一种微电极阵列的制作方法

本公开涉及生物电子设备，尤其涉及一种微电极阵列。

背景技术：

1、微电极阵列是基于微电子机械系统制造工艺制备的点阵电极，具有尺寸小，集成度高、可多点位同时记录等优点，其在生物学领域应用广泛。目前，微电极阵列上的点阵电极的数量通常较多，且在相关技术中一般采用一个点阵电极连接一根导线的方案，从而导致与所述点阵电极连接的导线数量也非常多，进而增加了所述微电极阵列的制造难度。

技术实现思路

1、本公开提供了一种微电极阵列。其主要目的在于解决相关技术中，微电极阵列中点阵电极数量众多，导致与所述点阵电极连接的导线数量众多的问题。

2、根据本公开的第一方面，提供了一种微电极阵列，其中，包括：

3、衬底、第一导电层、第二导电层、点阵电极层、介电层；

4、所述第一导电层置于所述衬底的上方；

5、所述第二导电层包括第二导线；

6、所述介电层位于所述第一导电层和所述第二导电层之间；

7、所述点阵电极层上的至少两个点阵电极与所述第二导电层共用所述第二导线。

8、可选的，所述点阵电极层上的至少两个点阵电极与所述第二导电层共用所述第二导线包括：

9、所述点阵电极层上的至少两个点阵电极设置在所述第二导线上，位于所述第二导线与所述第一导线的投影相交的位置处。

10、可选的，还包括：

11、所述第一导线向第一方向延伸，所述第二导线向第二方向延伸，所述第一方向和第二方向具有预定夹角。

12、可选的，所述预定夹角为30°至150°之间的任一角度。

13、可选的，还包括：

14、相邻的所述第一导线的延伸方向相同或不同；

15、相邻的所述第二导线的延伸方向相同或不同。

16、可选的，还包括：

17、所述第二导电层或点阵电极层至少为两层。

18、可选的，还包括：

19、相邻的所述第二导电层或点阵电极层之间设置有衬底或者介电层。

20、可选的，还包括：感测层；

21、所述感测层置于所述点阵电极层上，所述感测层上包括至少一个感测电极；

22、所述感测电极置于所述点阵电极上。

23、可选的，所述感测电极通过对所述点阵电极添加标记物或酶制得。

24、可选的，参比电极层；

25、所述参比电极层置于所述点阵电极层上，所述参比电极层包括至少一个参比电极，所述参比电极置于所述点阵电极上。

26、可选的，

27、所述参比电极通过对所述点阵电极添加银和/或氯化银制得。

28、本公开提供的微电极阵列，包括：衬底、第一导电层、第二导电层、点阵电极层、介电层；所述第一导电层置于所述衬底的上方；所述第二导电层包括第二导线；所述介电层位于所述第一导电层和所述第二导电层之间；所述点阵电极层上的至少两个点阵电极与所述第二导电层共用所述第二导线。与相关技术相比，基于至少两个点阵电极与所述第二导电层共用所述第二导线，从而减少连接所述点阵电极使用的导线数量，进而降低所述微电极阵列的制作难度。

29、应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本申请的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本申请的范围。本申请的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。

技术特征：

1.一种微电极阵列，其特征在于，包括：衬底、第一导电层、第二导电层、点阵电极层、介电层；

2.根据权利要求1所述的微电极阵列，其特征在于，所述点阵电极层上的至少两个点阵电极与所述第二导电层共用所述第二导线包括：

3.根据权利要求1所述的微电极阵列，其特征在于，还包括：

4.根据权利要求3所述的微电极阵列，其特征在于，所述预定夹角为30°至150°之间的任一角度。

5.根据权利要求4所述的微电极阵列，其特征在于，还包括：

6.根据权利要求1所述的微电极阵列，其特征在于，还包括：

7.根据权利要求6所述的微电极阵列，其特征在于，还包括：

8.根据权利要求1-6中任一项所述的微电极阵列，其特征在于，还包括：感测层；

9.根据权利要求8所述的微电极阵列，其特征在于，

10.根据权利要求1所述的微电极阵列，其特征在于，还包括：参比电极层；

技术总结本发明公开了一种微电极阵列，涉及生物电子设备技术领域，包括：衬底、第一导电层、第二导电层、点阵电极层、介电层；所述第一导电层置于所述衬底的上方；所述第二导电层包括第二导线；所述介电层位于所述第一导电层和所述第二导电层之间；所述点阵电极层上的至少两个点阵电极与所述第二导电层共用所述第二导线。与相关技术相比，基于至少两个点阵电极与所述第二导电层共用所述第二导线，从而减少连接所述点阵电极使用的导线数量，进而降低所述微电极阵列的制作难度。技术研发人员：赵平,王千畅,王智华受保护的技术使用者：北京深纳普思人工智能技术有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/18