一种真空扩散泵的制作方法

专利名称：一种真空扩散泵的制作方法技术领域：本实用新型涉及真空泵领域，特别是一种真空扩散泵。背景技术：扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。扩散泵中的油在真空中加热到沸腾温度(约为200度)产生大量的油蒸气，油蒸气经由各级喷嘴定向高速喷出。由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压强高于蒸气流中该气体的分压强。这样，被抽气体分子沿着蒸气方向高速运动，气体分子碰到泵体内壁又反射回来，再受到蒸气流碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁。经过几次碰撞后，气体分子被压缩到低真空端，再由下几级喷嘴喷出的蒸气进气多级压缩，最后由前级泵抽走，而油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到下层重新被加热，如此循环工作达到抽气目的。存在的问题是，1、油的蒸发与空气接触的面积有关，而现有的结构限制了油与空气接触的面积，影响蒸发效率。2、虽然存在冷却夹套，但是仍有部分油蒸汽会从入口返流进入到被抽容器，影响了扩散泵的性能。3、扩散泵停止工作时，泵油易劣化。4、加热元件故障易导致电炉断电停止工作，由于电炉与扩散泵底部结合牢固，加热元件的炉丝出故障不易察觉，电炉故障后加热功能无效导致真空度的变化，从而影响正常生产。发明内容针对现有技术的 不足，本实用新型的目的是提供一种真空扩散泵，可以克服现有技术中油的蒸发效率低的问题，进一步的，可以避免油蒸汽的返流，避免泵油劣化和避免电炉内的加热元件故障而导致真空度的变化。本实用新型的目的是这样实现的:一种真空扩散泵，包括泵体，泵体上设有入口和出口，泵体外壁设有冷却夹套，泵体的真空腔内设有多级喷嘴，蒸发油腔与多级喷嘴分别连接，蒸发油腔下部设有加热元件，所述的蒸发油腔内设有导油盘；所述的导油盘呈倒扣的碗状，导油盘外缘最宽处覆盖回油孔的水平面投影位置，最窄处覆盖所有蒸发孔的水平面投影位置。所述的蒸发油腔或加热元件附近设有温度传感器。靠近泵体的入口处还设有冷凝栅。泵体的出口处设有单向蝶阀。所述的多级喷嘴为三个。所述的多级喷嘴同心布置，从内层到外层高度逐步降低。本实用新型提供的一种真空扩散泵，通过设置的导油盘，提高了油的蒸发效率。通过设置的冷凝栅，确保油蒸汽在此处被冷凝，不会产生返流。设置的温度传感器，可以方便地观察扩散泵加热元件的运作情况，及时对设备进行修理维护，从而提高生产效率。设置的单向蝶阀可以确保本实用新型在不工作时，仍保持真空状态，以免泵油劣化。以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。[0015]图1是本实用新型的整体结构示意图。图中:入口 I，冷却夹套2，一级喷嘴3，真空腔4，二级喷嘴5，三级喷嘴6，出口 7，导油盘8，蒸发油腔9，加热元件10，温度传感器11，泵体12，冷凝栅13，单向蝶阀14，回油孔15,蒸发孔16。具体实施方式如图1中，一种真空扩散泵，包括泵体12，泵体12上设有入口 I和出口 7，泵体12外壁设有冷却夹套2，泵体12的真空腔4内设有多级喷嘴，蒸发油腔9与多级喷嘴分别连接，蒸发油腔9下部设有加热元件10，所述的蒸发油腔9内设有导油盘8 ;所述的导油盘8呈倒扣的碗状，导油盘8外缘最宽处覆盖回油孔15的水平面投影位置，最窄处覆盖所有蒸发孔16的水平面投影位置。通过设置的导油盘，扩大了泵油与空气的接触面，提高了油的蒸发效率，且回油顺畅，相比未改造前，效率提升15%。所述的蒸发油腔9或加热元件10附近设有温度传感器。由此结构，可以方便地观察扩散泵加热元件的运作情况，及时对设备进行修理维护，从而提高生产效率。靠近泵体12的入口 I处还设有冷凝栅13。由此结构，避免了油蒸汽的返流，提高了效率。泵体12的出口 7处设有单向蝶阀14。由此结构，当本实用新型不工作时，高精度的单向蝶阀14即关闭，真空腔4内仍保持真空状态，以免泵油劣化。优化的方案中，所述的多级喷嘴为三个。所述的多级喷嘴同心布置，从内层到外层高度逐步降低。使用时，泵油被加热元件10加热形成油蒸汽，从蒸发孔16进入到各级喷嘴，当油蒸汽从一级喷嘴3以超音速喷出后，其速度逐渐增大，压力及密度逐渐降低，入口 I的气体因密度差要向蒸汽射流中·扩散并被射流携带到冷却夹套2的泵体12内壁处，在该处，工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵体12内壁流回到油锅中循环使用，而被抽气体在泵体12内壁处堆积、压缩，最后被二级喷嘴5和三级喷嘴6的下级射流携带走，以达到逐级压缩，最后被前级泵从出口 7抽走。少量的返流油蒸汽在冷凝栅13处被冷凝形成油滴回流。当加热元件异常时，控制系统或人工即可查看到温度传感器11返回的异常信号，从而及时处理。当本实用新型停止工作时，在真空腔4的真空作用下，单向蝶阀14迅速关闭，此时再关闭入口I和出口 7处的阀门，即可确保泵体12内的真空度，从而确保泵油的劣化。权利要求1.一种真空扩散泵，包括泵体(12)，泵体(12)上设有入口( I)和出口( 7)，泵体(12)外壁设有冷却夹套(2)，泵体(12)的真空腔(4)内设有多级喷嘴，蒸发油腔(9)与多级喷嘴分别连接，蒸发油腔(9)下部设有加热元件(10)，其特征是:所述的蒸发油腔(9)内设有导油盘(8);所述的导油盘(8)呈倒扣的碗状，导油盘(8)外缘最宽处覆盖回油孔(15)的水平面投影位置，最窄处覆盖所有蒸发孔(16)的水平面投影位置。2.根据权利要求1所述的一种真空扩散泵，其特征是:所述的蒸发油腔(9)或加热元件(10)附近设有温度传感器。3.根据权利要求1所述的一种真空扩散泵，其特征是:靠近泵体(12)的入口(I)处还设有冷凝栅(13)。4.根据权利要求1所述的一种真空扩散泵，其特征是:泵体(12)的出口(7)处设有单向蝶阀(14)。5.根据权利要求1所述的一种真空扩散泵，其特征是:所述的多级喷嘴为三个。6.根据权利要求1所述的一种真空扩散泵，其特征是:所述的多级喷嘴同心布置，从内层到外层高度逐 步降低。专利摘要一种真空扩散泵，包括泵体，泵体上设有入口和出口，泵体外壁设有冷却夹套，泵体的真空腔内设有多级喷嘴，蒸发油腔与多级喷嘴分别连接，蒸发油腔下部设有加热元件，所述的蒸发油腔内设有导油盘；所述的导油盘呈倒扣的碗状，导油盘外缘最宽处覆盖回油孔的水平面投影位置，最窄处覆盖所有蒸发孔的水平面投影位置。所述的蒸发油腔或加热元件附近设有温度传感器。本实用新型通过设置的导油盘，提高了油的蒸发效率。通过设置的冷凝栅，确保油蒸汽在此处被冷凝，不会产生返流。设置的温度传感器，可以方便地观察扩散泵加热元件的运作情况，及时对设备进行修理维护，从而提高生产效率。文档编号F04F9/02GK203114757SQ201320055749公开日2013年8月7日 申请日期2013年2月1日 优先权日2013年2月1日发明者谢长明, 高登华, 谢云 申请人:湖北东田光电材料科技有限公司