一种晶圆测试探针的折弯治具的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆测试探针加工设备技术领域，尤其涉及一种晶圆测试探针的折弯治具。


背景技术：

2.晶圆探针测试(probe)是集成电路生产中的重要一环。它不仅是节约废芯片封装成本的一种方法，现今已成为工艺控制、成品率管理、产品质量以及降低总测试成本的一个关键因素。晶圆探针测试目的完整的说应该是在合理的成本控制下，以定的可信度得出测试结果。晶圆探针测试的结果是良率和分bin的map图。晶圆探针测试中的一个关键问题是如何正确的判断晶圆上一颗ic颗粒的好与坏，在测试中人们对探针的需求量较大。
3.由于探针在生产出来后多为直针，人们需要采用折弯冶具进行折弯，但是目前所使用的折弯冶具在使用灵活度上较低，多是对固定型号的探针进行折弯，适用性较低。
4.因此，有必要提供一种新的晶圆测试探针的折弯治具解决上述技术问题。


技术实现要素：

5.本实用新型解决的技术问题是提供一种具有使用灵活，提高了使用适用性的晶圆测试探针的折弯治具。
6.为解决上述技术问题，本实用新型提供的晶圆测试探针的折弯治具包括：底座；固定轴，所述固定轴固定安装在所述底座的顶部；支撑圆盘，所述支撑圆盘固定安装在所述固定轴的顶端上；调节板，所述调节板设于所述底座和所述支撑圆盘外并与所述固定轴活动连接；滑口，所述滑口开设在所述调节板上并与所述固定轴相适配；调节机构，所述调节机构设置在所述固定轴和所述调节板上；折弯机构，所述折弯机构设置在所述支撑圆盘和所述调节板上。
7.优选的，所述调节机构包括连接圆环、连接块、调节螺杆和拧块，所述连接圆环转动套设在所述固定轴上并位于所述底座和所述调节板之间，所述连接块固定安装在所述调节板的底部，所述调节螺杆螺纹贯穿安装在所述连接块上并与所述连接圆环转动连接，所述拧块固定安装在所述调节螺杆远离所述连接圆环的一端上。
8.优选的，所述折弯机构包括弯折顶杆、转轴、导轮和固定机构，所述弯折顶杆设置在所述支撑圆盘的顶部，所述转轴设于所述支撑圆盘的一侧并与所述调节板的顶部固定连接，所述导轮转动套设在所述转轴上。
9.优选的，所述固定机构包括u形卡座、两个气缸和两个挤压头，所述u形卡座固定安装在所述支撑圆盘的顶部，两个所述气缸分别设置在所述u形卡座两侧均与所述支撑圆盘的顶部固定连接，两个所述挤压头分别滑动安装在所述u形卡座的两侧并分别与两个所述气缸的输出杆固定连接。
10.优选的，所述调节板的一侧固定安装有把手，所述把手外固定套设有防护软套。
11.优选的，所述支撑圆盘的顶部开设有多个螺纹槽，所述弯折顶杆的底端固定安装
有与所述螺纹槽相适配的连接螺杆。
12.优选的，所述底座的底部固定安装有多个支撑腿，多个所述支撑腿呈矩形阵列分布。
13.与相关技术相比较，本实用新型提供的晶圆测试探针的折弯治具具有如下有益效果：
14.本实用新型提供一种晶圆测试探针的折弯治具：通过固定轴上活动安装的调节板可调节弯折的长度和角度，滑口活动方便，通过调节机构采用调节螺杆和连接圆环的连接方式，在满足转动的同时可精准调节弯折长度，使用适应性较高，通过折弯机构能够对需要折弯的位置进行较为精准的定位，通过固定机构可对需要弯折的探针进行固定，保证其顺利弯折，通过螺纹槽和连接螺杆安装弯折顶杆的方式，在调节时灵活多变。
附图说明
15.图1为本实用新型提供的主视剖视结构示意图；
16.图2为本实用新型提供的俯视结构示意图；
17.图3为本实用新型提供的俯视剖视结构示意图。
18.图中标号：1、底座；2、固定轴；3、支撑圆盘；4、调节板；5、滑口；6、连接圆环；7、连接块；8、调节螺杆；9、拧块；10、弯折顶杆；11、转轴；12、导轮；13、u形卡座；14、气缸；15、挤压头；16、把手。
具体实施方式
19.下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。
20.请结合参阅图1、图2和图3，其中，图1为本实用新型提供的主视剖视结构示意图；图2为本实用新型提供的俯视结构示意图；图3为本实用新型提供的俯视剖视结构示意图。晶圆测试探针的折弯治具包括：底座1；固定轴2，所述固定轴2固定安装在所述底座1的顶部；支撑圆盘3，所述支撑圆盘3固定安装在所述固定轴2的顶端上；调节板4，所述调节板4设于所述底座1和所述支撑圆盘3外并与所述固定轴2活动连接；滑口5，所述滑口5开设在所述调节板4上并与所述固定轴2相适配；调节机构，所述调节机构设置在所述固定轴2和所述调节板4上；折弯机构，所述折弯机构设置在所述支撑圆盘3和所述调节板4上，通过固定轴2上活动安装的调节板4可调节弯折的长度和角度，滑口5活动方便。
21.所述调节机构包括连接圆环6、连接块7、调节螺杆8和拧块9，所述连接圆环6转动套设在所述固定轴2上并位于所述底座1和所述调节板4之间，所述连接块7固定安装在所述调节板4的底部，所述调节螺杆8螺纹贯穿安装在所述连接块7上并与所述连接圆环6转动连接，所述拧块9固定安装在所述调节螺杆8远离所述连接圆环6的一端上，通过调节机构采用调节螺杆8和连接圆环6的连接方式，在满足转动的同时可精准调节弯折长度，使用适应性较高。
22.所述折弯机构包括弯折顶杆10、转轴11、导轮12和固定机构，所述弯折顶杆10设置在所述支撑圆盘3的顶部，所述转轴11设于所述支撑圆盘3的一侧并与所述调节板4的顶部固定连接，所述导轮12转动套设在所述转轴11上，通过折弯机构能够对需要折弯的位置进行较为精准的定位。
23.所述固定机构包括u形卡座13、两个气缸14和两个挤压头15，所述u形卡座13固定安装在所述支撑圆盘3的顶部，两个所述气缸14分别设置在所述u形卡座13两侧均与所述支撑圆盘3的顶部固定连接，两个所述挤压头15分别滑动安装在所述u形卡座13的两侧并分别与两个所述气缸14的输出杆固定连接，通过固定机构可对需要弯折的探针进行固定，保证其顺利弯折。
24.所述调节板4的一侧固定安装有把手16，所述把手16外固定套设有防护软套。
25.所述支撑圆盘3的顶部开设有多个螺纹槽，所述弯折顶杆10的底端固定安装有与所述螺纹槽相适配的连接螺杆，通过螺纹槽和连接螺杆安装弯折顶杆10的方式，在调节时灵活多变。
26.所述底座1的底部固定安装有多个支撑腿，多个所述支撑腿呈矩形阵列分布。
27.本实用新型提供的晶圆测试探针的折弯治具的工作原理如下：
28.使用时，首先将探针插入至u形卡座13内，之后启动气缸14，气缸14的输出杆推动挤压头15滑动对插入的探针进行固定，随后根据需要弯折的尾端长度调节弯折顶杆10的位置，调节时通过连接螺杆和螺纹槽可调节弯折顶杆10的位置，最后根据需要调节导轮12的位置，调节时转动拧块9，拧块9在转动时带动调节螺杆8转动，在连接圆环6和连接块7的连接作用下驱动调节板4沿固定轴2滑动，从而调节导轮12与支撑圆盘3的距离，随后手持把手16即可转动调节板4，同时连接圆环6进行同步转动，从而对探针进行折弯。
29.与相关技术相比较，本实用新型提供的晶圆测试探针的折弯治具具有如下有益效果：
30.本实用新型提供一种晶圆测试探针的折弯治具，通过固定轴2上活动安装的调节板4可调节弯折的长度和角度，滑口5活动方便，通过调节机构采用调节螺杆8和连接圆环6的连接方式，在满足转动的同时可精准调节弯折长度，使用适应性较高，通过折弯机构能够对需要折弯的位置进行较为精准的定位，通过固定机构可对需要弯折的探针进行固定，保证其顺利弯折，通过螺纹槽和连接螺杆安装弯折顶杆10的方式，在调节时灵活多变。
31.需要说明的是，本实用新型的设备结构和附图主要对本实用新型的原理进行描述，在该设计原理的技术上，装置的动力机构、供电系统及控制系统等的设置并没有完全描述清楚，而在本领域技术人员理解上述实用新型的原理的前提下，可清楚获知其动力机构、供电系统及控制系统的具体。
32.以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。