一种限位组件及显微镜的制作方法

本技术涉及光学仪器，具体涉及一种限位组件及显微镜。

背景技术：

1、硅片在生产过程中需借助显微镜进行表面缺陷检查，以确保成品硅片上不存在损伤，提高硅片的完整性，进一步确保半导体芯片的优良使用性能。

2、检测工作中，显微镜上通常使用可控移动的载物台，且载物台x、y和z三轴受控，能够实现对硅片的精确定位和聚焦。

3、现有技术中，硅片被放置在显微镜的载物台上进行外观检测；观测过程中，操作者需保持注视目镜，同时转动旋钮使载物台进行沿z轴方向的升降位移，直至看清物象为止；在转动过程中，由于操作者无法注意到载物台与物镜之间的距离，极易使得显微镜的镜头与硅片发生剐蹭碰撞，进而损坏硅片，影响硅片质量与生产效率。

技术实现思路

1、因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中硅片检测时显微镜的镜片易与硅片发生剐蹭碰撞的缺陷，从而提供一种能够对载物台沿z轴方向的移动进行有效限位的限位组件及显微镜。

2、为解决上述技术问题，本实用新型提供的一种限位组件及显微镜，包括：

3、固定块，设于载物台上；

4、限位杆，一端固定于所述固定块上；所述限位杆的轴线与所述载物台沿z轴的移动方向平行；

5、限位支架，固定于基体上；所述限位支架上具有向外延伸设置的第一限位部；

6、其中，所述限位杆贯穿所述第一限位部，所述限位杆与所述第一限位部可相对移动；

7、第二限位部，至少两个所述第二限位部间隔设于所述限位杆上，且分别位于第一限位部的两侧；

8、其中，所述第一限位部与所述第二限位部抵接限位。

9、可选的，所述第二限位部在所述限位杆上的固定位置可调。

10、可选的，所述第二限位部之间的距离为限位间距d，所述限位杆的长度为l；

11、当限位间距d的取值为：0＜d＜l时，所述载物台处于工作状态；

12、当限位间距d的取值为：d＝0时，所述载物台处于锁定状态。

13、可选的，所述限位杆为螺杆；

14、所述第二限位部为螺母；

15、所述螺母与所述螺杆螺旋式配合以固定限位。

16、可选的，所述第二限位部由至少两个螺母构成；

17、至少两个所述螺母的旋向相反，适于相抵接配合以自锁固定限位。

18、可选的，所述限位杆的轴线与所述第一限位部相垂直。

19、可选的，所述固定块具有平板层与成型于所述平板层一侧板面上的凸起层；

20、所述平板层的另一侧板面贴合固定在所述载物台上；

21、所述限位杆固定在所述凸起层上。

22、可选的，所述限位支架还包括：固定部，所述固定部固定于所述基体上；

23、所述第一限位部设于所述固定部上；

24、所述固定部上设有安装孔。

25、一种显微镜，包括：

26、如上述任意一项所述的限位组件；

27、基体；

28、载物台，借助升降装置设于所述基体上。

29、可选的，所述显微镜包括硅片检测显微镜。

30、本实用新型技术方案，具有如下优点：

31、1.本实用新型提供的限位组件及显微镜，借助固定块、限位支架及限位杆之间的配合连接，使载物台与基体联接在一起，同时借助第一限位部与第二限位部的配合卡位，实现载物台沿z轴的移动限位，有效防止因载物台的过运动而导致硅片磕碰损伤的问题，使硅片检测过程顺利高效地进行，提高硅片的质量；检测过程中，无需操作者额外关注载物台的实时位置，简化操作流程，提高生产效率。

32、2.本实用新型提供的限位组件及显微镜，限位杆为螺杆，第二限位部为与之相配合的螺母组件，使得第二限位部在限位杆上的固定位置可调，进而使得限位间距可调，可根据不同限位需求相应调节限位间距的大小，限位间距大小可灵活变化，实用性强；此外，通过调整限位间距，单个限位组件便可满足多个不同规格的显微镜的限位工作，兼容性强。

技术特征：

1.一种限位组件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的限位组件，其特征在于，所述第二限位部(6)在所述限位杆(3)上的固定位置可调。

3.根据权利要求2所述的限位组件，其特征在于，所述第二限位部(6)之间的距离为限位间距d，所述限位杆(3)的长度为l；

4.根据权利要求2所述的限位组件，其特征在于，所述限位杆(3)为螺杆；

5.根据权利要求4所述的限位组件，其特征在于，所述第二限位部(6)由至少两个螺母(7)构成；

6.根据权利要求1所述的限位组件，其特征在于，所述限位杆(3)的轴线与所述第一限位部(42)相垂直。

7.根据权利要求1所述的限位组件，其特征在于，所述固定块(1)具有平板层(11)与成型于所述平板层(11)一侧板面上的凸起层(12)；

8.根据权利要求1所述的限位组件，其特征在于，所述限位支架(4)还包括：固定部(41)，所述固定部(41)固定于所述基体(5)上；

9.一种显微镜，其特征在于，包括：

10.根据权利要求9所述的显微镜，其特征在于，所述显微镜包括硅片检测显微镜。

技术总结本技术涉及光学仪器技术领域，具体涉及一种限位组件及显微镜。所述限位组件包括：固定块，设于载物台上；限位杆，一端固定于固定块上；限位杆的轴线与载物台沿z轴的移动方向平行；限位支架，固定于基体上；限位支架上具有向外延伸设置的第一限位部；限位杆贯穿第一限位部，限位杆与第一限位部可相对移动；第二限位部，至少两个第二限位部间隔设于限位杆上，且分别位于第一限位部的两侧；第一限位部与第二限位部抵接限位。本技术提供的限位组件，借助第一限位部与第二限位部的配合卡位，实现载物台沿z轴的移动限位，有效防止因载物台的过运动而导致硅片磕碰损伤的问题，无需操作者额外关注载物台的实时位置，简化操作流程。技术研发人员：崔旭,姚大平受保护的技术使用者：江苏中科智芯集成科技有限公司技术研发日：20231107技术公布日：2024/6/2