一种晶圆盒用压盒装置的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆加工相关技术领域，尤其涉及一种晶圆盒用压盒装置。


背景技术：

2.晶圆是一种非常贵重的产品，在放置过程中必须要保证其不能损坏。其中晶圆盒是其行业常见装晶圆及蓝宝石的装置。晶圆盒放置到位后一般需要进行压盒操作，避免晶圆盒在加工过程中产生位置偏移等情况，但是现有技术中的压盒操作一般通过手动拨动压块的操作方式。
3.有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种晶圆盒用压盒装置，使其更具有产业上的利用价值。


技术实现要素：

4.为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种晶圆盒用压盒装置。
5.为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：
6.一种晶圆盒用压盒装置，包括机架、第一压盒机构和第二压盒机构，机架上沿着x轴负方向的一侧设置有第一压盒机构，机架上沿着x轴正方向的一侧设置有第二压盒机构，第一压盒机构包括压盒驱动电机、第一压盒活动压块和第一齿条，压盒驱动电机沿着y轴正方向一侧的驱动端通过丝杆螺母连接机构与第一齿条沿着y轴方向驱动连接设置，第一齿条与内侧的第一压盒活动压块啮合设置，第二压盒机构包括第二压盒活动压块和第二齿条，第二齿条与内侧的第二压盒活动压块啮合设置，第一压盒活动压块沿着y轴正方向的一侧通过拉绳与第二压盒活动压块沿着y轴正方向的一侧相连接。
7.作为本实用新型的进一步改进，第一压盒活动压块和第二压盒活动压块外侧的机架上均设置有挡壳。
8.作为本实用新型的进一步改进，第一压盒活动压块和第二压盒活动压块的顶部均设置有压舌，第一压盒活动压块和第二压盒活动压块的底部均设置有齿轮。
9.作为本实用新型的进一步改进，第一齿条在机架上的第一滑槽内沿着y轴方向移动，第二齿条在机架上的第二滑槽内沿着y轴方向移动。
10.作为本实用新型的进一步改进，第一滑槽沿着y轴正方向一侧的机架上设置有第一挡块，第二滑槽沿着y轴正方向一侧的机架上设置有第二挡块。
11.作为本实用新型的进一步改进，第一压盒机构的外侧设置有第一保护罩，第二压盒机构的外侧设置有第二保护罩，第一保护罩和第二保护罩分别通过安装螺栓安装在机架上。
12.作为本实用新型的进一步改进，第一保护罩上沿着y轴方向的中间位置还设置有提手。
13.作为本实用新型的进一步改进，机架上还设置有用于放置拉绳的拉绳槽。
14.作为本实用新型的进一步改进，拉绳槽外侧的机架上还设置有压绳板。
15.借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：
16.本实用新型一种晶圆盒用压盒装置，通过第一压盒机构和第二压盒机构可以快速自动的实现对晶圆盒的压盒处理，操作简单，使用方便；通过第一压盒机构和第二压盒机构相互连接的驱动结构设置，可以减少一个驱动电机的使用，降低成本。
17.上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
18.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
19.图1是本实用新型一种晶圆盒用压盒装置的结构示意图；
20.图2是图1中去除第一保护罩和第二保护罩后的结构示意图；
21.图3是图2的主视图。
22.其中，图中各附图标记的含义如下。
23.1 机架
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2 第一保护罩
24.3 第一压盒机构
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4 提手
25.5 第二保护罩
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6 第二压盒机构
26.7 安装螺栓
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8 压盒驱动电机
27.9 第一压盒活动压块
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10 挡壳
28.11 第一滑槽
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12 第一齿条
29.13 第一挡块
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14 第二压盒活动压块
30.15 第二滑槽
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16 第二齿条
31.17 第二挡块
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18 拉绳
32.19 压绳板
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20 拉绳槽
具体实施方式
33.下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
34.为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面将结合本实用新型实施例中附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
35.实施例
36.如图1～图3所示，
37.一种晶圆盒用压盒装置，包括机架1、第一压盒机构3和第二压盒机构6，机架1上沿着x轴负方向的一侧设置有第一压盒机构3，机架1上沿着x轴正方向的一侧设置有第二压盒机构6，第一压盒机构3包括压盒驱动电机8、第一压盒活动压块9和第一齿条12，压盒驱动电机8沿着y轴正方向一侧的驱动端通过丝杆螺母连接机构与第一齿条12沿着y轴方向驱动连接设置，第一齿条12与内侧的第一压盒活动压块9啮合设置，第二压盒机构6包括第二压盒活动压块14和第二齿条16，第二齿条16与内侧的第二压盒活动压块14啮合设置，第一压盒活动压块9沿着y轴正方向的一侧通过拉绳18与第二压盒活动压块14沿着y轴正方向的一侧相连接。
38.优选的，第一压盒活动压块9和第二压盒活动压块14外侧的机架1上均设置有挡壳10。
39.优选的，第一压盒活动压块9和第二压盒活动压块14的顶部均设置有压舌，第一压盒活动压块9和第二压盒活动压块14的底部均设置有齿轮。
40.优选的，第一齿条12在机架1上的第一滑槽11内沿着y轴方向移动，第二齿条16在机架1上的第二滑槽15内沿着y轴方向移动。
41.优选的，第一滑槽11沿着y轴正方向一侧的机架1上设置有第一挡块13，第二滑槽15沿着y轴正方向一侧的机架1上设置有第二挡块17。
42.优选的，第一压盒机构3的外侧设置有第一保护罩2，第二压盒机构6的外侧设置有第二保护罩5，第一保护罩2和第二保护罩5分别通过安装螺栓7安装在机架1上。
43.优选的，第一保护罩2上沿着y轴方向的中间位置还设置有提手4。
44.优选的，机架1上还设置有用于放置拉绳18的拉绳槽20。
45.优选的，拉绳槽20外侧的机架1上还设置有压绳板19。
46.本实用新型一种晶圆盒用压盒装置，放置好晶圆盒后，压盒驱动电机8开始工作，带动一侧的第一齿条12沿着y轴负方向移动，第一压盒活动压块9同步旋转，压住晶圆盒下面。动力同时通过压在拉绳槽20里的拉绳18传输到另一侧的第二齿条16，使第二齿条16沿着y轴正方向移动，第二齿条16压住晶圆盒的另一边。
47.本实用新型一种晶圆盒用压盒装置，通过第一压盒机构和第二压盒机构可以快速自动的实现对晶圆盒的压盒处理，操作简单，使用方便；通过第一压盒机构和第二压盒机构相互连接的驱动结构设置，可以减少一个驱动电机的使用，降低成本。
48.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指咧所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
49.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地
连接：可以是机械连接，也可以是电连接：可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通.对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
50.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，并不用于限制本实用新型，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。