一种双面镀膜设备的制作方法

技术特征：
1.一种双面镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备具有镀膜室，所述镀膜室内具有第一加工部以及第二加工部，所述第一加工部以及第二加工部间隔布置形成用于容置柔性基材的间隙，所述柔性基材能够沿所述间隙的延伸方向移动；所述柔性基材具有沿其厚度方向相对设置的第一表面以及第二表面，所述第一加工部具有沿所述间隙的延伸方向间隔布置的多个第一加工区，每个第一加工区用于在所述第一表面形成第一膜层，所述第二加工部具有沿所述间隙的延伸方向间隔布置的多个第二加工区，每个第二加工区用于在所述第二表面形成第二膜层，所述第一加工区与所述第二加工区的正投影沿所述间隙的延伸方向依次交错布置。2.根据权利要求1所述的双面镀膜设备，其特征在于，每个所述第一加工部以及每个所述第二加工部均设有射频磁控溅射源。3.根据权利要求1所述的双面镀膜设备，其特征在于，所述多个第一加工区等距间隔布置。4.根据权利要求1所述的双面镀膜设备，其特征在于，所述多个第二加工部等距间隔布置。5.根据权利要求1所述的双面镀膜设备，其特征在于，所述双面镀膜设备还包括进料室、前缓冲室、镀膜室、后缓冲室、出料室以及真空阀门，其中，所述进料室、所述前缓冲室、所述镀膜室、所述后缓冲室以及所述出料室沿所述间隙的延伸方向依次经所述真空阀门连接。6.根据权利要求1所述的双面镀膜设备，其特征在于，所述镀膜室呈柱状，所述间隙的延伸方向与所述镀膜室的轴向重合。7.根据权利要求1所述的双面镀膜设备，其特征在于，所述双面镀膜设备包括设置于所述镀膜室内的传输机构，所述传输机构用于传输所述柔性基材沿所述间隙的延伸方向前进。8.根据权利要求7所述的双面镀膜设备，其特征在于，所述双面镀膜设备包括用于固定所述柔性基材的载具，所述载具与所述传输机构可拆卸连接。9.根据权利要求8所述的双面镀膜设备，其特征在于，所述载具在所述镀膜室内水平布置或竖向布置。10.根据权利要求8所述的双面镀膜设备，其特征在于，所述载具具有镂空区以及用于支撑所述柔性基材的支撑区，所述镂空区的面积大于所述柔性基材的面积的95％，所述支撑区的面积小于所述柔性基材的面积的3％。

技术总结
一种双面镀膜设备，属于半导体制备领域。镀膜设备具有镀膜室，镀膜室内具有第一加工部以及第二加工部，第一加工部以及第二加工部间隔布置形成用于容置柔性基材的间隙，第一加工部具有沿间隙的延伸方向间隔布置的多个第一加工区，每个第一加工区用于在柔性基材的第一表面形成第一膜层，第二加工部具有沿间隙的延伸方向间隔布置的多个第二加工区，每个第二加工区用于在柔性基材的第二表面形成第一膜层，第一加工区与第二加工区的正投影沿间隙的延伸方向依次交错布置。通过上述第一加工区与第二加工区的配合以及柔性基材的移动，可实现多个柔性基材顺次沿一定的速度移动，实现连续对每个柔性基材进行双面交错镀膜的流水线作业，有效提高加工效率。有效提高加工效率。有效提高加工效率。


技术研发人员：石建华 袁强 张海川 孟凡英 程琼 刘正新 周华
受保护的技术使用者：中威新能源(成都)有限公司
技术研发日：2021.07.28
技术公布日：2022/2/22