基于机器人的高世代线玻璃基板抛光系统及其抛光方法与流程

技术特征：
1.基于机器人的高世代线玻璃基板抛光系统，其特征在于：包括：机械手；一公转模块，包括大电机和装夹盘，该大电机装接在机械手，该装夹盘装接在大电机且通过大电机带动装夹盘转动；若干自转模块，周向间隔装设在装夹盘，该自转模块包括小电机和抛光盘，该小电机装接在装夹盘上，该抛光盘装接在小电机且通过小电机带动抛光盘转动；及加工台模块，包括能装夹高世代线玻璃基板的加工台，通过抛光盘抛光高世代线玻璃基板。2.根据权利要求1所述的基于机器人的高世代线玻璃基板抛光系统，其特征在于：该机械手具有第六轴，该大电机通过法兰盘装接在机械手的第六轴末端，该装夹盘装接在大电机主轴且装夹盘和大电机主轴间设六维力矩传感器。3.根据权利要求2所述的基于机器人的高世代线玻璃基板抛光系统，其特征在于：该机械手和六维力矩传感器信号连接。4.根据权利要求1所述的基于机器人的高世代线玻璃基板抛光系统，其特征在于：该加工台模块还包括操作界面，该加工台为自动调平加工台，该操作界面连接自动调平加工台。5.根据权利要求4所述的基于机器人的高世代线玻璃基板抛光系统，其特征在于：该加工台模块还包括底座和角度传感器，该自动调平加工台设在底座上且底座内设调平机构，该调平机构连接自动调平加工台，该角度传感器连接自动调平加工台，该操作界面信号连接角度传感器。6.根据权利要求1所述的基于机器人的高世代线玻璃基板抛光系统，其特征在于：还包括：抛光液循环装置，包括过滤腔体、设在过滤腔体内的过滤器、设在加工台模块且朝加工台喷射的喷射嘴和设于加工台模块的回收口，该过滤腔体和喷射嘴间设进液管，该过滤腔体和回收口间设回收管。7.根据权利要求1所述的基于机器人的高世代线玻璃基板抛光系统，其特征在于：该自转模块的个数为2-8个；该加工台设能吸附高世代线玻璃基板的吸附机构。8.根据权利要求1所述的基于机器人的高世代线玻璃基板抛光系统，其特征在于：该抛光盘装接在小电机主轴，该抛光盘直径为50mm-200mm，厚度为2mm-20mm，该装夹盘直径为200mm-2000mm。9.根据权利要求1所述的基于机器人的高世代线玻璃基板抛光系统的抛光方法，其特征在于：包括：(1)搭建抛光系统；(2)将高世代线玻璃基板放置于加工台；(3)开启大、小电机，抛光盘在小电机带动下进行自转，在大电机带动下进行公转，机器人根据规划的抛光轨迹对高世代线玻璃基板进行抛光加工。10.根据权利要求9所述的基于机器人的高世代线玻璃基板抛光方法，其特征在于：该规划的抛光轨迹为s形或四方螺旋形。

技术总结
本发明公开了基于机器人的高世代线玻璃基板抛光系统及其抛光方法，抛光系统包括机械手、公转模块、自转模块和加工台模块；公转模块包括大电机和装夹盘，该大电机装接在机械手，该装夹盘装接在大电机且通过大电机带动装夹盘转动；若干自转模块周向间隔装设在装夹盘，该自转模块包括小电机和抛光盘，该小电机装接在装夹盘上，该抛光盘装接在小电机且通过小电机带动抛光盘转动；加工台模块包括能装夹高世代线玻璃基板的加工台，通过抛光盘抛光高世代线玻璃基板。它具有如下优点：抛光盘通过小电机实现自转，通过大电机实现公转，再通过机械手带动实现抛光加工，此多抛光头机构可以提升单次加工面积，从而大幅提升抛光效率。从而大幅提升抛光效率。从而大幅提升抛光效率。


技术研发人员：陆静 申云 崔长彩 张震 李子清
受保护的技术使用者：华侨大学
技术研发日：2021.12.31
技术公布日：2022/4/1