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一种光学系统及激光加工设备的制作方法

2022-02-20 20:43:01 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种光学系统,其特征在于,包括从物侧到像侧之间沿光轴依次设置的反射镜、第一透镜组、第二透镜组:所述第一透镜组具有负光焦度;所述第二透镜组具有正光焦度;所述反射镜具有平行于所述反射镜的摆动轴,所述反射镜以所述摆动轴为中心按照预设角度进行摆动。2.根据权利要求1所述的光学系统,其特征在于,所述反射镜按照预设角度
±
10
°
进行往复摆动。3.根据权利要求1所述的光学系统,其特征在于,还包括平面透镜,所述平面透镜沿光轴设置于所述第二透镜组的像侧。4.根据权利要求3所述的光学系统,其特征在于,所述反射镜的中心至所述平面透镜中心的距离为90-130mm。5.根据权利要求1所述的光学系统,其特征在于,所述第一透镜组包括第一透镜,所述第二透镜组包括第二透镜和第三透镜;所述第一透镜为双凹透镜或平凹透镜,其中,所述平凹透镜的平面靠近物侧,所述平凹透镜的凹面靠近所述像侧;所述第二透镜具有正光焦度,所述第二透镜为第一弯月透镜或双凸透镜,其中,所述第一弯月透镜的凹面靠近所述物侧,所述第一弯月透镜的凸面靠近所述像侧;所述第三透镜具有正光焦度,所述第三透镜为双凸透镜或第二弯月透镜,其中,所述第二弯月透镜的凹面靠近所述物侧,所述第二弯月透镜的凸面靠近所述像侧。6.根据权利要求5所述的光学系统,其特征在于,所述光学系统满足以下关系:5mm<d1<30mm,5mm<d2<30mm,0.5mm<d3<2mm;其中,d1为所述反射镜的中心至所述第一透镜光心的距离,d2为所述第一透镜的光心至所述第二透镜光心的距离,d3为所述第二透镜的光心至所述第三透镜光心的距离。7.根据权利要求1所述的光学系统,其特征在于,所述光学系统的有效焦距为30-60mm,所述光学系统的全视场角为0-10
°
,所述光学系统的入瞳直径为2-15mm。8.根据权利要求1所述的光学系统,其特征在于,还包括准直透镜组,所述准直透镜组设置于所述反射镜朝向物侧的一侧。9.根据权利要求8所述的光学系统,其特征在于,还包括多波长组件,所述多波长组件设置在所述准直透镜组的物侧,且所述多波长组件中至少包含一个正透镜与一个负透镜。10.一种激光加工设备,其特征在于,包括如权利要求1-9任一项所述的光学系统。

技术总结
本实用新型实施例涉及激光加工技术领域,特别涉及一种光学系统及激光加工设备。本实用新型实施提供一种光学系统及激光加工设备,该光学系统包括从物侧到像侧之间沿光轴依次设置的反射镜、第一透镜组和第二透镜组,其中,第一透镜组具有负光焦度,第二透镜组具有正光焦度,构成反摄远结构,能让应用光学系统的激光加工设备在加工时,保证短焦距的同时、加大了后截距,即加长了加工工件和光学系统的间距,反射镜具有平行于所述反射镜的摆动轴,所述反射镜以所述摆动轴为中心按照预设角度进行摆动,从而改变激光束的焦点在视场范围内的扫描位置,有利于对加工工件大面积加工。有利于对加工工件大面积加工。有利于对加工工件大面积加工。


技术研发人员:张浩泰 邓杰 蒋峰
受保护的技术使用者:苏州创鑫激光科技有限公司
技术研发日:2021.01.28
技术公布日:2022/1/18
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本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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