蓝宝石衬底的制作方法

1.本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种蓝宝石衬底。


背景技术：

2.led用衬底材料一般有蓝宝石衬底、碳化硅衬底及硅衬底三种，其中蓝宝石衬底应用最广泛，因为其加工方法及加工成本等与其他两种相比较都有不小的优势。现行蓝宝石衬底业界习知针对a轴多以平边或是缺口作为定位点，相关治具或光学ccd均以此为基准进行定位；定位的目的除了在加工过程中可以精准的进行研削外，还有在检验时可以依据平边或缺口找寻缺陷的位置，有利于技术人员分析。
3.对于蓝宝石衬底而言，缺口的位置多以开a轴(18.92度)为主；该缺口虽然在一定程度上能够实现蓝宝石衬底的定位，但在定位过程中存在定位偏差，定位具有偏差的蓝宝石衬底在后期外延制作过程中可能会造成表面缺陷。因此，如何提供一种可提高定位精确度的蓝宝石衬底是亟待解决的技术问题。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本实用新型提供了一种蓝宝石衬底，以解决现有技术存在的一个或多个技术问题。
5.根据本实用新型的一方面，公开了一种蓝宝石衬底，所述蓝宝石衬底上具有第一定位部和第二定位部，所述第一定位部为设置在所述蓝宝石衬底外边沿第一位置处的第一定位平边或定位缺口，过所述第一定位部的中心和所述蓝宝石衬底的中心的第一直线与过所述第二定位部的中心和所述蓝宝石衬底的中心的第二直线之间具有夹角，且所述夹角大于0度。
6.在本实用新型的一些实施例中，所述第二定位部为设置在所述蓝宝石衬底外边沿第二位置处的第二定位平边或定位线，所述定位线位于所述蓝宝石衬底的顶部平面上或底部平面上，所述第二定位平边位于所述蓝宝石衬底的外边沿上。
7.在本实用新型的一些实施例中，过所述第一定位部的中心和所述蓝宝石衬底的中心的第一直线与过所述第二定位部的中心和所述蓝宝石衬底的中心的第二直线之间的夹角范围为30度至150度或210度至330度。
8.在本实用新型的一些实施例中，过所述第一定位部的中心和所述蓝宝石衬底的中心的第一直线与过所述第二定位部的中心和所述蓝宝石衬底的中心的第二直线互相垂直。
9.在本实用新型的一些实施例中，当所述第一定位部为第一定位平边时，所述定位线位于所述蓝宝石衬底外边沿的内部，且所述定位线与所述第一定位平边垂直。
10.在本实用新型的一些实施例中，所述定位线的长度为8mm至15mm，所述定位线中心距所述蓝宝石衬底外边沿的最小距离为1mm至3mm。
11.在本实用新型的一些实施例中，所述定位线的线宽为0.03mm至0.1mm，所述定位线的加工方式为激光镭射或喷印。
12.在本实用新型的一些实施例中，所述第二定位平边的长度范围为30mm至45mm。
13.在本实用新型的一些实施例中，所述第二定位平边的长度为37.5mm
±
2.5mm。
14.在本实用新型的一些实施例中，当所述第一定位部为定位缺口时，所述定位缺口的深度为1mm至1.5mm。
15.通过利用本实用新型实施例中的蓝宝石衬底，可以获得的有益效果至少在与：
16.该蓝宝石衬底上具有两个定位部，第一定位部为第一定位平边或定位缺口，而过所述第一定位部的中心和所述蓝宝石衬底的中心的第一直线与过所述第二定位部的中心和所述蓝宝石衬底的中心的第二直线之间具有大于0度的夹角；该结构的第二定位部作为辅助定位部，即在定位时通过判断两个定位部的位置是否均满足预设要求，以确定该蓝宝石衬底的放置位置或放置角度是否存在偏差，从而提高了蓝宝石衬底的定位精确度，进而也防止了蓝宝石衬底在后期外延制作过程中表面缺陷现象的发生。
17.本实用新型的附加优点、目的，以及特征将在下面的描述中将部分地加以阐述，且将对于本领域普通技术人员在研究下文后部分地变得明显，或者可以根据本实用新型的实践而获知。本实用新型的目的和其它优点可以通过在书面说明及其权利要求书以及附图中具体指出的结构实现到并获得。
18.本领域技术人员将会理解的是，能够用本实用新型实现的目的和优点不限于以上具体所述，并且根据以下详细说明将更清楚地理解本实用新型能够实现的上述和其他目的。
附图说明
19.此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本技术的一部分，并不构成对本实用新型的限定。附图中的部件不是成比例绘制的，而只是为了示出本实用新型的原理。为了便于示出和描述本实用新型的一些部分，附图中对应部分可能被放大，即，相对于依据本实用新型实际制造的示例性装置中的其它部件可能变得更大。在附图中：
20.图1为本实用新型一实施例的蓝宝石衬底的俯视方向结构示意图。
21.图2为本实用新型另一实施例的蓝宝石衬底的俯视方向结构示意图。
22.图3为图2所示的蓝宝石衬底的定位缺口的局部放大图。
23.图4为本实用新型再一实施例的蓝宝石衬底的俯视方向结构示意图。
具体实施方式
24.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合附图对本实用新型实施例做进一步详细说明。在此，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，但并不作为对本实用新型的限定。
25.在此，需要说明的是，为了避免因不必要的细节而模糊了本实用新型，在附图中仅仅示出了与根据本实用新型的方案密切相关的结构和/或处理步骤，而省略了与本实用新型关系不大的其他细节。
26.应该强调，术语“包括/包含/具有”在本文使用时指特征、要素、步骤或组件的存在，但并不排除一个或更多个其它特征、要素、步骤或组件的存在或附加。
27.在此，还需要说明的是，本说明书内容中所出现的方位名词是相对于附图所示的
位置方向；如果没有特殊说明，术语“连接”在本文不仅可以指直接连接，也可以表示存在中间物的间接连接。直接连接为两个零部件之间不借助中间部件进行连接，间接连接为两个零部件之间借助其他零部件进行连接。
28.为了提高蓝宝石衬底在加工过程中的定位精确度，本实用新型提供了一种蓝宝石衬底，该蓝宝石衬底上具有第一定位部和第二定位部，所述第一定位部为设置在所述蓝宝石衬底外边沿第一位置处的第一定位平边或定位缺口，过所述第一定位部的中心和所述蓝宝石衬底的中心的第一直线与过所述第二定位部的中心和所述蓝宝石衬底的中心的第二直线之间具有夹角，且所述夹角大于0度。
29.在下文中，将参考附图描述本发明的实施例。在附图中，相同的附图标记代表相同或类似的部件。
30.图1为本实用新型一实施例的蓝宝石衬底10的俯视方向结构示意图，如图1所示，该蓝宝石衬底10的俯视图大致呈圆形状，此时该蓝宝石衬底10上的第一定位部11的具体结构为定位缺口。在该蓝宝石衬底10中，以晶向c面作为加工面，即以c面作为抛光面，c面也可理解为蓝宝石衬底10的顶部平面，此时定位缺口多开设在蓝宝石衬底10的a面上。而第二定位部12定位线的位置则进一步的可开设在蓝宝石衬底10的m面上。以6寸蓝宝石衬底10为例，6寸蓝宝石衬底10的直径为150mm，该6寸的蓝宝石衬底10上的第一位置处可认为自蓝宝石衬底10的中心垂直向下延伸至与该蓝宝石衬底10的外边沿交汇的位置，也可看成该蓝宝石衬底10的定位缺口位于六点钟方向。而第二定位部12位于该蓝宝石衬底10的除第一位置处之外的第二位置处。另外，还应理解的，第一定位部除了为定位缺口之外，还可为第一定位平边。
31.进一步的，第二定位部12为设置在所述蓝宝石衬底10外边沿第二位置处的第二定位平边或定位线，所述定位线位于所述蓝宝石衬底10的顶部平面上或底部平面上，所述第二定位平边位于所述蓝宝石衬底10的外边沿上。
32.在图1中，第二定位部12采用的是第二定位平边，则从图1中可以看出，第二定位平边与蓝宝石衬底10的外边沿重合，即在蓝宝石衬底10的俯视图上，第二定位平边作为蓝宝石衬底10的外边沿的一部分。此时过蓝宝石衬底10中心的第二定位平边的中垂线与过蓝宝石衬底10中心的定位缺口的中垂线之间具有夹角。在对该蓝宝石衬底10进行定位时，通过判断第一定位部11所在的位置以及第二定位部12所在的位置是否均正确可判断得出该蓝宝石衬底10的放置位置以及放置角度是否具有偏差。
33.图2为本实用新型另一实施例的蓝宝石衬底10的俯视方向结构示意图，如图2所示，该蓝宝石衬底10的俯视图也大致呈圆形状，此时该蓝宝石衬底10上的第一定位部11的具体结构也为定位缺口，而此时该蓝宝石衬底10的第二定位部12的具体结构为定位线，图2中的定位线位于蓝宝石衬底10的顶部平面上，除此之外，也可将该定位线设置在蓝宝石衬底10的底部平面上。类似的，过蓝宝石衬底10中心的定位线的中垂线与过蓝宝石衬底10中心的定位缺口的中垂线之间具有夹角，由于第一定位部11与第二定位部12分别位于蓝宝石衬底10的不同位置，因而两条中垂线之间的夹角也大于0度且小于360度。
34.示例性的，过所述第一定位部11的中心和所述蓝宝石衬底10的中心的第一直线13与过所述第二定位部12的中心和所述蓝宝石衬底10的中心的第二直线14之间的夹角范围为30度至150度或210度至330度。此时也即过蓝宝石衬底10中心的定位线的中垂线或第二
定位平面的中垂线与过蓝宝石衬底10中心的定位缺口的中垂线之间的夹角可选取的范围为30度至150度或210度至330度。
35.可选的，过所述第一定位部11的中心和所述蓝宝石衬底10的中心的第一直线13与过所述第二定位部12的中心和所述蓝宝石衬底10的中心的第二直线14互相垂直；此时过蓝宝石衬底10中心的定位线的中垂线或第二定位平面的中垂线与过蓝宝石衬底10中心的定位缺口的中垂线之间的夹角为90度。参考图1和图2，自蓝宝石衬底10中心垂直向下延伸的直线与蓝宝石衬底10外边沿间的交点作为定位缺口的中点，而自蓝宝石衬底10中心水平向右延伸的与蓝宝石衬底10外边沿的交点作为第二定位平面的中点，另外，当第二定位部12为定位线时，则定位线的中点位于自蓝宝石衬底10中心水平向右延伸的与蓝宝石衬底10外边沿间的交点左侧。在该实施例中，第一定位部11位于蓝宝石衬底10上的六点钟方向，而第二定位部12位于蓝宝石衬底10上的三点钟方向，即此时过所述第一定位部11的中心和所述蓝宝石衬底10的中心的第一直线13与过所述第二定位部12的中心和所述蓝宝石衬底10的中心的第二直线14互相垂直。
36.图4为本实用新型再一实施例的蓝宝石衬底10的俯视方向结构示意图，在图4中，第一定位部11具体的为第一定位平边，此时第二定位部12为定位线，则此时定位线不仅位于所述蓝宝石衬底10外边沿的内部，且所述定位线与所述第一定位平边垂直。类似的，当第一定位部11和第二定位部12均为定位平边时，则第一定位平边与第二定位平边之间也可互相垂直。此时，过所述第一定位部11的中心和所述蓝宝石衬底10的中心的第一直线13与过所述第二定位部12的中心和所述蓝宝石衬底10的中心的第二直线14之间的夹角为90度或270度。
37.可以理解的，将第二定位部12的中心设置在图1或图2所示的第二直线上，是为了使得第二定位部12的存在不仅可以辅助定位蓝宝石衬底10的位置或角度，还可进一步的标注蓝宝石衬底10上r面的方向，从而节省了r面的的角度确认或二次测量过程。
38.进一步的，定位线的长度为8mm至15mm，所述定位线中心与所述蓝宝石衬底10外边沿的最小距离为1mm至3mm。可选的，定位线的长度设为10mm，而定位线中心距所述蓝宝石衬底10外边沿之间连线的最小距离为2mm。
39.在另一实施例中，定位线的线宽为0.03mm至0.1mm，例如，定位线的线宽为0.05mm或0.08mm。应当理解的，定位线的长度以及线宽等均可不做具体限定，具体可根据蓝宝石衬底10的尺寸进行更改。在该实施例中，是以6寸的蓝宝石衬底10为例，而若蓝宝石衬底10的尺寸增大或减小时，则定位线的线宽、长度以及定位线距蓝宝石衬底10外边沿之间的间距均可相应调整。另外，定位线可采用激光镭射或喷印的加工方式加工而成。
40.具体的，对于图1中所示的蓝宝石衬底10，其第二定位平边的长度可设为30mm至45mm，可选的，第二定位平边的长度为37.5mm
±
2.5mm，并且第二定位平边的最有长度为中心值37.5mm。在该实施例中，也是以6寸的蓝宝石衬底10为例，对于其他尺寸的蓝宝石衬底10，则类似的，可以根据实际应用环境进行具体改变。
41.进一步的，定位缺口的深度为1mm至1.5mm，深度是指定位缺口在图3中的竖直方向上的尺寸。对于6寸的蓝宝石衬底10，定位缺口的深度优选的设为1.2mm。
42.通过上述实施例可以发现，该蓝宝石衬底上具有两个定位部，第一定位部为第一定位平边或定位缺口，而过所述第一定位部的中心和所述蓝宝石衬底的中心的第一直线与
过所述第二定位部的中心和所述蓝宝石衬底的中心的第二直线之间具有大于0度的夹角；该结构的第二定位部作为辅助定位部，即在定位时通过判断两个定位部的位置是否均满足预设要求，以确定该蓝宝石衬底的放置位置或放置角度是否存在偏差，从而提高了蓝宝石衬底的定位精确度，进而也防止了蓝宝石衬底在后期外延制作过程中表面缺陷现象的发生。
43.本实用新型中，针对一个实施方式描述和/或例示的特征，可以在一个或更多个其它实施方式中以相同方式或以类似方式使用，和/或与其他实施方式的特征相结合或代替其他实施方式的特征。
44.上述所列实施例，显示和描述了本实用新型的基本原理与主要特征，但本实用新型不受上述实施例的限制，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下对本实用新型做出的修改、等同变化及修饰，均应落在本实用新型技术方案保护的范围内。