一种调节装置、光学设备以及检测系统的制作方法

本申请涉及检测，具体涉及一种调节装置、光学设备以及检测系统。

背景技术：

1、在对一些光学元件(例如镜片、透镜、晶圆等)进行检测或使用前，常常需要调整好光学元件的位置，以便于光学元件进行后续工作。目前所设计的调整装置，虽然能够对光学元件的位置进行多自由度调整，例如对光学元件进行三维角度调整，但其结构设计复杂，体积大，成本高。因此，亟需设计一种结构简单、紧凑的调整装置以实现多自由度调整。

技术实现思路

1、本申请提供一种调节装置、光学设备以及检测系统，其主要目的在于简化调整装置结构，并使得调整装置的结构更加紧凑化。

2、根据本申请的第一方面，提供一种调节装置，包括：支架、第一调节块、安装机构、支撑件、第一调节件、第二调节件以及第三调节件；

3、所述支撑件的两端分别与所述第一调节块和所述支架相连接，所述第一调节件和所述第二调节件均穿过所述支架和所述第一调节块靠近所述支架的一侧相接触；

4、所述安装机构设置于所述第一调节块远离所述支架的一侧上，所述安装机构用于连接待调节件；

5、所述第三调节件穿过所述第一调节块和所述安装机构相接触；

6、所述第一调节件用于沿所述第一调节件所在的轴线调节所述支架与所述第一调节块之间的距离，以使得所述第一调节块和所述安装机构均绕第二方向转动；所述第二调节件用于沿所述第二调节件所在的轴线调节所述支架与所述第一调节块之间的距离，以使得所述第一调节块和所述安装机构均绕第三方向转动；所述第三调节件用于沿着所述第二方向调节所述安装机构和所述第一调节块之间的距离，以使得所述安装机构绕第一方向转动；所述第一方向、第二方向以及所述第三方向均相互垂直。

7、一种实施例中，还包括第四调节件，所述第四调节件穿过所述第一调节块和所述安装机构相接触；所述第三调节件和所述第四调节件用于沿着所述第二方向调节所述安装机构和所述第一调节块之间的距离，以使得所述安装机构沿着所述第二方向发生移动。

8、一种实施例中，所述支撑件、第一调节件以及所述第二调节件靠近所述第一调节块的一端均为曲面结构，所述第三调节件和所述第四调节件靠近所述安装机构的一端也均为曲面结构。

9、一种实施例中，还包括第五调节件，所述第五调节件穿过所述第一调节块和所述安装机构相接触；所述第五调节件用于沿着所述第三方向调节所述安装机构和所述第一调节块之间的距离，以使得所述安装机构沿着所述第三方向发生移动，所述第五调节件靠近所述安装机构的一端为曲面结构。

10、一种实施例中，所述安装机构上设置有和所述第三调节件相接触的第三垫块、和所述第四调节件相接触的第四垫块以及和所述第五调节件相接触的第五垫块。

11、一种实施例中，所述第三垫块和所述第三调节件相接触的面、所述第四垫块和所述第四调节件相接触的面以及所述第五垫块和所述第五调节件相接触的面均为平面。

12、一种实施例中，还包括倾斜设置于所述第一调节块和所述安装机构之间的第一复位件，所述第一复位件的两端分别与所述第一调节块和所述安装机构相连接。

13、一种实施例中，所述安装机构包括第二调节块、压紧件以及安装座；所述第二调节块设置于所述第一调节块远离所述支架的一侧上，所述压紧件用于将所述安装座可转动固定在所述第二调节块远离所述第一调节块的一侧上，所述安装座的轴向和所述第一方向相平行；所述第三调节件穿过所述第一调节块和所述第二调节块相接触。

14、一种实施例中，所述安装机构还包括阻尼件，所述阻尼件设置于所述压紧件和所述安装座之间，并且所述阻尼件的两侧分别与所述压紧件和所述安装座相接。

15、一种实施例中，所述第一调节块和所述安装机构之间设置至少三组支撑组件，所述支撑组件包括相接触的支杆和第一支撑垫块；同一组所述支杆和所述第一支撑垫块中的任意一个设置于所述第一调节块上，同一组所述支杆和所述第一支撑垫块中的另一个设置于所述安装机构上。

16、一种实施例中，所述第一调节块靠近所述支架的一侧设置有和所述支撑件相接触的第二支撑垫块、和所述第一调节件相接触的第一垫块以及和所述第二调节件相接触的第二垫块；所述第二支撑垫块、第一垫块以及所述第二垫块靠近所述支架的一端面分别为平面、锥形面以及v型面中的任意一种。

17、一种实施例中，所述第二支撑垫块、第一垫块以及所述第二垫块靠近所述支架的端面形状互不相同。

18、一种实施例中，所述支架和所述安装机构之间设置至少一个第二复位件，所述第二复位件用于辅助所述安装机构向靠近所述支架一侧绕所述第二方向转动；所述支架和所述安装机构之间设置至少一个第三复位件，所述第三复位件用于辅助所述安装机构向靠近所述支架一侧绕所述第三方向转动。

19、一种实施例中，还包括支撑座、第六调节件以及导向组件；所述支架包括相垂直分布的第一支板和第二支板，所述第一调节块设置于所述第一支板上，所述支撑座位于所述第二支板远离所述第一调节块的一侧，所述支撑座和所述第二支板之间设置所述导向组件，所述导向组件用于辅助所述支架沿着第一方向相对所述支撑座移动；所述第六调节件穿过所述支撑座和所述第二支板相接触，所述第六调节件用于沿着所述第一方向调节所述支撑座和所述第二支板之间的距离，以使得所述支架沿着所述第一方向发生移动。

20、一种实施例中，所述导向组件包括导轨和滑块，所述导轨设置于所述支撑座上，所述滑块设置于所述第二支板上，所述导轨和所述滑块滑动连接；所述调节装置还包括倾斜设置于所述支架和所述支撑座之间的第四复位件，所述第四复位件的轴向与所述第一方向和所述第三方向形成的面相平行。

21、根据本申请的第二方面，提供一种光学设备，包括：光学元件和上述调节装置，所述光学元件为所述安装机构中用于连接的待调节件，所述调节装置用于调节所述光学元件的位置。

22、根据本申请的第三方面，提供一种检测系统，包括上述光学设备。

23、依据上述实施例中的调节装置，第一调节块的一侧设置有支架，另一侧设置有安装机构，安装机构用于承载待调节件。通过在第一调节块和支架之间设置第一调节件和第二调节件，使得安装机构上的待调节件能够绕第二方向和/或第三方向进行转动，再通过第一调节块和安装机构之间设置的第三调节件，使得安装机构上的待调节件能够绕第一方向进行转动。这样，使用调节装置时，就能够对其上的待调节件进行一到三个自由度的转动调节，并且第一调节件和第二调节件均设置于支架和第一调节块之间，无需再设置额外的元件进行装配连接。所设计的调节装置既能够实现多自由度调整功能，又能有效简化调节装置的结构设计，使得调节装置的结构更加紧凑化，并降低成本。

技术特征：

1.一种调节装置，其特征在于，包括：支架(10)、第一调节块(20)、安装机构(30)、支撑件(40)、第一调节件(a)、第二调节件(b)以及第三调节件(c)；

2.如权利要求1所述的调节装置，其特征在于，还包括第四调节件(d)，所述第四调节件(d)穿过所述第一调节块(20)和所述安装机构(30)相接触；所述第三调节件(c)和所述第四调节件(d)用于沿着所述第二方向调节所述安装机构(30)和所述第一调节块(20)之间的距离，以使得所述安装机构(30)沿着所述第二方向发生移动。

3.如权利要求2所述的调节装置，其特征在于，所述支撑件(40)、第一调节件(a)以及所述第二调节件(b)靠近所述第一调节块(20)的一端均为曲面结构，所述第三调节件(c)和所述第四调节件(d)靠近所述安装机构(30)的一端也均为曲面结构。

4.如权利要求3所述的调节装置，其特征在于，还包括第五调节件(e)，所述第五调节件(e)穿过所述第一调节块(20)和所述安装机构(30)相接触；所述第五调节件(e)用于沿着所述第三方向调节所述安装机构(30)和所述第一调节块(20)之间的距离，以使得所述安装机构(30)沿着所述第三方向发生移动，所述第五调节件(e)靠近所述安装机构(30)的一端为曲面结构。

5.如权利要求4所述的调节装置，其特征在于，所述安装机构(30)上设置有和所述第三调节件(c)相接触的第三垫块(c)、和所述第四调节件(d)相接触的第四垫块(d)以及和所述第五调节件(e)相接触的第五垫块(e)。

6.如权利要求5所述的调节装置，其特征在于，所述第三垫块(c)和所述第三调节件(c)相接触的面、所述第四垫块(d)和所述第四调节件(d)相接触的面以及所述第五垫块(e)和所述第五调节件(e)相接触的面均为平面。

7.如权利要求1所述的调节装置，其特征在于，还包括倾斜设置于所述第一调节块(20)和所述安装机构(30)之间的第一复位件(50)，所述第一复位件(50)的两端分别与所述第一调节块(20)和所述安装机构(30)相连接。

8.如权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述安装机构(30)包括第二调节块(31)、压紧件(32)以及安装座(33)；所述第二调节块(31)设置于所述第一调节块(20)远离所述支架(10)的一侧上，所述压紧件(32)用于将所述安装座(33)可转动固定在所述第二调节块(31)远离所述第一调节块(20)的一侧上，所述安装座(33)的轴向和所述第一方向相平行；所述第三调节件(c)穿过所述第一调节块(20)和所述第二调节块(31)相接触。

9.如权利要求8所述的调节装置，其特征在于，所述安装机构(30)还包括阻尼件(34)，所述阻尼件(34)设置于所述压紧件(32)和所述安装座(33)之间，并且所述阻尼件(34)的两侧分别与所述压紧件(32)和所述安装座(33)相接。

10.如权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述第一调节块(20)和所述安装机构(30)之间设置至少三组支撑组件(60)，所述支撑组件(60)包括相接触的支杆(61)和第一支撑垫块(62)；同一组所述支杆(61)和所述第一支撑垫块(62)中的任意一个设置于所述第一调节块(20)上，同一组所述支杆(61)和所述第一支撑垫块(62)中的另一个设置于所述安装机构(30)上。

11.如权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述第一调节块(20)靠近所述支架(10)的一侧设置有和所述支撑件(40)相接触的第二支撑垫块(21)、和所述第一调节件(a)相接触的第一垫块(a)以及和所述第二调节件(b)相接触的第二垫块(b)；所述第二支撑垫块(21)、第一垫块(a)以及所述第二垫块(b)靠近所述支架(10)的一端面分别为平面、锥形面以及v型面中的任意一种。

12.如权利要求11所述的调节装置，其特征在于，所述第二支撑垫块(21)、第一垫块(a)以及所述第二垫块(b)靠近所述支架(10)的端面形状互不相同。

13.如权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述支架(10)和所述安装机构(30)之间设置至少一个第二复位件(70)，所述第二复位件(70)用于辅助所述安装机构(30)向靠近所述支架(10)一侧绕所述第二方向转动；所述支架(10)和所述安装机构(30)之间设置至少一个第三复位件(80)，所述第三复位件(80)用于辅助所述安装机构(30)向靠近所述支架(10)一侧绕所述第三方向转动。

14.如权利要求1所述的调节装置，其特征在于，还包括支撑座(90)、第六调节件(f)以及导向组件(100)；所述支架(10)包括相垂直分布的第一支板(11)和第二支板(12)，所述第一调节块(20)设置于所述第一支板(11)上，所述支撑座(90)位于所述第二支板(12)远离所述第一调节块(20)的一侧，所述支撑座(90)和所述第二支板(12)之间设置所述导向组件(100)，所述导向组件(100)用于辅助所述支架(10)沿着第一方向相对所述支撑座(90)移动；所述第六调节件(f)穿过所述支撑座(90)和所述第二支板(12)相接触，所述第六调节件(f)用于沿着所述第一方向调节所述支撑座(90)和所述第二支板(12)之间的距离，以使得所述支架(10)沿着所述第一方向发生移动。

15.如权利要求14所述的调节装置，其特征在于，所述导向组件(100)包括导轨(101)和滑块(102)，所述导轨(101)设置于所述支撑座(90)上，所述滑块(102)设置于所述第二支板(12)上，所述导轨(101)和所述滑块(102)滑动连接；所述调节装置还包括倾斜设置于所述支架(10)和所述支撑座(90)之间的第四复位件(110)，所述第四复位件(110)的轴向与所述第一方向和所述第三方向形成的面相平行。

16.一种光学设备，其特征在于，包括：光学元件和如权利要求1-15中任一项所述的调节装置，所述光学元件为所述安装机构(30)中用于连接的待调节件，所述调节装置用于调节所述光学元件的位置。

17.一种检测系统，其特征在于，包括权利要求16中所述的光学设备。

技术总结一种调节装置、光学设备以及检测系统，调节装置包括：支架、第一调节块、安装机构、支撑件、第一调节件、第二调节件以及第三调节件。第一调节件和第二调节件均穿过支架和第一调节块靠近支架的一侧相接触。安装机构设置于第一调节块远离支架的一侧上，安装机构用于连接待调节件。第三调节件穿过第一调节块和安装机构相接触。第一调节件用于使得第一调节块和安装机构均绕第二方向转动。第二调节件用于使得第一调节块和安装机构均绕第三方向转动。第三调节件用于使得安装机构绕第一方向转动。所设计的调节装置既能够实现多自由度调整功能，又能有效简化调节装置的结构设计，使得调节装置的结构更加紧凑化，并降低成本。技术研发人员：王朋辉,黄有为,陈鲁,张嵩受保护的技术使用者：深圳中科飞测科技股份有限公司技术研发日：20231026技术公布日：2024/6/5