一种步进式曝光机的制作方法

本技术属于曝光机，具体地涉及一种步进式曝光机。

背景技术：

1、芯片整个前段制程需要经过多次黄光站点，黄光站点又分为：涂胶-曝光-显影-目检，四个大步骤；其中步骤之一：曝光，其作用类似生活中的老式交卷相机，工作原理为使用一定量的紫外线(波长一般为365nm)透过光刻板照射在涂胶后的晶圆上，将光刻板上的图形复制到晶圆上；后一层曝光需要将光刻板上的新图形套合到前一层的图形上，故需要特殊标记点进行对位，以保证两次套合的偏移量不超过设定的偏移量(一般卡控＜1.5um)；对于步进式曝光机而言，由于光束较小，光刻板上仅部分区域有图形即可；故存在一种现象：一块步进式曝光机所用光刻板大部分面积被浪费掉；

2、综合评估发现：在同一张光刻板上同时设计两层甚至多层的图形，即可实现：同一块光刻板可作业不同层别图形，光刻板利用率翻倍甚至多倍，进而大大降低光刻板成本。

技术实现思路

1、基于此，本实用新型的目的是提供一种步进式曝光机，以解决现有步进式曝光机所用光刻板大部分面积被浪费掉的问题。

2、该实用新型提供以下技术方案，一种步进式曝光机，包括机箱体及自上而下依次设于所述机箱体内部的曝光光源、遮光组件和光刻板，所述光刻板包括至少两图形区及每一所述图形区对应的名称区和条码区，所述遮光组件包括第一驱动件、第二驱动件、连接于所述第一驱动件的第一遮光件、及连接于所述第二驱动件的第二遮光件，其中，所述第一遮光件与所述第二遮光件相对设置，所述第一驱动件与所述第二驱动件分别用于驱动所述第一遮光件与所述第二遮光件往相互靠近或者相互远离的方向上移动，以使所述曝光光源可在所述光刻板上形成不同尺寸的漏光区。

3、相比现有技术，本实用新型的有益效果为：通过在所述光刻板设置至少两图形区，相对于通过在同一张光刻板上同时设计两层甚至多层的图形，实现同一块光刻板可作业不同层别图形的效果，光刻板利用率翻倍甚至多倍，进而大大降低光刻板成本；另外通过所述第一驱动件与所述第二驱动件分别用于驱动所述第一遮光件与所述第二遮光件往相互靠近或者相互远离的方向上移动，以使所述曝光光源可在所述光刻板上形成不同尺寸的漏光区(例如不同宽度，不同长度)，实现在一块光刻板设计得到多种工程做的实验效果，从而便于工程通过一块光刻板就能知道最优设计。

4、进一步的，所述第一遮光件包括第一连接板及连接于所述第一连接板的第一延伸板，所述第一连接板与所述第一延伸板形成l字形结构，所述第二遮光件包括第二连接板及连接于所述第二连接板的第二延伸板，所述第二连接板与所述第二延伸板形成l字形结构，两个所述l字形结构合围形成所述漏光区。

5、进一步的，所述第一连接板与所述第二连接板平行设置，所述第一延伸板与所述第二延伸板平行设置，以使所述漏光区呈矩形设置。

6、进一步的，所述遮光组件还包括第三驱动件和第四驱动件，所述第三驱动件与所述第一驱动件连接，所述第四驱动件与第二驱动件连接，所述第一驱动件驱动所述第一遮光件在第一方向上运动，所述第二驱动件驱动所述第二遮光件在第一方向运动，所述第三驱动件驱动所述第一遮光件在第二方向上移动，所述第四驱动件驱动所述第二遮光件在第二方向上移动，所述第一方向与所述第二方向垂直。

7、进一步的，所述机箱体内部两侧设置有支撑横条，所述支撑横条上可滑动设置有安装板，其一所述安装板与所述第一驱动件连接，其二所述安装板与所述第二驱动件连接，所述第三驱动件和所述第四驱动件分别安装于两所述支撑横条上。

8、进一步的，所述第一遮光件与所述第二遮光件之间形成有高度差，以使所述第一遮光件与所述第二遮光件可重叠，且在两者重叠时，所述第一遮光件的顶面接触所述第二遮光件的底面。

9、进一步的，所述机箱体内通过支撑板设置有镜头组。

10、进一步的，所述机箱体内底部设置有底座，所述底座上可滑动设置有工作台。

技术特征：

1.一种步进式曝光机，其特征在于，包括机箱体及自上而下依次设于所述机箱体内部的曝光光源、遮光组件和光刻板，所述光刻板包括至少两图形区及每一所述图形区对应的名称区和条码区，所述遮光组件包括第一驱动件、第二驱动件、连接于所述第一驱动件的第一遮光件、及连接于所述第二驱动件的第二遮光件，其中，所述第一遮光件与所述第二遮光件相对设置，所述第一驱动件与所述第二驱动件分别用于驱动所述第一遮光件与所述第二遮光件往相互靠近或者相互远离的方向上移动，以使所述曝光光源可在所述光刻板上形成不同尺寸的漏光区。

2.根据权利要求1所述的步进式曝光机，其特征在于，所述第一遮光件包括第一连接板及连接于所述第一连接板的第一延伸板，所述第一连接板与所述第一延伸板形成l字形结构，所述第二遮光件包括第二连接板及连接于所述第二连接板的第二延伸板，所述第二连接板与所述第二延伸板形成l字形结构，两个所述l字形结构合围形成所述漏光区。

3.根据权利要求2所述的步进式曝光机，其特征在于，所述第一连接板与所述第二连接板平行设置，所述第一延伸板与所述第二延伸板平行设置，以使所述漏光区呈矩形设置。

4.根据权利要求1所述的步进式曝光机，其特征在于，所述遮光组件还包括第三驱动件和第四驱动件，所述第三驱动件与所述第一驱动件连接，所述第四驱动件与第二驱动件连接，所述第一驱动件驱动所述第一遮光件在第一方向上运动，所述第二驱动件驱动所述第二遮光件在第一方向运动，所述第三驱动件驱动所述第一遮光件在第二方向上移动，所述第四驱动件驱动所述第二遮光件在第二方向上移动，所述第一方向与所述第二方向垂直。

5.根据权利要求4所述的步进式曝光机，其特征在于，所述机箱体内部两侧设置有支撑横条，所述支撑横条上可滑动设置有安装板，其一所述安装板与所述第一驱动件连接，其二所述安装板与所述第二驱动件连接，所述第三驱动件和所述第四驱动件分别安装于两所述支撑横条上。

6.根据权利要求1所述的步进式曝光机，其特征在于，所述第一遮光件与所述第二遮光件之间形成有高度差，以使所述第一遮光件与所述第二遮光件可重叠，且在两者重叠时，所述第一遮光件的顶面接触所述第二遮光件的底面。

7.根据权利要求1所述的步进式曝光机，其特征在于，所述机箱体内通过支撑板设置有镜头组。

8.根据权利要求1所述的步进式曝光机，其特征在于，所述机箱体内底部设置有底座，所述底座上可滑动设置有工作台。

技术总结本技术提供了一种步进式曝光机，包括机箱体及自上而下依次设于所述机箱体内部的曝光光源、遮光组件和光刻板，所述光刻板包括至少两图形区及每一所述图形区对应的名称区和条码区，所述遮光组件包括第一驱动件、第二驱动件、连接于所述第一驱动件的第一遮光件、及连接于所述第二驱动件的第二遮光件，其中，所述第一遮光件与所述第二遮光件相对设置，所述第一驱动件与所述第二驱动件分别用于驱动所述第一遮光件与所述第二遮光件往相互靠近或者相互远离的方向上移动，以使所述曝光光源可在所述光刻板上形成不同尺寸的漏光区，实现同一块光刻板可作业不同层别图形的效果，光刻板利用率翻倍甚至多倍，进而大大降低光刻板成本。技术研发人员：曹丹丹,康龙,胡瑶,董国庆,文国昇,金从龙受保护的技术使用者：江西兆驰半导体有限公司技术研发日：20231122技术公布日：2024/5/19