一种具有断线报警功能的硅片切割装置的制作方法

本发明涉及硅片切割装置，更具体的，涉及一种具有断线报警功能的硅片切割装置。

背景技术：

1、硅片切割装置是一种用于切割硅材料的工业设备，在半导体制造、光电子技术、新能源领域和半导体照明等领域都有广泛的应用。在半导体制造业中，硅片切割装置是制造半导体芯片的必备设备之一；在光电子技术中，需要大量的硅片切割装置加工硅片生产各类光电子元件；在新能源领域，如太阳能电池板的生产过程中，也需要硅片切割装置来加工硅片。

2、现有的一些专利中，虽然也具有断线报警的功能，但是检测手段比较单一，有些主要依赖于切割线断裂后甩出时打断检测线的方式来进行检测，这种方式存在很大的不确定性，因为甩出的力道可能因各种因素(如切割线的材质、张力、断裂方式等)而有所不同，如果甩出的力道不够，不能够打断检测线时，可能会存在检测不出来断线的情况。另外即便能够检测到断线，但是切割线的具体断裂位置也无法检测出来，这需要人工进行寻找和判断，不仅增加了工作强度，也降低了工作效率。

技术实现思路

1、本发明旨在克服现有技术的缺陷，提供一种具有断线报警功能的硅片切割装置。

2、为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种硅片切割装置，包括机箱、升降座、用于驱动升降座升降的升降单元、切割辊单元、用于驱动切割辊单元转动的驱动单元、放线单元、收线单元、张紧辊单元以及多个导辊单元；所述切割辊单元包括两个转动辊；所述机箱内安装有面对其中一个转动辊的断线检测部；所述断线检测部包括第一安装板和第二安装板，所述第一安装板和第二安装板之间安装有第一检测单元，所述第一检测单元包括与第一安装板连接的第一弹簧、与第一弹簧连接的活动块、连接在活动块和第二安装板之间的第一连接线、与第一安装板连接的凸板以及用于检测活动块的位置的接近开关。

3、进一步地，还包括切割液供应单元，所述切割液供应单元能够对硅棒喷洒切割冷却液。

4、从而可以对切割过程实现冷却，并且能够有效地使得切割线张紧，且能够实现对硅棒的切割。

5、进一步地，所述张紧辊单元包括第一张紧辊和第二张紧辊，多个导辊单元包括多个第一导辊和多个第二导辊，第一张紧辊位于放线单元和切割辊单元之间，第二张紧辊位于切割辊单元和收线单元之间，多个第一导辊位于放线单元和切割辊单元之间，多个第二导辊位于切割辊单元和收线单元之间。

6、金刚石切割线往复缠绕于两个转动辊之间，从而形成多道相互平行的切割线，用于将硅棒切割成硅片。

7、进一步地，两个转动辊靠近断线检测部的转动辊为第一转动辊，另一个转动辊为第二转动辊；所述第一检测单元具有两个，两个第一检测单元的第一连接线均处于水平状态，其中一个第一检测单元的第一连接线的水平高度高于第一转动辊的轴线，另一个第一检测单元的第一连接线的水平高度低于第一转动辊的轴线。

8、进一步地，所述断线检测部还包括第二检测单元，所述第二检测单元位于两个第一检测单元之间，所述第二检测单元包括第二连接线、与第一安装板固定连接的安装架、与第一安装板固定连接的基板、安装于基板处的拉力传感器、与拉力传感器连接的第二弹簧、与第二弹簧连接的活动座以及固定于活动座处的动滑轮；所述安装架处安装有第一定滑轮、第二定滑轮、第三定滑轮和第四定滑轮，所述第二连接线的两端均与第二安装板固定连接，第二连接线依次经过第一定滑轮、第二定滑轮、动滑轮、第三定滑轮和第四定滑轮。

9、进一步地，所述第一连接线为金属线或尼龙线。

10、第一连接线对材质没有特别的要求，只要在切割线断线后甩出时，能够将第一连接线打断即可。

11、进一步地，所述第二连接线为钢丝线。

12、第二连接线也没有特殊的材质要求，只要确保被断裂甩出的切割线击中时不会断裂即可。

13、进一步地，所述基板处具有多个水平导杆，所述活动座处具有多个与水平导杆配合的导孔。

14、从而对活动座的移动进行限位。

15、进一步地，所述第二连接线穿设有两个条形弧面板，两个条形弧面板均被第二连接线穿过且与第二连接线固定连接，其中一个条形弧面板位于第二安装板和第一定滑轮之间，另一个条形弧面板位于第二安装板和第四定滑轮之间。

16、从而条形弧面板可以更好地受力，使得条形弧面板产生更大幅度的晃动，从而拉力传感器的检测更加灵敏。

17、在一些实施例中，所述条形弧面板的表面涂覆有胶层。

18、从而断裂的金刚线击打条形弧面板会粘附在条形弧面板处。

19、在另一些实施例中，所述条形弧面板的表面涂覆有粉灰。

20、从而涂覆的粉灰在断裂的金刚线的击打下会留下条形标记。

21、进一步地，所述机箱内还安装有接液槽，接液槽连接有下液管，所述接液槽处安装有滤网。

22、从而用于接收冷却液，且滤网能够对细碎的硅料以及杂质进行过滤。

23、进一步地，所述机箱的侧面具有用于放入硅棒的侧开口；所述机箱处还安装有平移开门，平移开门面对所述断线检测部。

24、从而方便从侧开口安装所述硅棒，且打开平移开门进行相应的操作。

25、有益效果：

26、1)本申请的硅片切割装置，具有两个第一检测单元，切割线断裂后，无论是上方的切割线甩出还是下方的切割线甩出都能够检测到，从而报警提醒及时维护。

27、2)本申请的硅片切割装置，除了第一连接线断裂会产生检测信号之外，第二检测单元的拉力传感器的信号变化也会检测到切割线是否断裂，从而采用多种手段检测，检测更加准确。

28、3)本申请的硅片切割装置，能够对切割线断裂的位置进行检测，甚至能够固定断裂后的切割线，从而对于后续的处理提供方便。

技术特征：

1.一种具有断线报警功能的硅片切割装置，其特征在于，包括机箱、升降座、用于驱动升降座升降的升降单元、切割辊单元、用于驱动切割辊单元转动的驱动单元、放线单元、收线单元、张紧辊单元以及多个导辊单元；所述切割辊单元包括两个转动辊；所述机箱内安装有面对其中一个转动辊的断线检测部；所述断线检测部包括第一安装板和第二安装板，所述第一安装板和第二安装板之间安装有第一检测单元，所述第一检测单元包括与第一安装板连接的第一弹簧、与第一弹簧连接的活动块、连接在活动块和第二安装板之间的第一连接线、与第一安装板连接的凸板以及用于检测活动块的位置的接近开关。

2.根据权利要求1所述的具有断线报警功能的硅片切割装置，其特征在于，还包括切割液供应单元，所述切割液供应单元能够对硅棒喷洒切割冷却液；所述张紧辊单元包括第一张紧辊和第二张紧辊，多个导辊单元包括多个第一导辊和多个第二导辊，第一张紧辊位于放线单元和切割辊单元之间，第二张紧辊位于切割辊单元和收线单元之间，多个第一导辊位于放线单元和切割辊单元之间，多个第二导辊位于切割辊单元和收线单元之间。

3.根据权利要求1所述的具有断线报警功能的硅片切割装置，其特征在于，两个转动辊靠近断线检测部的转动辊为第一转动辊，另一个转动辊为第二转动辊；所述第一检测单元具有两个，两个第一检测单元的第一连接线均处于水平状态，其中一个第一检测单元的第一连接线的水平高度高于第一转动辊的轴线，另一个第一检测单元的第一连接线的水平高度低于第一转动辊的轴线。

4.根据权利要求3所述的具有断线报警功能的硅片切割装置，其特征在于，所述断线检测部还包括第二检测单元，所述第二检测单元位于两个第一检测单元之间，所述第二检测单元包括第二连接线、与第一安装板固定连接的安装架、与第一安装板固定连接的基板、安装于基板处的拉力传感器、与拉力传感器连接的第二弹簧、与第二弹簧连接的活动座以及固定于活动座处的动滑轮；所述安装架处安装有第一定滑轮、第二定滑轮、第三定滑轮和第四定滑轮，所述第二连接线的两端均与第二安装板固定连接，第二连接线依次经过第一定滑轮、第二定滑轮、动滑轮、第三定滑轮和第四定滑轮。

5.根据权利要求4所述的具有断线报警功能的硅片切割装置，其特征在于，所述基板处具有多个水平导杆，所述活动座处具有多个与水平导杆配合的导孔。

6.根据权利要求4所述的具有断线报警功能的硅片切割装置，其特征在于，所述第二连接线穿设有两个条形弧面板，两个条形弧面板均被第二连接线穿过且与第二连接线固定连接，其中一个条形弧面板位于第二安装板和第一定滑轮之间，另一个条形弧面板位于第二安装板和第四定滑轮之间；所述条形弧面板的表面涂覆有胶层，或者所述条形弧面板的表面涂覆有粉灰。

7.根据权利要求2所述的具有断线报警功能的硅片切割装置，其特征在于，所述机箱内还安装有接液槽，接液槽连接有下液管，所述接液槽处安装有滤网。

8.根据权利要求2所述的具有断线报警功能的硅片切割装置，其特征在于，所述机箱的侧面具有用于放入硅棒的侧开口；所述机箱处还安装有平移开门，平移开门面对所述断线检测部。

技术总结本申请公开了一种具有断线报警功能的硅片切割装置，包括机箱、升降座、升降单元、切割辊单元、驱动单元、放线单元、收线单元、张紧辊单元以及多个导辊单元；切割辊单元包括两个转动辊；机箱内安装有面对其中一个转动辊的断线检测部。本申请的硅片切割装置，具有两个第一检测单元，切割线断裂后，无论是上方的切割线甩出还是下方的切割线甩出都能够检测到，从而报警提醒及时维护。除了第一连接线断裂会产生检测信号之外，第二检测单元的拉力传感器的信号变化也会检测到切割线是否断裂，从而采用多种手段检测，检测更加准确。并且能够对切割线断裂的位置进行检测，甚至能够固定断裂后的切割线，从而对于后续的处理提供方便。技术研发人员：曹志勇,杭智华受保护的技术使用者：扬州伟业创新科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/12/2