波长可变干涉滤波器的制作方法

本发明涉及波长可变干涉滤波器。

背景技术：

1、以往，周知有通过变更一对反射膜间的间隙而使分光波长可变的波长可变干涉滤波器。例如，专利文献所记载的波长可变干涉滤波器具备：第一基板，设置有第一反射膜；第二基板，设置有隔着间隙与第一反射膜对置的第二反射膜；以及致动器，用于变更间隙。

2、在这样的波长可变干涉滤波器中，第一基板具备：可动部，是设置有反射膜的部位；以及膜片部，围绕可动部的周围。在此，膜片部为通过形成于第一基板的槽而薄膜化的部位，膜片部一边变形可动部一边向第二基板侧移动，从而间隙被变更。

3、专利文献1：日本特开2022-50102号公报

4、在上述这样的波长可变干涉滤波器的第一基板中，膜片部的刚性与形成于第一基板的槽的宽度相关。若能够降低膜片部的刚性，则有能够降低用于变更间隙的致动器所需的电力这一优点。然而，在为了降低膜片部的刚性而单纯地扩宽了形成于第一基板的槽的宽度的情况下，会产生诸如基于一对反射膜的滤波器区域变小、波长可变干涉滤波器的整体变大等问题。

技术实现思路

1、本申请的一方式所涉及的波长可变干涉滤波器具备：第一基板，设置有第一反射膜；以及第二基板，设置有相对于所述第一反射膜隔着间隙而对置的第二反射膜，所述第一基板具备：可动部，是设置有所述第一反射膜的部位；膜片部，围绕所述可动部；以及基部，隔着所述膜片部将所述可动部支承为能够在所述第一基板的厚度方向上位移，所述膜片部是通过在所述第一基板的表面开口的槽形成的所述第一基板的厚度比所述基部薄的部位，在所述槽的宽度方向上，所述槽的底部的宽度比所述槽的开口的宽度大。

技术特征：

1.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

4.根据权利要求2所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，还具备：

技术总结提供一种能够降低膜片部的刚性的波长可变干涉滤波器。波长可变干涉滤波器(1)具备：第一基板(2)，设置有第一反射膜(41)；以及第二基板(3)，设置有相对于第一反射膜(41)隔着间隙(G)而对置的第二反射膜(42)，第一基板(2)具备：可动部(24)，是设置有第一反射膜(41)的部位；膜片部(25)，围绕可动部(24)；以及基部(26)，隔着膜片部(25)将可动部(24)支承为能够在厚度方向上位移，膜片部(25)是通过在第一基板(2)的表面开口的槽(23)形成的第一基板(2)的厚度比基部(26)薄的部位，槽(23)的底部(23B)的宽度(W2)比槽(23)的开口(23A)的宽度(W1)大。技术研发人员：佐野朗受保护的技术使用者：精工爱普生株式会社技术研发日：技术公布日：2024/8/5