光波导元件及使用了该光波导元件的光调制器件、以及光发送装置的制作方法

本发明涉及光波导元件及使用了该光波导元件的光调制器件、以及光发送装置，特别是涉及具有基板和控制电极的光波导元件及使用了该光波导元件的光调制器件、以及光发送装置，该基板形成有光波导，该控制电极在该基板上与该光波导接近地配置。

背景技术：

1、在光计测技术领域、光通信技术领域中，使用了形成有光波导的基板的光调制器等光波导元件被广泛利用。在一般的光波导元件中，在铌酸锂(ln)等的具有电光效应的基板上形成光波导，在基板上形成向该光波导施加电场的控制电极。

2、如图1所示，在专利文献1中，通过两段构造构成控制电极3，将第一段的电极30形成得薄，由此，即使缩窄电极间隔也能够高精度地作成，能够减小驱动电压。而且，将第二段的电极31以倒梯形形成得厚，由此，能够防止高频特性的劣化。需要说明的是，标号1表示基板，标号2表示光波导，标号4表示缓冲层。

3、如图2所示，在专利文献2中，公开了使控制电极3的侧面具有倾斜并将截面形成为梯形形状的结构。通过该结构，抑制驱动电压的增加，改善高频特性，而且也能够抑制制造成本。

4、近年来，高带宽相干驱动器调制器(hb-cdm：high bandwidth-coherent drivermodulator)引人瞩目。形成于基板的光波导具有1μm左右的宽度、高度，并利用由呈带状地延伸的凸状部构成的凸状光波导(例如，肋型波导、脊型波导、槽型波导)。这样的微细的凸状波导的光的限制强，能够将光波导以小的曲率弯曲，能够将光波导元件形成得紧凑。

5、然而，控制电极的间隔，例如，信号电极与接地电极的间隔、dc偏压电极间的间隔从以往的几十μm减少至几μm，电极间隔极其缩窄。因此，电极容易吸收在光波导中传播的光波，因此会产生光波的传播损失(光吸收损失)增大这样的问题。

6、而且，在采用了专利文献1那样的电极构造的情况下，相邻的电极彼此在上部(第二段)过于接近，因此这样的构造难以采用。而且，在具备专利文献2那样的倾斜面的情况下，成为凸状光波导与电极的倾斜面接近的状态，因此难以有效地抑制电极产生的光吸收。

7、在先技术文献

8、专利文献

9、专利文献1：日本特开平9-185025号公报(jp1997-185025a)

10、专利文献2：日本特开2011-215294号公报(jp2011-215294a)

技术实现思路

1、发明要解决的课题

2、本发明要解决的课题在于提供一种解决上述那样的问题，即使在电极间隔缩窄的情况下也抑制了光吸收的光波导元件。而且，提供一种使用了该光波导元件的光调制器件和光发送装置。

3、用于解决课题的方案

4、为了解决上述课题，本发明的光波导元件及使用了该光波导元件的光调制器件、以及光发送装置具有以下的技术特征。

5、(1)一种光波导元件，具有形成有光波导的基板和在该基板上与该光波导接近地配置的控制电极，所述光波导元件的特征在于，该光波导是凸状光波导，该控制电极的与该光波导相对的侧面的形状由倾斜面和曲面构成，该倾斜面与该基板具有规定的角度，该曲面与该倾斜面连续且形成有弯曲的凹陷。

6、(2)在上述(1)记载的光波导元件中，其特征在于，从该倾斜面变化为该曲面的位置设置于比该光波导的高度低的位置。

7、(3)在上述(1)记载的光波导元件中，其特征在于，该电极的厚度为1μm以下。

8、(4)一种光调制器件，其特征在于，将上述(1)至(3)的任一记载的光波导元件收容于壳体内，所述光调制器件具备光纤，该光纤相对于该光波导输入或输出光波。

9、(5)在上述(4)记载的光调制器件中，其特征在于，该控制电极是用于调制在该光波导中传播的光波的调制电极，在该壳体的内部具有电子电路，该电子电路将向该调制电极输入的调制信号放大。

10、(6)一种光发送装置，其特征在于，具有：上述(5)记载的光调制器件；光源，向该光调制器件输入光波；及电子电路，向该光调制器件输出调制信号。

11、发明效果

12、本发明涉及一种光波导元件，具有形成有光波导的基板和在该基板上与该光波导接近地配置的控制电极，该光波导是凸状光波导，该控制电极的与该光波导相对的侧面的形状由倾斜面和曲面构成，该倾斜面与该基板具有规定的角度，该曲面与该倾斜面连续且形成有弯曲的凹陷，因此，能够使凸状光波导与控制电极的距离，特别是控制电极的上部的两者的距离分离，因此能够抑制控制电极产生的光吸收。

13、此外，通过使用具备这样的优异特性的光波导元件，也能够提供发挥同样的效果的光调制器件、光发送装置。

技术特征：

1.一种光波导元件，具有基板和控制电极，该基板形成有光波导，该控制电极在该基板上与该光波导接近地配置，所述光波导元件的特征在于，

2.根据权利要求1所述的光波导元件，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的光波导元件，其特征在于，

4.一种光调制器件，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的光调制器件，其特征在于，

6.一种光发送装置，其特征在于，具有：

技术总结本发明的目的在于提供一种即使在电极间隔缩窄的情况下也抑制了光吸收的光波导元件。本发明的光波导元件具有基板(1)和控制电极(3)，该基板(1)形成有光波导(10)，该控制电极(3)在该基板上与该光波导接近地配置，该光波导元件的特征在于，该光波导(10)是凸状光波导，该控制电极(3)的与该光波导相对的侧面的形状由倾斜面(32)和曲面(33)构成，该倾斜面(32)与该基板具有规定的角度，该曲面(33)与该倾斜面连续且形成有弯曲的凹陷。技术研发人员：冈桥宏佑,片冈优受保护的技术使用者：住友大阪水泥股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/2