一种改善实验室研磨废液排液堵塞的装置的制作方法

本发明涉及半导体，特别是涉及一种改善实验室研磨废液排液堵塞的装置。

背景技术：

1、现有fa实验室8台手动研磨机研磨废液排液的方法：废液先进入一个储液槽，待液位上升至一定高度后，由水泵抽出废液，上排至厂务总管。

2、由于环境所限，排液只能是上排，从1f实验室上排至2f的厂务端，所以必须加装排水泵和止回阀。但是由于废液中有较多固体颗粒物，导致水泵和止回阀容易堵塞，在实验室8台手动研磨机日常负荷的使用情况下，一般一个月就会造成水泵堵塞卡死，需要更换水泵。三个月左右止回阀也有一定几率被堵塞损坏，需要更换止回阀。

3、每次更换相关设备都会造成实验室8台手动研磨机无法使用，而且因为上排水的原因，管路中的废液也会回流至储液槽，造成液面过高导致倒灌，严重时会溢出触发漏液警报。同时，储水槽也需要定期清理，现有的情况导致清理周期较短(每周一次)。

技术实现思路

1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种改善实验室研磨废液排液堵塞的装置，用于解决现有技术中研磨废液排液堵塞的问题。

2、为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种改善实验室研磨废液排液堵塞的装置，至少包括：

3、水槽；所述水槽包含相互分隔的两部分，一部分为沉淀区，一部分为蓄水区；所述沉淀区上设有可拆卸滤网；

4、所述水槽的蓄水区的一侧设有管路，该管路的一侧设有并联的第一、第二水泵；在所述第一、第二水泵的交汇处设有手阀；

5、所述第一、第二水泵的末端设有止回阀。

6、优选地，所述可拆卸滤网的作用是：当所述沉淀区中的水溢出后通过所述可拆卸滤网过滤后流向所述蓄水区。

7、优选地，所述手阀用于在第一、第二水泵间来回切换。

8、优选地，所述管路在所述水槽的蓄水区一侧与所述第一、第二水泵的首端之间设有纯水管。

9、优选地，所述纯水管用于定期冲洗所述管路，避免所述水管被废液中的杂质堵塞。

10、优选地，所述装置的排液方式为上排。

11、如上所述，本发明的改善实验室研磨废液排液堵塞的装置，具有以下有益效果：本发明中的滤网可以随时方便的更换，成本低廉，加入手阀可以快速切换水路，实验室工作人员无需等待设备工程师到场即可做到自行切换，不影响正常研磨机使用，给了充分的冗余时间，更换水泵时也不影响实验室正常运作。

技术特征：

1.一种改善实验室研磨废液排液堵塞的装置，其特征在于，至少包括：

2.根据权利要求1所述的改善实验室研磨废液排液堵塞的装置，其特征在于：所述可拆卸滤网的作用是：当所述沉淀区中的水溢出后通过所述可拆卸滤网过滤后流向所述蓄水区。

3.根据权利要求1所述的改善实验室研磨废液排液堵塞的装置，其特征在于：所述手阀用于在第一、第二水泵间来回切换。

4.根据权利要求1所述的改善实验室研磨废液排液堵塞的装置，其特征在于：所述管路在所述水槽的蓄水区一侧与所述第一、第二水泵的首端之间设有纯水管。

5.根据权利要求6所述的改善实验室研磨废液排液堵塞的装置，其特征在于：所述纯水管用于定期冲洗所述管路，避免所述水管被废液中的杂质堵塞。

6.根据权利要求1所述的改善实验室研磨废液排液堵塞的装置，其特征在于：所述装置的排液方式为上排。

技术总结本发明提供一种改善实验室研磨废液排液堵塞的装置，水槽；所述水槽包含相互分隔的两部分，一部分为沉淀区，一部分为蓄水区；所述沉淀区上设有可拆卸滤网；所述水槽的蓄水区的一侧设有管路，该管路的一侧设有并联的第一、第二水泵；在所述第一、第二水泵的交汇处设有手阀；所述第一、第二水泵的末端设有止回阀。本发明中的滤网可以随时方便的更换，成本低廉，加入手阀可以快速切换水路，实验室工作人员无需等待设备工程师到场即可做到自行切换，不影响正常研磨机使用，给了充分的冗余时间，更换水泵时也不影响实验室正常运作。技术研发人员：陈曦受保护的技术使用者：上海华力集成电路制造有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/23