，其中等离激元透明导电膜以多个非整比化合物形成。

技术特征：

1.一种光学滤波器，包括：

2.如权利要求1所述的光学滤波器，其中该光学滤波器具有一通带，部分地与800nm和1700nm之间的波长范围重叠，其中当该通带在800nm和1000nm之间的波长范围中时，该滤波堆叠的厚度小于2μm，其中当该通带在1200nm和1700nm之间的波长范围中时，该滤波堆叠的厚度小于3.5μm。

3.如权利要求1所述的光学滤波器，其中在该滤波堆叠中由顶部至底部，所述多个第一层和所述多个第二层排列成下列其中一者：

4.如权利要求1所述的光学滤波器，其中所述多个第一层包括一窄带间隙材料，其中该窄带间隙材料在近红外线或短波红外线的波长范围中为透明的，其中该窄带间隙材料包括铜锌锡硫、铜锶锡硫、铜铟镓硒、非晶硅、氢化硅、硅锗、氢化锗、过氧化锗、硅锡、硅锡化锗、或锗锡。

5.如权利要求4所述的光学滤波器，其中该窄带间隙材料在300nm和600nm之间的波长范围中的消光系数大于0.01、大于0.05、或大于0.1。

6.如权利要求1所述的光学滤波器，其中该等离激元透明导电膜在近红外线或短波红外线的波长范围中为具有吸收性的，其中该等离激元透明导电膜为一透明导电氧化物，该透明导电氧化物包括氧化铟、氧化锌、氧化铟-氧化锌、铝掺杂氧化锌、氧化镓锌、氧化铟锡、氧化铟锌、氧化铟钨、镁掺杂氧化锌、氧化锑锡、氟掺杂氧化锡、氧化铟镓锡、氧化锡、钛掺杂氧化铌、氮化钛、氧化铜、氧化钽、氧化镓铟、氧化铟镓锌、氧化锌锡、氧化锌镓、氧化锌铟、氧化钒、或氧化钼，其中该等离激元透明导电膜包括以锡掺杂的氧化铟。

7.如权利要求1所述的光学滤波器，其中该等离激元透明导电膜在1600nm和1800nm之间的波长范围中的折射率小于1.6，其中该等离激元透明导电膜在1600nm和1800nm之间的波长范围中的消光系数大于0.01、大于0.05、或大于0.1。

8.如权利要求1所述的光学滤波器，其中一入射光在0°入射角的一第一通带的中心波长与该入射光在30°入射角的一第二通带的中心波长之间的差值小于20nm。

9.如权利要求1所述的光学滤波器，还包括：

10.如权利要求9所述的光学滤波器，其中在该基底中埋入多个电路部和一底电极，而该底电极电性连接所述多个电路部和该电子输送层，其中该滤波堆叠与该底电极通过一导孔结构电性耦合。

技术总结一种光学滤波器，包括基底、以及设置于基底上的滤波堆叠(filtering stack)。滤波堆叠包括多个第一层和多个第二层，其中第一层与第二层交错排列。第二层包括等离激元(plasmonic，电浆子)透明导电膜(transparent conducting film,TCF)，其中等离激元透明导电膜以多个非整比化合物(non‑stoichiometric compound，非化学计量化合物)形成。技术研发人员：施玟宇,赖来宏受保护的技术使用者：采钰科技股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/5/19