一种扩散泵喷流系统喷嘴的制作方法

专利名称：一种扩散泵喷流系统喷嘴的制作方法技术领域：本实用新型涉及一种扩散泵喷流系统及其同类物品中的喷嘴，特别是一种改进了的喷嘴。扩散泵是一种用于获得高真空的泵，其抽气原理是工作液被加热形成蒸汽，蒸汽从喷流系统中的喷嘴喷出后，形成超音速气流。被抽气体扩散到这种超音速蒸汽射流中被携带到泵的出口排出，抽气速率是扩散泵最主要的性能指标。现有技术中，扩散泵喷流系统中喷嘴的喷嘴帽通过中心轴与喷嘴座连接，喷嘴帽的下沿为平口，喷嘴帽的内壁与喷嘴座的上沿形成同心环形的喉部间隙，喷嘴帽的下沿与喷嘴座的外壁形成同心环形的出口间隙。也有的是喷嘴帽的内壁与喷嘴座的外壁相配合，在喷嘴座上部适当位置钻有一周均布等直径的小孔，来替代同心环形的喉部间隙。这样的喷流系统中的喷嘴，工作液到达喷嘴出口时压强是均匀的，工作液蒸汽从喷嘴喷出后形成一个以喷嘴帽的下沿为上底直径，泵腔直径为下底直径的圆台形抽气自由界面。本实用新型提供的是一种改进的喷嘴，其目的是提高扩散泵的抽气速率和抽气自由界面的面积。本实用新型是通过使圆台形的抽气自由界面变成波浪形，来达到增大抽气自由界面面积的目的。本实用新型是这样实现的通过改变喷嘴的结构，喷嘴帽的内壁与喷嘴座的外壁相配合，在喷嘴座上部的适当位置设有一周不均匀的孔，喷嘴的出口为同心环形。这样，喷流系统内的工作液蒸汽到达喷嘴出口时的压强也就不相等，而喷嘴外的被抽气体压强在同一时刻在各处则是相同的。工作液蒸汽从喷嘴喷出后，其气流转角也就不同，从而使抽气自由界面变成波浪形，抽气面积得以增大，抽气速率可以有明显提高。本实用新型也可用于油增压泵。图1.设有变径孔喷嘴座的喷嘴结构图。以下结合附图详细说明如图1，喷嘴帽1的内壁与喷嘴座2的外壁相配合，喷嘴帽1的下沿为平口，在喷嘴座2上部距上沿10～14mm处在同一截面上设有一周1.5～4mm不同直径的孔3，并由孔3直径的变化形成4～8个周期性变化的峰谷，即由小到大连接由大到小延续一周的变化。由于喷嘴座2上孔3直径的改变使得喷嘴能够获得高于现有喷嘴的抽气速率及抽气面积，并且极限压力也有所降低。根据扩散泵型号的不同上述方案中孔径的变化周期可以相应调整。实施例图1结构是本实用新型在KT－400型凸腔扩散泵上的应用。喷嘴座2外径为70mm，在距喷嘴座2上沿10mm处钻一周孔径周期变化的小孔3(孔径的变化见表1)，这时测得扩散泵的抽气速率为9602L／S，极限压力低于5×10－5Pa，而原有技术中，是在距喷嘴座2上沿10mm处钻有一周均布的2.7mm的孔其它条件不变，这时测得扩散泵的抽气速率为7308L／S，极限压力低于6×10－5Pa。由此实施例可以看出，在扩散泵原有尺寸基本不变的情况下，只对喷嘴结构做适当改变，即可使泵的抽速得到很大提高。孔径1.6，2.0，2.4，2.7，2.8，3.0，3.3，3.6，3.3，3.0，2.8，2.7，2.4，2.0，1.6，2.0……表权利要求1.一种用于扩散泵喷流系统及其同类物品中的喷嘴，该喷嘴是由喷嘴帽1、喷嘴座2两部分构成，喷嘴帽1的内壁与喷嘴座2的外壁相配合，喷嘴帽1的下沿为平口，其特征在于在喷嘴座2上部距上沿10～14mm处在同一截面上设有一周1.5～4mm不同直径的孔3，并由孔3直径的变化形成4～8个周期性变化的峰谷。专利摘要本实用新型提供的是一种用于扩散泵喷流系统中的喷嘴。本实用新型的特点是通过改变喷嘴的结构，喷嘴帽的内壁与喷嘴座的外壁相配合，在喷嘴座上部的适当位置设有一周不均匀的孔，喷嘴的出口为同心环形。使喷嘴的出口压强变得不均匀，从而使抽气自由界面形成波浪形，增大抽气面积，提高泵的抽气速率，达到提高工作效率之目的。文档编号F04F9/00GK2052081SQ89214519公开日1990年1月31日 申请日期1989年8月2日 优先权日1989年8月2日发明者周海军 申请人:承德市真空设备厂