一种新的硅基微纳结构的修饰方法

1.本发明涉及半导体微纳加工技术领域，具体涉及一种新的硅基微纳结构的修饰方法。背景技术：2.表面工程是微纳加工技术的一个重要的应用方向。利用微纳加工工艺可以制造出具有微纳结构阵列的功能表面以应用于特定......

2024-07-27 95

#结构#方法#硅基微纳