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一种降低多束带电粒子束成像信号串扰的扫描成像方法
本发明属于多束成像，涉及一种降低多束带电粒子束成像信号串扰的扫描成像方法。背景技术：1、在半导体制造中，对半导体器件的在线检测是其中的关键步骤之一，主要作用是检测器件关键尺寸和对位偏差是否符合设计要求......
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用于混合高能粒子束的平行板电极组离子分离方法及系统与流程
本发明涉及混合高能粒子束中粒子分离，具体涉及用于混合高能粒子束的平行板电极组离子分离方法及系统。背景技术：1、含有正、负离子与中性粒子的混合高能粒子束的各成分通常采用磁场或电场进行分离。第一，磁场分离......
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2024-09-11精选技术
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用于T梁转运的装置及方法与流程
2024-08-02 -
一种河道工程用河道清淤搅动装置的制作方法
2024-07-09 -
一种数据丢失情况下无人水面航行器的航向控制方法
2024-08-01 -
一种高低压气瓶组合的氮气推进系统的制作方法
2024-08-01 -
一种基于EPA（EffectiveProjectedArea有效投影面积）的铁塔租赁方案的制作方法
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一种低铱含量铱钽钛阳极的制备方法与流程
2024-07-27 -
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2024-06-21 -
基于区块链和零知识证明的车载自组织网络匿名认证方法
2024-08-08 -
一类用于脂滴免洗成像的荧光染料及其合成和应用
2024-06-20 -
一种发动机分体式整流支撑机匣工艺连接装置和方法与流程
2024-07-27