双溢流阀的双级罗茨泵的制作方法

专利名称：双溢流阀的双级罗茨泵的制作方法技术领域：本实用新型涉及一种双溢流阀的双级罗茨泵，属于真空技术领域。背景技术：罗茨真空泵是一种无内压缩的旋转变容积式真空泵。由装在泵体内的一对平行轴上的两个转子构成，轴端齿轮驱动同步运转。近年来，罗茨泵在石油化工、冶金、造纸、食品及电子行业等领域得到了广泛的应用。由于罗茨泵一般不能单独使用，需要串联前级泵，连接成机组形式。为了使机组得到较高的真空度，前级泵往往串联两台或三台罗茨泵，有的甚至串联四台，不但占用了大量空间，也增加了设备的成本及日后的维护费用。双级罗茨泵的推出就很好的解决了这些问题，简化了机组形式，但是双级罗茨泵不能在大气压下直接启动，必须由前级泵把系统抽到较高的真空度(约1000Pa-2000Pa)才能启动，且双级罗茨泵进排气口压差不能太高(约3000Pa-6000Pa)，否则会造成前级泵负载过大，这些问题制约着双级罗茨泵的推广使用。实用新型内容根据以上现有技术中的不足，本实用新型要解决的技术问题是:提供一种能够在大气压下直接启动、操作便捷且能够提高真空机组抽气效率的双溢流阀的双级罗茨泵。本实用新型所述的双溢流阀的双级罗茨泵，包括电机和泵体，泵体中设置一对平行安装的主动转子轴、从动转子轴，主动转子轴连接电机，主动转子轴、从动转子轴上分别装配相啮合的主动齿轮、从动齿轮，泵体包括前泵体和后泵体，前、后泵体接触的壁上设有气道，前、后泵体的泵腔中分别设置一对转子，每对转子相互垂直的安装在主动转子轴和从动转子轴上，前泵体、后泵体上均设置进气端和排气端，每个泵体中都设有连通进气端、排气端的通道，通道中安装溢流阀，后泵体上设置与前级泵连通的侧口。工作时，从前泵体的排气端排出的气体通过气道进入后泵体的进气端，再由后泵体的排气端排向与双级罗茨泵串联的前级泵，当前级泵不能及时把这些气体排出时，造成后泵体排气端与进气端的压差升高，当压差高于后泵体的溢流阀阀体的重量时，后泵体中的溢流阀打开，气体重新进入双级罗茨泵中，在后泵体内通过溢流阀自循环，直到这些气体被前级泵逐渐抽出，前泵体的溢流阀具有同样的作用。本实用新型与现有技术相比所具有的有益效果是:本双级罗茨泵通过设置双溢流阀，能在大气压下直接启动，不用等待其前级泵，而且不会因前级泵负载过大对泵或电机造成损害，操作更加便捷，并提高了真空机组的抽气效率。图1是本实用新型的结构示意图；图2是前泵体的剖面示意图；[0010]图3是后泵体的剖面示意图。图中:1、电机；2、前泵体；3、转子；4、后泵体；5、溢流阀；6、溢流阀；7、泵腔；8、排气端；9、气道；10、通道；11、进气端；12、排气端；13、侧口 ；14、通道；15、从动转子轴；16、进气端；17、主动转子轴；18、泵腔。具体实施方式以下结合附图对本实用新型的实施例做进一步描述:如图f 3所示，双溢流阀的双级罗茨泵，包括电机I和泵体,泵体中设置一对平行安装的主动转子轴17、从动转子轴15，主动转子轴17连接电机1，主动转子轴17、从动转子轴15上分别装配相啮合的主动齿轮、从动齿轮，泵体包括前泵体2和后泵体4，前、后泵体接触的壁上设有气道9，前、后泵体的泵腔7、18中分别设置一对转子3，每对转子3相互垂直的安装在主动转子轴17和从动转子轴15上，前泵体2上设置进气端11、排气端8以及连通进气端11和排气端8的通道10，通道10中安装溢流阀6，后泵体4上设置与前级泵连通的侧口 13、进气端16、排气端12以及连通进气端16和排气端12的通道14，通道14中安装溢流阀5。工作时，被抽真空系统中的气体通过前泵体的进气端11，经过前泵体2中旋转的转子，被排到前泵体的排气端8，排气端是封闭的，气体会沿着箭头所指的方向，由前、后泵体接触的壁上的气道9进入后泵体的进气端16，在后泵体4中转子的旋转作用下，气体最终被排向排气端12，并通过侧口 13排向与双级罗茨泵串联的前级泵，如果双级罗茨泵压缩的气体过多，前级泵无法及时抽出，就会造成后泵体排气端12与进气端16的压差升高，当压差高于后泵体4的溢流阀阀体的重量时，后泵体4中的溢流阀5打开，气体重新进入双级罗茨泵中，在后泵体4内通过溢流阀5自循环，直到这些气体被前级泵逐渐抽出，前泵体的溢流阀6具有同样的作用。本双级罗茨泵在前、后两个泵体上都设计了溢流阀，在大气压下能直接启动，不用等待其前级泵，而且不会因前级泵负载过大对泵或电机造成损害，操作更加便捷，并提高了真空机组的抽气效率。权利要求1.一种双溢流阀的双级罗茨泵，包括电机(I)和泵体，其特征在于:泵体中设置一对平行安装的主动转子轴(17)、从动转子轴(15)，主动转子轴(17)连接电机(1)，主动转子轴(17)、从动转子轴(15)上分别装配相啮合的主动齿轮、从动齿轮，泵体包括前泵体(2)和后泵体(4)，前、后泵体接触的壁上设有气道(9)，前、后泵体的泵腔中分别设置一对转子(3)，每对转子相互垂直的安装在主动转子轴(17)和从动转子轴(15)上，前、后泵体上均设置进气端和排气端，每个泵体中都设有连通进气端、排气端的通道，通道中安装溢流阀，后泵体(4)上设置与前级泵连通 的侧口( 13)。专利摘要本实用新型属于真空技术领域，具体涉及一种双溢流阀的双级罗茨泵，包括电机和泵体，泵体中设置一对平行安装的主动转子轴、从动转子轴，主动转子轴连接电机，泵体包括前泵体和后泵体，前、后泵体接触的壁上设有气道，前、后泵体的泵腔中分别设置一对转子，每对转子相互垂直的安装在主动转子轴和从动转子轴上，前泵体、后泵体上均设置进气端和排气端，每个泵体中都设有连通进气端、排气端的通道，通道中安装溢流阀，后泵体上设置与前级泵连通的侧口。本双级罗茨泵通过设置双溢流阀，能在大气压下直接启动，不用等待其前级泵，而且不会因前级泵负载过大对泵或电机造成损害，操作更加便捷，并提高了真空机组的抽气效率。文档编号F04C29/12GK203081752SQ20132004248公开日2013年7月24日 申请日期2013年1月25日 优先权日2013年1月25日发明者胡立昌, 肖庆涛, 闫既明 申请人:淄博沃德气体设备有限公司