一种高强度预过滤光栏装置的制作方法

本技术涉及半导体仪器应用，特别涉及一种高强度预过滤光栏装置。

背景技术：

1、随这科技的不断发展，半导体集成电路制造工艺对注入光路系统的要求更加严格，对注入离子的能量范围，束斑形状等也提出了更高的要求。

2、为了适应高品质的半导体工艺制造，通过增加相应的电子器件，提高注入的粒子光束品质，但是随着电子器件的不断增加所需使用的线路也在增多，较多的线路若无法固定混乱摆放，容易在使用，移动过程中被扯断，造成装置无法正常使用，因而需要设计一款可以隐藏线路，结构紧密的高强度预过滤光栏装置。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的在于提供一种高强度预过滤光栏装置，可以有效解决背景技术中的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

3、一种高强度预过滤光栏装置，包括隔板，所述隔板的上表面固定连接有固定框，所述固定框的背面固定连接有固定板，所述固定板的背面开设有限位槽，所述限位槽的内壁开设有固定槽，所述隔板的下表面固定连接有支撑板，所述支撑板的下表面固定连接有工作板，所述工作板的下表面固定连接有底板，所述底板的下表面开设有第二螺纹孔，所述第二螺纹孔的内顶壁开设有导线孔，所述支撑板的背面开设有第二槽口。

4、为了达到提供光束角度的效果，作为本实用新型一种高强度预过滤光栏装置，所述固定板的上表面固定连接有斜板。

5、为了达到固定光束发射器的效果，作为本实用新型一种高强度预过滤光栏装置，所述斜板的一侧开设有第一槽孔。

6、为了达到便于连接本装置的效果，作为本实用新型一种高强度预过滤光栏装置，所述底板的下表面固定连接有支撑柱。

7、为了达到限位本装置的效果，作为本实用新型一种高强度预过滤光栏装置，所述支撑柱的下表面开设有固定孔。

8、为了达到对连接位置进行密封防止灰尘侵入的效果，作为本实用新型一种高强度预过滤光栏装置，所述固定孔的内壁开设有第一槽口。

9、为了达到限位隔板的效果，作为本实用新型一种高强度预过滤光栏装置，所述隔板的正面开设有第一螺纹孔。

10、为了达到加固本装置的效果，作为本实用新型一种高强度预过滤光栏装置，所述底板的下表面开设有第三螺纹孔。

11、与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

12、该高强度预过滤光栏装置，通过工作板、固定板、固定框、隔板、支撑板、底板、第二槽口、固定槽、限位槽、第二螺纹孔和导线孔的设置，通过支撑柱的下细上粗的形状使本装置更加方便地固定在另一固定装置中，通过在第一槽口内部安装密封圈，对装置连接处进行密封，防止灰尘等进入装置影响装置正常使用，通过将所要安装的电子零件安装在限位槽内部，整理所安装的电子零件的导线固定在固定槽内部，并通过导线孔收集导线，是导线限位在装置内部，最终通过底部的第二槽口导出，通过将导线固定隐藏在装置内部，达到防止导线混乱摆放，在使用时被扯断造成装置无法正常使用的作用。

技术特征：

1.一种高强度预过滤光栏装置，包括隔板(7)，其特征在于：所述隔板(7)的上表面固定连接有固定框(6)，所述固定框(6)的背面固定连接有固定板(5)，所述固定板(5)的背面开设有限位槽(14)，所述限位槽(14)的内壁开设有固定槽(13)，所述隔板(7)的下表面固定连接有支撑板(8)，所述支撑板(8)的下表面固定连接有工作板(3)，所述工作板(3)的下表面固定连接有底板(9)，所述底板(9)的下表面开设有第二螺纹孔(16)，所述第二螺纹孔(16)的内顶壁开设有导线孔(18)，所述支撑板(8)的背面开设有第二槽口(12)。

2.根据权利要求1所述的一种高强度预过滤光栏装置，其特征在于：所述固定板(5)的上表面固定连接有斜板(4)。

3.根据权利要求2所述的一种高强度预过滤光栏装置，其特征在于：所述斜板(4)的一侧开设有第一槽孔(10)。

4.根据权利要求1所述的一种高强度预过滤光栏装置，其特征在于：所述底板(9)的下表面固定连接有支撑柱(1)。

5.根据权利要求4所述的一种高强度预过滤光栏装置，其特征在于：所述支撑柱(1)的下表面开设有固定孔(2)。

6.根据权利要求5所述的一种高强度预过滤光栏装置，其特征在于：所述固定孔(2)的内壁开设有第一槽口(11)。

7.根据权利要求1所述的一种高强度预过滤光栏装置，其特征在于：所述隔板(7)的正面开设有第一螺纹孔(15)。

8.根据权利要求1所述的一种高强度预过滤光栏装置，其特征在于：所述底板(9)的下表面开设有第三螺纹孔(17)。

技术总结本技术公开了一种高强度预过滤光栏装置，包括隔板，所述隔板的上表面固定连接有固定框，所述固定框的背面固定连接有固定板，所述固定板的背面开设有限位槽，所述限位槽的内壁开设有固定槽，所述隔板的下表面固定连接有支撑板，所述支撑板的下表面固定连接有工作板，所述工作板的下表面固定连接有底板，所述底板的下表面开设有第二螺纹孔，该高强度预过滤光栏装置，通过将所要安装的电子零件安装在限位槽内部，整理所安装的电子零件的导线固定在固定槽内部，并通过导线孔收集导线，是导线限位在装置内部，最终通过底部的第二槽口导出，通过将导线固定在装置内部，达到防止导线混乱摆放，在使用时被扯断的作用。技术研发人员：敬德鑫受保护的技术使用者：东莞市红元科技有限公司技术研发日：20231207技术公布日：2024/7/29