一种晶圆盒用压盒装置的制作方法

技术特征：
1.一种晶圆盒用压盒装置，其特征在于，包括机架(1)、第一压盒机构(3)和第二压盒机构(6)，所述机架(1)上沿着x轴负方向的一侧设置有第一压盒机构(3)，所述机架(1)上沿着x轴正方向的一侧设置有第二压盒机构(6)，所述第一压盒机构(3)包括压盒驱动电机(8)、第一压盒活动压块(9)和第一齿条(12)，所述压盒驱动电机(8)沿着y轴正方向一侧的驱动端通过丝杆螺母连接机构与第一齿条(12)沿着y轴方向驱动连接设置，所述第一齿条(12)与内侧的第一压盒活动压块(9)啮合设置，所述第二压盒机构(6)包括第二压盒活动压块(14)和第二齿条(16)，所述第二齿条(16)与内侧的第二压盒活动压块(14)啮合设置，所述第一压盒活动压块(9)沿着y轴正方向的一侧通过拉绳(18)与第二压盒活动压块(14)沿着y轴正方向的一侧相连接。2.如权利要求1所述的一种晶圆盒用压盒装置，其特征在于，所述第一压盒活动压块(9)和第二压盒活动压块(14)外侧的机架(1)上均设置有挡壳(10)。3.如权利要求1所述的一种晶圆盒用压盒装置，其特征在于，所述第一压盒活动压块(9)和第二压盒活动压块(14)的顶部均设置有压舌，所述第一压盒活动压块(9)和第二压盒活动压块(14)的底部均设置有齿轮。4.如权利要求1所述的一种晶圆盒用压盒装置，其特征在于，所述第一齿条(12)在机架(1)上的第一滑槽(11)内沿着y轴方向移动，所述第二齿条(16)在机架(1)上的第二滑槽(15)内沿着y轴方向移动。5.如权利要求4所述的一种晶圆盒用压盒装置，其特征在于，所述第一滑槽(11)沿着y轴正方向一侧的机架(1)上设置有第一挡块(13)，所述第二滑槽(15)沿着y轴正方向一侧的机架(1)上设置有第二挡块(17)。6.如权利要求1所述的一种晶圆盒用压盒装置，其特征在于，所述第一压盒机构(3)的外侧设置有第一保护罩(2)，所述第二压盒机构(6)的外侧设置有第二保护罩(5)，所述第一保护罩(2)和第二保护罩(5)分别通过安装螺栓(7)安装在机架(1)上。7.如权利要求6所述的一种晶圆盒用压盒装置，其特征在于，所述第一保护罩(2)上沿着y轴方向的中间位置还设置有提手(4)。8.如权利要求1所述的一种晶圆盒用压盒装置，其特征在于，所述机架(1)上还设置有用于放置拉绳(18)的拉绳槽(20)。9.如权利要求8所述的一种晶圆盒用压盒装置，其特征在于，所述拉绳槽(20)外侧的机架(1)上还设置有压绳板(19)。

技术总结
本实用新型涉及一种晶圆盒用压盒装置，包括机架、第一压盒机构和第二压盒机构，机架上沿着X轴负方向的一侧设置有第一压盒机构，机架上沿着X轴正方向的一侧设置有第二压盒机构。本实用新型一种晶圆盒用压盒装置，通过第一压盒机构和第二压盒机构可以快速自动的实现对晶圆盒的压盒处理，操作简单，使用方便；通过第一压盒机构和第二压盒机构相互连接的驱动结构设置，可以减少一个驱动电机的使用，降低成本。低成本。低成本。


技术研发人员：徐靖宇 林坚 王彭
受保护的技术使用者：泓浒（苏州）半导体科技有限公司
技术研发日：2022.04.20
技术公布日：2022/8/1