一种涂胶显影机纯水过滤管路调节装置的制作方法

本技术涉及涂胶显影机领域，具体是一种涂胶显影机纯水过滤管路调节装置。

背景技术：

1、涂胶显影设备是在光刻工序中和光刻机配套使用的机器，主要起到涂胶、烘烤和显影的作用。涂胶显影设备是集成电路生产过程中不可获缺的设备，能够直接影响到光刻工序中曝光图案的形成。

2、涂胶显影设备主要应用在晶圆生产中的前道euv光刻中，以及后道的封测和led制造中，在晶圆生产中起到重要作用，通过与光刻机联机作业，完成光刻工艺流程。作为光刻机的输入和输出环节，在曝光前涂胶机进行光刻胶涂覆，在曝光后显影机进行显影，期间主要通过机械手使晶圆在各系统之间传输和处理，从而完成晶圆的光刻胶涂覆、固化、显影、坚膜等工艺过程，涂胶和显影不仅直接影响到光刻工序曝光图案的形成，图形质量对后续刻蚀和离子注入等工艺中图形转移的结果也有着重要影响，是ic制造过程中的关键设备。

3、涂胶显影机内部工艺对纯水要求较高，但未过滤的纯水中存在少量悬浮物颗粒和固体杂质，使得涂胶显影机中纯水管路中过滤过程中过滤出的杂质会进行堆积，导致过滤器中的滤芯失效，需要操作人员对滤芯进行清洗，且为了保证纯水的过滤质量，滤芯需要清理的周期较短，清理较为频繁，人工成本较高，且每一次清理需要拆卸滤芯，会加速设备损耗，本申请旨在对纯水过滤的过程中，实时监测过滤杂质，对过滤的杂质进行智能冲刷排出，避免杂质的堆积，导致滤芯堵塞，影响过滤效果。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种涂胶显影机纯水过滤管路调节装置，以解决现有技术中的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种涂胶显影机纯水过滤管路调节装置，装置包括用于对纯水进行输送的输送管路，输送管路上设有用于对纯水进行过滤的过滤调节的过滤器，输送管路分别嵌设在过滤器两侧，过滤器内部设有用于对纯水进行双重过滤的过滤调节组件，过滤调节组件包括汇合过滤腔，汇合过滤腔与过滤器一体连接，过滤器上设有用于对过滤杂质冲掉的冲刷组件，冲刷组件包括若干冲刷水管，冲刷水管分别嵌设在过滤器和汇合过滤腔内部。

4、通过采用上述技术方案：输送管路用于对纯水进行输送，过滤器用于纯水进行过滤，过滤调节组件用于对纯水进行双重过滤，冲刷组件用于对过滤过程中堆积的杂质进行冲刷，将堆积的杂质冲刷排出。

5、进一步设置：过滤调节组件包括若干用于减缓纯水水流速后进行过滤的过滤网轮，汇合过滤腔内部设有通口，过滤网轮通过轴承与汇合过滤腔内部通口连接，过滤网轮上设有若干用于对纯水进行过滤的过滤孔，汇合过滤腔呈锥形台状，汇合过滤腔远离过滤网轮一侧设有用于对纯水进行二次过滤的过滤板，过滤板嵌设在汇合过滤腔底部，且与汇合过滤腔内部通口可拆卸连接。

6、通过采用上述技术方案：过滤网轮一方面能够对纯水中较大的固定杂质进行预先过滤，通过水流的作用力转动过滤网轮对固体杂质进行碾压，避免较大的固定杂质损坏底部过滤膜，另一方面能够对纯水的流速进行放缓，避免水流过快过滤不完全，汇合过滤腔呈锥形台状能够限制水流的位置，汇合至过滤板进行过滤，

7、进一步设置：冲刷组件包括用于对杂质冲刷后流出的杂质排出管，冲刷水管和杂质排出管分别设置在汇合过滤腔相对的一侧，冲刷水管和杂质排出管均呈倾斜状，杂质排出管分别嵌设在过滤器和汇合过滤腔内部，过滤器内部靠近冲刷水管和杂质排出管的位置分别设有用于支撑冲刷水管的管路托板和用于对杂质排出管内部进行挡水支撑的支撑挡板，管路托板上设有若干用于架设冲刷水管的弧形槽，杂质排出管靠近支撑挡板的一侧设有格挡口，支撑挡板内部设有槽口，槽口内部设有用于对杂质排出管内部水流进行格挡的伸缩格挡板，槽口内部设有用于带动伸缩格挡板嵌入格挡口进行格挡水流的气缸。

8、通过采用上述技术方案：杂质排出管与冲刷水管相对设置，用于冲刷水管将堆积的杂质从杂质排出管冲出，冲刷水管和杂质排出管均呈倾斜状便于冲刷水管加速水流冲刷力度和杂质便于排出，管路托板用于对支撑冲刷水管，避免冲刷水管晃动，支撑挡板一方面用于对杂质排出管进行支撑，一方面对杂质排出管内部水流进行格挡，避免在纯水过滤时，纯水在杂质排出管内部流出，伸缩格挡板与槽口大小相匹配，用于槽口进行伸缩格挡。

9、进一步设置：过滤器上设有盖板，盖板与过滤器可拆卸连接，盖板上设有用于过滤网轮存在杂质异常声音进行检测的智能声响检测仪。

10、通过采用上述技术方案：盖板能够便于操作人员开启过滤器进行查看，智能声响检测仪能够检测过滤网轮与固体杂质摩擦产生的声音，从而对固定杂质实时进行检测。

11、进一步设置：过滤板上设有用于加强过滤作用的过滤膜，过滤板内部设有挡水槽，挡水槽内部设有伸缩挡水板，伸缩挡水板滑移连接在挡水槽内部，伸缩挡水板内部设有推动伸缩挡水板伸缩对过滤板内进行挡水的气缸。

12、通过采用上述技术方案：过滤膜能够加强过滤板的过滤作用，伸缩挡水板能够在冲刷水管冲刷时进行格挡，避免水流就入涂胶显影机内部。

13、进一步设置：输送管路和冲刷水管上均设有用于控制水流的控制阀。

14、通过采用上述技术方案：控制阀能够输送管路和冲刷水管内部水流输送进行控制。

15、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：旨在对纯水过滤的过程中，实时监测过滤杂质，对过滤的杂质进行智能冲刷排出，避免杂质的堆积，导致滤芯堵塞，影响过滤效果。

技术特征：

1.一种涂胶显影机纯水过滤管路调节装置，其特征在于：所述装置包括用于对纯水进行输送的输送管路(1)，输送管路(1)上设有用于对纯水进行过滤的过滤调节的过滤器(2)，输送管路(1)分别嵌设在过滤器(2)两侧，过滤器(2)内部设有用于对纯水进行双重过滤的过滤调节组件，过滤调节组件包括汇合过滤腔(3)，汇合过滤腔(3)与过滤器(2)一体连接，过滤器(2)上设有用于对过滤杂质冲掉的冲刷组件，冲刷组件包括若干冲刷水管(4)，冲刷水管(4)分别嵌设在过滤器(2)和汇合过滤腔(3)内部。

2.根据权利要求1所述的一种涂胶显影机纯水过滤管路调节装置，其特征在于:所述过滤调节组件包括若干用于减缓纯水水流速后进行过滤的过滤网轮(5)，汇合过滤腔(3)内部设有通口，过滤网轮(5)通过轴承与汇合过滤腔(3)内部通口连接，过滤网轮(5)上设有若干用于对纯水进行过滤的过滤孔，汇合过滤腔(3)呈锥形台状，汇合过滤腔(3)远离过滤网轮(5)一侧设有用于对纯水进行二次过滤的过滤板(7)，过滤板(7)嵌设在汇合过滤腔(3)底部，且与汇合过滤腔(3)内部通口可拆卸连接。

3.根据权利要求1所述的一种涂胶显影机纯水过滤管路调节装置，其特征在于:所述冲刷组件包括用于对杂质冲刷后流出的杂质排出管(10)，冲刷水管(4)和杂质排出管(10)分别设置在汇合过滤腔(3)相对的一侧，冲刷水管(4)和杂质排出管(10)均呈倾斜状，杂质排出管(10)分别嵌设在过滤器(2)和汇合过滤腔(3)内部，过滤器(2)内部靠近冲刷水管(4)和杂质排出管(10)的位置分别设有用于支撑冲刷水管(4)的管路托板(11)和用于对杂质排出管(10)内部进行挡水支撑的支撑挡板(12)，管路托板(11)上设有若干用于架设冲刷水管(4)的弧形槽，杂质排出管(10)靠近支撑挡板(12)的一侧设有格挡口，支撑挡板(12)内部设有槽口，槽口内部设有用于对杂质排出管(10)内部水流进行格挡的伸缩格挡板(13)，槽口内部设有用于带动伸缩格挡板(13)嵌入格挡口进行格挡水流的气缸。

4.根据权利要求1所述的一种涂胶显影机纯水过滤管路调节装置，其特征在于:所述过滤器(2)上设有盖板(14)，盖板(14)与过滤器(2)可拆卸连接，盖板(14)上设有用于过滤网轮(5)存在杂质异常声音进行检测的智能声响检测仪(6)。

5.根据权利要求2所述的一种涂胶显影机纯水过滤管路调节装置，其特征在于:所述过滤板(7)上设有用于加强过滤作用的过滤膜(8)，过滤板(7)内部设有挡水槽，挡水槽内部设有伸缩挡水板(9)，伸缩挡水板(9)滑移连接在挡水槽内部，伸缩挡水板(9)内部设有推动伸缩挡水板(9)伸缩对过滤板(7)内进行挡水的气缸。

6.根据权利要求1所述的一种涂胶显影机纯水过滤管路调节装置，其特征在于:所述输送管路(1)和冲刷水管(4)上均设有用于控制水流的控制阀。

技术总结本技术公开了一种涂胶显影机纯水过滤管路调节装置，装置包括用于对纯水进行输送的输送管路，输送管路上设有用于对纯水进行过滤的过滤调节的过滤器，输送管路分别嵌设在过滤器两侧，过滤器内部设有用于对纯水进行双重过滤的过滤调节组件，过滤调节组件包括汇合过滤腔，汇合过滤腔与过滤器一体连接，过滤器上设有用于对过滤杂质冲掉的冲刷组件，旨在对纯水过滤的过程中，实时监测过滤杂质，对过滤的杂质进行智能冲刷排出，避免杂质的堆积，导致滤芯堵塞，影响过滤效果。技术研发人员：张军区,叶挺受保护的技术使用者：南方华创半导体（无锡）有限公司技术研发日：20230905技术公布日：2024/7/15