一种低成本的高温度均匀性加热板的制作方法

1.本发明涉及加热板技术领域，具体为一种低成本的高温度均匀性加热板。


背景技术：

2.现有半导体和ole类生产设备用加热板有三类，一类为共烧型陶瓷加热板，第二类为金属加热板，第三类为真空镀膜加热板。共烧型陶瓷加热板是将高温合金丝预埋进陶瓷坯体中，经1000-1100度高温烧结而成。其生产工艺分为石膏模具制作、陶瓷浆料制备、电阻丝缠布、浇注成型、烘干脱模、烧制、配件组装等，生产周期长，工艺复杂，系劳动密集型产品；陶瓷加热板有实心和空心两种，但无论哪种都无法在产品中添加保温绝热隔层，所以该产品的工作面和非工作面都一起发热，能源利用率低，热面温度误差高达 10度以上；金属加热板是将高温合金丝制成加热管，穿进金属板中，浇筑在金属板中，该产品应为通过加热管为热源，金属加热板发热不均，热面温度误差高达10度以上，同时金属加热板在高温状况会出现板面变形；真空镀膜加热板是在氮化硅或氮化硼板上，通过真空溅射或真空沉积工艺制造把钨钼或石墨材料做成发热层，最后再通过真空溅射或真空沉积工艺制造把氮化硅或氮化硼板材料全面包覆发热层，从而做成加热板，该产品生产周期长，工艺复杂，成本高，同时加热板面积不能做大。
3.由共烧型陶瓷加热板、金属加热板与真空镀膜加热板可知，现有的加热板能源利用率低，热面温度均匀性差，造价成本高等问题普遍存在，为此，我们提出一种低成本的高温度均匀性加热板。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种低成本的高温度均匀性加热板，以解决上述背景技术中提出的由共烧型陶瓷加热板、金属加热板与真空镀膜加热板可知，现有的加热板能源利用率低，热面温度均匀性差，造价成本高等问题普遍存在的问题。
5.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种低成本的高温度均匀性加热板，包括便捷拆装机构、绝热限位机构和发热机构，所述便捷拆装机构的上端设置有绝热限位机构，且绝热限位机构的内部贯穿有发热机构，所述便捷拆装机构包括镂空铣槽、第一螺槽、氮化硼板、第二螺槽和第一螺栓，且镂空铣槽的底部内侧设置有第一螺槽，所述镂空铣槽的下方设置有氮化硼板，且氮化硼板的内部两侧设置有第二螺槽，所述第二螺槽的下方设置有第一螺栓。
6.进一步的，所述镂空铣槽与第一螺槽之间为一体结构，且第一螺槽与第二螺槽之间等宽。
7.进一步的，所述氮化硼板与第二螺槽之间为一体结构，且第二螺槽与第一螺栓之间为螺纹连接。
8.进一步的，所述绝热限位机构包括绝热板、固定孔、第二螺栓和通孔，且绝热板的表面左侧设置有固定孔，所述固定孔的前端设置有第二螺栓，且固定孔的右侧设置有通孔。
9.进一步的，所述第二螺栓贯穿于固定孔内部，且绝热板与固定孔之间为固定连接。
10.进一步的，所述固定孔与通孔的水平中轴线相重合，且发热机构嵌合于通孔内部。
11.进一步的，所述发热机构包括红外发热带丝和纯镍棒，且红外发热带丝的端部设置有纯镍棒。
12.进一步的，所述红外发热带丝在便捷拆装机构内部均匀分布，且红外发热带丝与便捷拆装机构之间相胶合。
13.进一步的，所述红外发热带丝与纯镍棒之间为焊接连接，且纯镍棒设置有一组。
14.与现有技术相比，本发明的有益效果是：该低成本的高温度均匀性加热板，具备以下有益效果：氮化硼板的材料为超纯高导热氮化硼真空热压成型，具备高洁净，高导热的性能，加热板整体各单元能够单独生产，可以迅速对其进行组装，生产效率提高，可迅速量产，且产品的机械强度更高，不易破损，镂空铣槽部位安装红外发热带丝后，通过高温绝热胶密封镂空铣槽，使得红外发热带丝较为稳固，由于红外发热带丝在镂空铣槽内部均匀分布，因此氮化硼板热面温度均匀性较好，保温效果好，使用寿命长，同时升温迅速，红外热能转换效率高，绝热板通过固定孔与第二螺栓固定于镂空铣槽表面，红外发热带丝两端通过纯镍棒焊接后纯镍棒由通孔穿出绝热板，用于接电，绝热板材料为耐高温度高密度云母压合，高绝热性能，强度高。
15.1.本发明，镂空铣槽与氮化硼板通过第一螺栓进行连接，同时第一螺槽与第二螺槽之间等宽，因此可有效的匹配第一螺栓，使得镂空铣槽与氮化硼板之间的连接更加紧固，氮化硼板的材料为超纯高导热氮化硼真空热压成型，具备高洁净，高导热的性能，加热板整体各单元能够单独生产，可以迅速对其进行组装，生产效率提高，可迅速量产，且产品的机械强度更高，不易破损。
16.2.本发明，镂空铣槽部位安装红外发热带丝后，通过高温绝热胶密封镂空铣槽，使得红外发热带丝较为稳固，由于红外发热带丝在镂空铣槽内部均匀分布，因此氮化硼板热面温度均匀性较好，保温效果好，使用寿命长，同时升温迅速，红外热能转换效率高，红外发热带丝与纯镍棒之间的焊接连接增加了二者之间的稳定性，减少二者之间脱落的可能性。
17.3.本发明，绝热板通过固定孔与第二螺栓固定于镂空铣槽表面，红外发热带丝两端通过纯镍棒焊接后纯镍棒由通孔穿出绝热板，用于接电，绝热板材料为耐高温1000度高密度云母压合，高绝热性能，强度高。
附图说明
18.图1为本发明一种低成本的高温度均匀性加热板的正视结构示意图；
19.图2为本发明一种低成本的高温度均匀性加热板的爆炸结构示意图；
20.图3为本发明一种低成本的高温度均匀性加热板的红外发热带丝俯视结构示意图；
21.图4为本发明一种低成本的高温度均匀性加热板的仰视立体结构示意图；
22.图5为本发明一种低成本的高温度均匀性加热板的俯视立体结构示意图。
23.图中：1、便捷拆装机构；101、镂空铣槽；102、第一螺槽；103、氮化硼板；104、第二螺槽；105、第一螺栓；2、绝热限位机构；201、绝热板； 202、固定孔；203、第二螺栓；204、通孔；3、发热机构；301、红外发热带丝；302、纯镍棒。
具体实施方式
24.在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
25.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
26.如图1-2所示，本发明提供一种技术方案：一种低成本的高温度均匀性加热板，包括：便捷拆装机构1，便捷拆装机构1的上端设置有绝热限位机构2，且绝热限位机构2的内部贯穿有发热机构3，便捷拆装机构1包括镂空铣槽101、第一螺槽102、氮化硼板103、第二螺槽104和第一螺栓105，且镂空铣槽101的底部内侧设置有第一螺槽102，镂空铣槽101的下方设置有氮化硼板103，且氮化硼板103的内部两侧设置有第二螺槽104，第二螺槽104的下方设置有第一螺栓105，镂空铣槽101与第一螺槽102之间为一体结构，且第一螺槽102与第二螺槽104之间等宽，氮化硼板103与第二螺槽104之间为一体结构，且第二螺槽104与第一螺栓105之间为螺纹连接，镂空铣槽101 与氮化硼板103通过第一螺栓105进行连接，同时第一螺槽102与第二螺槽 104之间等宽，因此可有效的匹配第一螺栓105，使得镂空铣槽101与氮化硼板103之间的连接更加紧固，氮化硼板103的材料为超纯高导热氮化硼真空热压成型，具备高洁净，高导热的性能，加热板整体各单元能够单独生产，可以迅速对其进行组装，生产效率提高，可迅速量产，且产品的机械强度更高，不易破损。
27.如图3所示，本发明提供一种技术方案：一种低成本的高温度均匀性加热板，发热机构3包括红外发热带丝301和纯镍棒302，且红外发热带丝301 的端部设置有纯镍棒302，红外发热带丝301在便捷拆装机构1内部均匀分布，且红外发热带丝301与便捷拆装机构1之间相胶合，红外发热带丝301与纯镍棒302之间为焊接连接，且纯镍棒302设置有一组，镂空铣槽101部位安装红外发热带丝301后，通过高温绝热胶密封镂空铣槽101，使得红外发热带丝301较为稳固，由于红外发热带丝301在镂空铣槽101内部均匀分布，因此氮化硼板103热面温度均匀性较好，保温效果好，使用寿命长，同时升温迅速，红外热能转换效率高，红外发热带丝301与纯镍棒302之间的焊接连接增加了二者之间的稳定性，减少二者之间脱落的可能性。
28.如图4-5所示，本发明提供一种技术方案：一种低成本的高温度均匀性加热板，绝热限位机构2包括绝热板201、固定孔202、第二螺栓203和通孔204，且绝热板201的表面左侧设置有固定孔202，固定孔202的前端设置有第二螺栓203，且固定孔202的右侧设置有通孔204，第二螺栓203贯穿于固定孔202内部，且绝热板201与固定孔202之间为固定连接，固定孔202与通孔204的水平中轴线相重合，且发热机构3嵌合于通孔204内部，绝热板 201通过固定孔202与第二螺栓203固定于镂空铣槽101表面，红外发热带丝 301两端通过纯镍棒302焊接后纯镍棒302由通孔204穿出绝热板201，用于接电，绝热板201材料为耐高温1000度高
密度云母压合，高绝热性能，强度高。
29.综上，该低成本的高温度均匀性加热板，镂空铣槽101与氮化硼板103 通过第一螺栓105进行连接，同时第一螺槽102与第二螺槽104之间等宽，因此可有效的匹配第一螺栓105，使得镂空铣槽101与氮化硼板103之间的连接更加紧固，氮化硼板103的材料为超纯高导热氮化硼真空热压成型，具备高洁净，高导热的性能，加热板整体各单元能够单独生产，可以迅速对其进行组装，生产效率提高，可迅速量产，且产品的机械强度更高，不易破损，镂空铣槽101部位安装红外发热带丝301后，通过高温绝热胶密封镂空铣槽 101，使得红外发热带丝301较为稳固，由于红外发热带丝301在镂空铣槽101 内部均匀分布，因此氮化硼板103热面温度均匀性较好，保温效果好，使用寿命长，同时升温迅速，红外热能转换效率高，红外发热带丝301与纯镍棒 302之间的焊接连接增加了二者之间的稳定性，减少二者之间脱落的可能性，绝热板201通过固定孔202与第二螺栓203固定于镂空铣槽101表面，红外发热带丝301两端通过纯镍棒302焊接后纯镍棒302由通孔204穿出绝热板 201，用于接电，绝热板201材料为耐高温1000度高密度云母压合，高绝热性能，强度高。
30.可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。