薄膜压电致动器的制作方法

技术特征：
1.一种薄膜压电致动器，其特征在于，具备：基板；下部电极，其层叠于所述基板；层叠结构体，其层叠于所述下部电极，且包含以将中间电极夹于其间的方式交替地层叠的多个薄膜压电膜；上部电极，其层叠于所述层叠结构体；第一保护层，其设置于所述上部电极的上表面，且由包含铁、钴和钼的合金材料构成；及第二保护层，其至少设置于所述中间电极中的未被夹于所述薄膜压电膜之间的端部的上表面，且由包含铁、钴和钼的合金材料构成。2.如权利要求1所述的薄膜压电致动器，其特征在于，所述第二保护层连续地设置于所述中间电极中的未被夹于所述薄膜压电膜之间的端部的上表面的整个面和所述薄膜压电膜的端面的一部分。3.如权利要求1所述的薄膜压电致动器，其特征在于，所述第二保护层连续地设置于所述中间电极中的未被夹于所述薄膜压电膜之间的端部的上表面的整个面、所述薄膜压电膜的端面的整个面、及所述薄膜压电膜的上表面的一部分。4.如权利要求1～3中任一项所述的薄膜压电致动器，其特征在于，所述薄膜压电膜的端面是相对于多个所述薄膜压电膜层叠的方向倾斜的倾斜面。5.如权利要求1～3中任一项所述的薄膜压电致动器，其特征在于，所述薄膜压电膜的端面是相对于多个所述薄膜压电膜层叠的方向平行的垂直面。6.如权利要求1～5中任一项所述的薄膜压电致动器，其特征在于，还具备：第三保护层，其设置于所述下部电极中的未被夹于所述基板和所述层叠体之间的端部的上表面，且由包含铁、钴和钼的合金材料构成。7.如权利要求1～6中任一项所述的薄膜压电致动器，其特征在于，还具备：第四保护层，其设置于所述下部电极的下表面，且由包含铁、钴和钼的合金材料构成，所述下部电极经由所述第四保护层而层叠于所述基板。

技术总结
本发明涉及一种薄膜压电致动器。薄膜压电致动器具备：基板；下部电极，其层叠于基板；层叠结构体，其层叠于下部电极，且包含以将中间电极夹于其间的方式交替地层叠的多个薄膜压电膜；上部电极，其层叠于层叠结构体；第一保护层，其设置于上部电极的上表面，且由包含铁、钴和钼的合金材料构成；及第二保护层，其至少设置于中间电极中的未被夹于薄膜压电膜之间的端部的上表面，且由包含铁、钴和钼的合金材料构成。根据本发明，提供了一种能够谋求高性能化并且能够有效地抑制在下层的压电膜的端部产生裂纹的薄膜压电致动器。产生裂纹的薄膜压电致动器。产生裂纹的薄膜压电致动器。


技术研发人员：熊伟 石脉茹 何飞
受保护的技术使用者：TDK株式会社
技术研发日：2020.11.30
技术公布日：2022/6/4