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  • 一种大行程纳米级宏微复合运动平台的制作方法

    一种大行程纳米级宏微复合运动平台的制作方法

    本技术涉及微动平台，尤其涉及一种大行程纳米级宏微复合运动平台。背景技术：1、随着经济的快速发展，微电子制造、精密光学工程、生物医学工程和精密测量工程领域等也一直保持着高速发展的势头，尤其是半导体的光刻......

    一种大行程纳米级宏微复合运动平台的制作方法2024-07-27 13
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  • 一种构筑亚纳米级等离激元纳米腔的方法

    一种构筑亚纳米级等离激元纳米腔的方法

    1.本发明涉及一种三维微纳米加工的方法，尤其涉及一种构筑亚纳米级等离激元纳米腔的方法。背景技术：2.在微纳米材料领域中，贵金属(金，银等)材料由于具有特殊的表面等离激元共振而得到广泛关注。在一定波长入......

    一种构筑亚纳米级等离激元纳米腔的方法2024-07-27 13
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  • 一种大行程纳米级并联调整平台

    一种大行程纳米级并联调整平台

    本发明涉及精密机械的，具体提供一种大行程纳米级并联调整平台。背景技术：1、并联平台具有较好的稳定性和承载能力，并联平台被广泛应用于许多领域，如自适应定位、微操作机器人技术和医学工程。随着稀疏孔径成像技......

    一种大行程纳米级并联调整平台2024-07-08 86
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