一种内置有晶圆姿态调整机构的超声清洗设备的制作方法

1.本发明涉及超声清洗设备技术领域，具体为一种内置有晶圆姿态调整机构的超声清洗设备。


背景技术：

2.超声波清洗是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用，使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的。目前的超声波清洗设备将功率超声频源的声能转换成机械振动并通过清洗槽壁向槽内的清洗液辐射超声波，槽内液体中的微气泡在声波的作用下振动，当声压或声强达到一定值时，气泡迅速增长，然后突然闭合，在气泡闭合的瞬间产生冲击波使气泡周围产生较大的压力及局部调温，这种超声波空化所产生的巨大压力能破坏不溶性污物而使其分化于溶液中，并可对污垢进行反复冲击，从而达到较好的清洗效果。
3.现有的超声清洗晶圆的方式是，将承载有多个晶圆的花篮静置在清洗槽内，通过超声波发生器发出的超声波进行震荡清洗，由于超声波都是沿着同一个方向对零部件进行冲击，对于背离超声波发射装置一侧的晶圆清洗效果较差，因此我们提出来一种内置有晶圆姿态调整机构的超声清洗设备。


技术实现要素：

4.为解决上述背离超声波发射装置一侧的晶圆清洗效果较差的问题，实现以上晶圆全面均匀清洗和高效清洗的目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种内置有晶圆姿态调整机构的超声清洗设备，包括减速升降组件，所述减速升降组件的内部设有驱动齿轮，所述驱动齿轮的外壁啮合连接有减速齿轮，所述减速齿轮的外壁啮合连接有内齿盘，所述内齿盘的外壁啮合连接有涡轴，所述涡轴的侧壁固定连接有驱动盘，所述驱动盘的侧壁传动连接有传动盘，所述传动盘远离驱动盘的一侧传动连接有从动盘，所述从动盘通过转轴固定连接有偏心盘，所述从动盘的转轴传动连接有传动带，所述传动带远离从动盘的一侧与驱动锥轮的转轴传动连接。
5.还包括调速组件，所述调速组件的内部设有调节盘，所述调节盘的顶部固定连接有丝杆，所述丝杆的外壁啮合连接有滑动块，所述滑动块两侧的内部滑动连接有固定导杆。
6.还包括壳体，所述壳体内部的顶部设有清洗腔，所述清洗腔的内部设有支撑卡板，所述支撑卡板的底部通过滑杆固定连接有升降板，所述升降板的底部固定连接有侧凸杆，所述侧凸杆底部的外壁滑动连接有空心柱，所述空心柱的外壁固定连接有从动锥轮，所述壳体的内部设有减速升降组件，所述壳体的内部设有调速组件。
7.进一步的，所述驱动齿轮的背部与驱动电机的驱动轴固定连接，且所述驱动齿轮通过三个减速齿轮与内齿盘啮合连接，且所述减速齿轮的直径大于驱动齿轮的直径，便于降低转动速度。
8.进一步的，所述涡轴的直径与内齿盘的直径相同。
9.进一步的，所述驱动盘设置在从动盘的右上方，便于调节转动速度。
10.进一步的，所述偏心盘的顶部与升降板的底部滑动连接，便于带动升降板向上运动。
11.进一步的，所述驱动锥轮与从动锥轮的外壁啮合连接，便于带动从动锥轮转动。
12.进一步的，所述滑动块的顶部与所述传动盘的底部转动连接，便于带动从动盘上下运动。
13.进一步的，所述空心柱的内部设有与侧凸杆的外壁相适配的凹槽，便于侧凸杆跟随空心柱转动，且侧凸杆可以在空心柱的内部上下运动。
14.进一步的，所述支撑卡板的顶部设有两个凸起板，便于清洗花篮跟随支撑卡板转动。
15.与现有技术相比，本发明提供了一种内置有晶圆姿态调整机构的超声清洗设备，具备以下有益效果：1、该内置有晶圆姿态调整机构的超声清洗设备，驱动齿轮通过减速齿轮带动内齿盘转动，其转动的速率会降低，避免清洗花篮升降和转动过程中速度过快，导致其损坏，此时内齿盘带动涡轴转动，进一步使得偏心盘带动升降板上下往复运动，此时支撑卡板顶部的清洗花篮也可以上下往复运动，此时驱动锥轮带动从动锥轮转动，进一步使得清洗花篮上下运动的过程中转动，从而达到了便于提高清洗均匀性避免超声波发生装置一侧的晶圆清洗较差的效果。
16.2、该内置有晶圆姿态调整机构的超声清洗设备，转动调节盘，此时滑动块在固定导杆的外壁上下运动，进一步使得从动盘相对于驱动盘的转动速度发生改变，此时清洗花篮上下运动和转动的速度会发生改变，从而达到了便于改变清洗花篮上下运动和转动的速度提高清洗效率的效果。
附图说明
17.图1为本发明整体结构立体剖视示意图；图2为本发明整体结构主视剖视示意图；图3为本发明空心柱结构俯视示意图；图4为本发明减速升降结构主视示意图；图5为本发明内齿盘结构俯视示意图；图6为本发明图2中a结构放大示意图。
18.图中：1、壳体；2、清洗腔；3、支撑卡板；4、升降板；5、侧凸杆；6、空心柱；7、从动锥轮；8、减速升降组件；9、调速组件；91、调节盘；92、丝杆；93、滑动块；94、固定导杆；801、驱动齿轮；802、减速齿轮；803、内齿盘；804、涡轴；805、驱动盘；806、传动盘；807、从动盘；808、偏心盘；809、传动带；810、驱动锥轮。
具体实施方式
19.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他
实施例，都属于本发明保护的范围。
20.该内置有晶圆姿态调整机构的超声清洗设备的实施例如下：请参阅图1-图6，一种内置有晶圆姿态调整机构的超声清洗设备，包括减速升降组件8，减速升降组件8的内部设有驱动齿轮801，驱动齿轮801的外壁啮合连接有减速齿轮802，驱动齿轮801的背部与驱动电机的驱动轴固定连接，且驱动齿轮801通过三个减速齿轮802与内齿盘803啮合连接，且减速齿轮802的直径大于驱动齿轮801的直径，便于降低转动速度，减速齿轮802的外壁啮合连接有内齿盘803，内齿盘803的外壁啮合连接有涡轴804，涡轴804的直径与内齿盘803的直径相同，涡轴804的侧壁固定连接有驱动盘805，驱动盘805的侧壁传动连接有传动盘806，传动盘806远离驱动盘805的一侧传动连接有从动盘807，驱动盘805设置在从动盘807的右上方，便于调节转动速度，从动盘807通过转轴固定连接有偏心盘808，偏心盘808的顶部与升降板4的底部滑动连接，便于带动升降板4向上运动，从动盘807的转轴传动连接有传动带809，传动带809远离从动盘807的一侧与驱动锥轮810的转轴传动连接，驱动锥轮810与从动锥轮7的外壁啮合连接，便于带动从动锥轮7转动。
21.还包括调速组件9，调速组件9的内部设有调节盘91，调节盘91的顶部固定连接有丝杆92，丝杆92的外壁啮合连接有滑动块93，滑动块93的顶部与传动盘806的底部转动连接，便于带动传动盘806上下运动，滑动块93两侧的内部滑动连接有固定导杆94。
22.还包括壳体1，壳体1内部的顶部设有清洗腔2，清洗腔2的内部设有支撑卡板3，支撑卡板3的顶部设有两个凸起板，便于清洗花篮跟随支撑卡板3转动，支撑卡板3的底部通过滑杆固定连接有升降板4，升降板4的底部固定连接有侧凸杆5，侧凸杆5底部的外壁滑动连接有空心柱6，空心柱6的内部设有与侧凸杆5的外壁相适配的凹槽，便于侧凸杆5跟随空心柱6转动，且侧凸杆5可以在空心柱6的内部上下运动，空心柱6的外壁固定连接有从动锥轮7，壳体1的内部设有减速升降组件8，壳体1的内部设有调速组件9。
23.工作原理:使用时，将装有晶圆的清洗花篮通过机械手放入到清洗腔2内部的支撑卡板3的顶部，此时启动驱动齿轮801背部的驱动电机，因为驱动齿轮801的外壁啮合连接有减速齿轮802，且减速齿轮802的直径大于驱动齿轮801的直径，所以此时驱动齿轮801可以带动减速齿轮802转动，且减速齿轮802 的转动速率会小于驱动齿轮801，又因为驱动齿轮801通过三个减速齿轮802与内齿盘803啮合连接，减速齿轮802的外壁啮合连接有内齿盘803，所以此时内齿盘803也可以转动，且其转动的速率会进一步降低，避免清洗花篮升降和转动过程中速度过快，导致其损坏。
24.又因为内齿盘803的外壁啮合连接有涡轴804，涡轴804的直径与内齿盘803的直径相同，所以此时内齿盘803会带动涡轴804转动，此时内齿盘803与涡轴804的转动速度相同，又因为涡轴804的侧壁固定连接有驱动盘805，所以此时驱动盘805可以转动，又因为驱动盘805的侧壁传动连接有传动盘806，传动盘806远离驱动盘805的一侧传动连接有从动盘807，所以此时从动盘807也可以转动。
25.又因为从动盘807通过转轴固定连接有偏心盘808，偏心盘808的顶部与升降板4的底部滑动连接，所以此时偏心盘808可以带动升降板4上下往复运动，又因为支撑卡板3的底部通过滑杆固定连接有升降板4，所以此时支撑卡板3也可以上下往复运动，此时支撑卡板3顶部的清洗花篮也可以上下往复运动。
26.又因为从动盘807的转轴传动连接有传动带809，传动带809远离从动盘807的一侧
与驱动锥轮810的转轴传动连接，所以此时传动带809可以带动驱动锥轮810转动，又因为驱动锥轮810与从动锥轮7的外壁啮合连接，所以此时从动锥轮7也可以转动，又因为空心柱6的外壁固定连接有从动锥轮7，所以此时空心柱6也可以转动，又因为侧凸杆5底部的外壁滑动连接有空心柱6，空心柱6的内部设有与侧凸杆5的外壁相适配的凹槽，所以此时侧凸杆5也可以转动，又因为升降板4的底部固定连接有侧凸杆5，所以此时升降板4也可以转动，此时清洗花篮上下运动的过程中转动，从而达到了便于提高清洗均匀性避免超声波发生装置一侧的晶圆清洗较差的效果。
27.转动调节盘91，因为调节盘91的顶部固定连接有丝杆92，所以此时丝杆92可以转动，又因为丝杆92的外壁啮合连接有滑动块93，滑动块93两侧的内部滑动连接有固定导杆94，所以此时滑动块93可以在固定导杆94的外壁上下运动，又因为滑动块93的顶部与传动盘806的底部转动连接，所以此时传动盘806也可以上下运动，又因为驱动盘805的侧壁传动连接有传动盘806，传动盘806远离驱动盘805的一侧传动连接有从动盘807，驱动盘805设置在从动盘807的右上方，所以此时从动盘807相对于驱动盘805的转动速度会发生改变，进一步使得清洗花篮上下运动和转动的速度发生改变，从而达到了便于改变清洗花篮上下运动和转动的速度提高清洗效率的效果。
28.综上所述，该内置有晶圆姿态调整机构的超声清洗设备，驱动齿轮801通过减速齿轮802带动内齿盘803转动，其转动的速率会降低，避免清洗花篮升降和转动过程中速度过快，导致其损坏，此时内齿盘803带动涡轴804转动，进一步使得偏心盘808带动升降板4上下往复运动，此时支撑卡板3顶部的清洗花篮也可以上下往复运动，此时驱动锥轮810带动从动锥轮7转动，进一步使得清洗花篮上下运动的过程中转动，从而达到了便于提高清洗均匀性避免超声波发生装置一侧的晶圆清洗较差的效果。
29.转动调节盘91，此时滑动块93在固定导杆94的外壁上下运动，进一步使得从动盘807相对于驱动盘805的转动速度发生改变，此时清洗花篮上下运动和转动的速度会发生改变，从而达到了便于改变清洗花篮上下运动和转动的速度提高清洗效率的效果。
30.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。