一种真空蒸镀机的坩埚系统的制作方法

技术特征：
1.一种真空蒸镀机的坩埚系统，所述坩埚系统包括电子枪结构(1)和坩埚结构(2)，电子枪结构(1)设置在坩埚结构(2)的前方，电子枪结构(1)发出电子束轰击加热坩埚结构(2)的坩埚(21)内的膜料，其特征在于，所述电子枪结构(1)包括支座(11)、灯丝(12)、高压头(13)、一体式线圈(14)和磁极(15)，所述支座(11)具有一个从上向下的凹陷部(111)，灯丝(12)和高压头(13)设置在凹陷部(111)内，高压头(13)设置在灯丝(12)的下方，高压头(13)对灯丝(12)进行高压放电，一体式线圈(14)设置在灯丝(12)的前方，磁极(15)设置在支座(11)的两侧和后方，一体式线圈(14)由一个水平横向设置的x线圈(141)和两个水平纵向设置的y线圈(142)组成，x线圈(141)设置在前方，两个y线圈(142)分别与x线圈(141)的两端连接并且位于x线圈(141)的后方，所述一体式线圈(14)和磁极(15)用于使得打入坩埚(21)内的光斑为点形或圆形。2.如权利要求1所述的真空蒸镀机的坩埚系统，其特征在于，所述一体式线圈(14)通电后，在磁极(15)的作用下以磁场环抱的方式使得打入坩埚(21)内的光斑为点形或圆形，通过调整两个y线圈(142)的电流大小调整光斑的大小。3.如权利要求2所述的真空蒸镀机的坩埚系统，其特征在于，调整在x线圈(141)的左侧的y线圈(142)的电流增大、并且调整在x线圈(141)的右侧的y线圈(142)的电流减小，光斑向左移动；同理，调整在x线圈(141)的左侧的y线圈(142)的电流减小、并且调整在x线圈(141)的右侧的y线圈(142)的电流增大，光斑向右移动。4.如权利要求1所述的真空蒸镀机的坩埚系统，其特征在于，所述支座(11)的上部向前凸出于支座(11)的中部，支座(11)的上部和中部为梯形，支座(11)的下部为底座，支座(11)下部的尺寸大于支座(11)中部的尺寸，所述凹陷部(111)贯穿支座(11)的上部的中部，并且贯穿支座(11)的中部的前部，高压头(13)的下表面与凹陷部(111)的底面固定，灯丝(12)安装在高压头(13)的上端，灯丝(12)位于支座(11)的上部的凹陷部(111)内。5.如权利要求4所述的真空蒸镀机的坩埚系统，其特征在于，在支座(11)的上部，凹陷部(111)的前方及两侧方的支座(11)为中空部分(112)，所述中空部分(112)用于容纳设置一体式线圈(14)；所述凹陷部(111)的前方的中空部分(112)容纳设置x线圈(141)，凹陷部(111)的两侧方的中空部分(112)容纳设置y线圈(142)，两个y线圈(142)分别与x线圈(141)的两端固定，x线圈(141)的右端还与电线连接。6.如权利要求5所述的真空蒸镀机的坩埚系统，其特征在于，所述支座(11)的内部具有流道(113)，流道(113)用于水或冷却液在流道(113)中流动冷却，支座(11)的下部的两侧设置有流道(113)的入口和出口，流道(113)包括在支座(11)的下部内水平横向设置的支道、在支座(11)的中部内垂直设置的支道和在支座(11)的上部的中空部分(112)的下方设置的支道。7.如权利要求1所述的真空蒸镀机的坩埚系统，其特征在于，所述磁极(15)由设置在支座(11)左侧的第一磁极(151)、设置在支座(11)右侧的第二磁极(152)和设置在支座(11)的后方的磁板(153)组成，第一磁极(151)和第二磁极(152)的结构相同。8.如权利要求7所述的真空蒸镀机的坩埚系统，其特征在于，所述第一磁极(151)由倒l形上部、中部和下部组成，第一磁极(151)的倒l形上部的下表面与支座(11)的上表面持平，第一磁极(151)的中部和下部为薄板状，第一磁极(151)的中部与支座(11)的上部的高度相同，第一磁极(151)的下部与支座(11)的中部的宽度和高度相同；第二磁极(152)由倒l形上
部、中部和下部组成，第二磁极(152)的倒l形上部的下表面与支座(11)的上表面持平，第二磁极(152)的中部和下部为薄板状，第二磁极(152)的中部与支座(11)的上部的高度相同，第二磁极(152)的下部与支座(11)的中部的宽度和高度相同。9.如权利要求1所述的真空蒸镀机的坩埚系统，其特征在于，所述坩埚结构(2)与真空蒸镀机的主腔体的底板固定，所述坩埚结构(2)包括一个或多个坩埚(21)，坩埚(21)为碗状凹陷的形状。10.如权利要求9所述的真空蒸镀机的坩埚系统，其特征在于，所述坩埚(21)有多个，则所述坩埚结构(2)能够旋转。

技术总结
本申请提供一种真空蒸镀机的坩埚系统，所述坩埚系统包括电子枪结构和坩埚结构，电子枪结构设置在坩埚结构的前方，电子枪结构发出电子束轰击加热坩埚结构的坩埚内的膜料；所述电子枪结构包括支座、灯丝、高压头、一体式线圈和磁极，所述支座具有一个从上向下的凹陷部，灯丝和高压头设置在凹陷部内，高压头设置在灯丝的下方，高压头对灯丝进行高压放电，一体式线圈设置在灯丝的前方，磁极设置在支座的两侧和后方，一体式线圈由一个水平横向设置的X线圈和两个水平纵向设置的Y线圈组成，X线圈设置在前方，两个Y线圈分别与X线圈的两端连接并且位于X线圈的后方，所述一体式线圈和磁极用于使得打入坩埚内的光斑为点形或圆形。得打入坩埚内的光斑为点形或圆形。得打入坩埚内的光斑为点形或圆形。


技术研发人员：薛蒙晓
受保护的技术使用者：苏州佑伦真空设备科技有限公司
技术研发日：2021.12.13
技术公布日：2022/5/25