一种综合式无损检测系统的制作方法

1.本实用新型涉及无损检测技术领域，具体而言，涉及一种综合式无损检测系统。


背景技术：

2.当前x-ray设备主要用于二维检测半导体元件、电子元件、塑料、铝制等工业零部件的内部缺陷，ct主要用于三维检测同类产品以及密度更高的金属类产品内部缺陷、测量及原材料分析等工作。
3.随电子行业封装型式趋于立体，集成度越来越高，产品厚度增加，布局层面增加(多层bga焊接或芯片叠加)，生产或失效分析中无损检测需求变化。
4.x-ray无法对器件内部清晰分层，部分设备可以加装ct附件却对器件尺寸、重量有严格限制，且受限于x-ray管电压的极限，当前很多产品要么无法被穿透，要么尺寸、重量超标无法装夹导致越来越多的模组产品没有途径进行检测。而单纯的ct设备受制于放大倍率、样品距射线管位置固定影响，对于电子行业需要将细节放大的需求又无法完全满足，且单台设备投资成本高。


技术实现要素：

5.本实用新型的主要目的在于提供一种综合式无损检测系统，以改善相关技术中，单纯的x射线检测设备或ct检测设备，难以满足使用需求的问题。
6.为了实现上述目的，本实用新型提供了一种综合式无损检测系统，包括含铅外罩以及铰接于所述含铅外罩侧部的含铅视窗，所述含铅外罩的内部安装有可上下移动的二维载物台，所述二维载物台的下部设置有可上下移动并与所述二维载物台配合的第一射线管，所述二维载物台的下部设置有三维载物台，所述含铅外罩的内部安装有可左右移动并与所述三维载物台配合的第二射线管，所述含铅外罩的内部安装有可90
°
移动的探测器，所述探测器处于高位时与所述第一射线管配合，所述探测器处于低位时与所述第二射线管配合。
7.在本实用新型的一种实施例中，所述含铅外罩的侧部安装有第一电动推杆，所述第一电动推杆的输出端与所述含铅视窗相连。
8.在本实用新型的一种实施例中，所述含铅视窗的侧部安装有手柄。
9.在本实用新型的一种实施例中，所述含铅外罩的内部设置有第二电动推杆，所述第二电动推杆的输出端与所述第一射线管相连。
10.在本实用新型的一种实施例中，所述第二电动推杆的侧部设置有第一滑轨，所述第一滑轨的侧部安装有第一滑块，所述第一滑块的侧部与所述第一射线管相连。
11.在本实用新型的一种实施例中，所述含铅外罩的内部安装有第三电动推杆，所述第三电动推杆的输出端与所述第二射线管相连。
12.在本实用新型的一种实施例中，所述含铅外罩的侧部安装有第二滑轨，所述第二滑轨的侧部安装有第二滑块，所述第二滑块的侧部与所述第二射线管相连。
13.在本实用新型的一种实施例中，所述含铅外罩的内部安装有电机，所述电机的输出端安装有连接杆，所述探测器安装于所述连接杆的侧部。
14.在本实用新型的一种实施例中，所述连接杆的断面呈z字型设置。
15.在本实用新型的一种实施例中，所述第一射线管的供电电压为160kv，所述第二射线管的供电电压为240kv。
16.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过上述设计的综合式无损检测系统，使用时，应用x射线检测功能时，待测物放置在二维载物台的上部，启动第一射线管，第一射线管发出射线，利用探测器进行探测，对待测物进行检测，通过二维载物台本身上下移动，改变距第一射线管与待测物的距离，改变放大倍率，实现细节的放大，达到良好的x射线检测功能；
17.应用ct检测时，使得二维载物台处于高位并关闭，第一射线管处于低位并关闭，将探测器旋转移动至低位，将待测物放置在三维载物台上，启动第二射线管，第二射线管发出射线，并利用三维载物台实现待测物的三维移动，利用探测器进行探测，对待测物进行检测，实现ct检测功能；
18.解决了多层器件在传统x射线设备检测无法穿透或遮挡使得无法准确发现目标缺陷，解决了对于有外壳封装或底板的铝线键合线无法清晰成像的问题，便捷实现三维检测、分析，节省实验室占地空间，节约投资成本。
附图说明
19.图1为根据本实用新型实施例提供的综合式无损检测系统的结构示意图；
20.图2为根据本实用新型实施例提供的综合式无损检测系统的x射线检测时部分结构示意图；
21.图3为根据本实用新型实施例提供的综合式无损检测系统的ct检测时部分结构示意图；
22.图4为根据本实用新型实施例提供的综合式无损检测系统的图1中a-a处部分结构剖面示意图；
23.图5为根据本实用新型实施例提供的综合式无损检测系统的图1中b-b处部分结构剖面示意图；
24.图6为根据本实用新型实施例提供的综合式无损检测系统的电机部分结构侧视示意图。
25.图中：1、含铅外罩；2、含铅视窗；3、二维载物台；4、第一射线管；5、三维载物台；6、第二射线管；7、探测器；8、第一电动推杆；9、手柄；10、第二电动推杆；11、第一滑轨；12、第一滑块；13、第三电动推杆；14、第二滑轨；15、第二滑块；16、电机；17、连接杆。
具体实施方式
26.为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应
当属于本实用新型保护的范围。
27.需要说明的是，本实用新型的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本实用新型的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
28.在本实用新型中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本实用新型及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。
29.并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本实用新型中的具体含义。
30.另外，术语“多个”的含义应为两个以及两个以上。
31.需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
32.实施例1
33.请参阅图1-图6，本实用新型提供了一种综合式无损检测系统，包括含铅外罩1以及铰接于含铅外罩1侧部的含铅视窗2，含铅外罩1的内部安装有可上下移动的二维载物台3，二维载物台3的下部设置有可上下移动并与二维载物台3配合的第一射线管4，二维载物台3的下部设置有三维载物台5，含铅外罩1的内部安装有可左右移动并与三维载物台5配合的第二射线管6，含铅外罩1的内部安装有可90
°
移动的探测器7，探测器7处于高位时与第一射线管4配合，探测器7处于低位时与第二射线管6配合。
34.需要说明的是，第一射线管4的供电电压为160kv，系统放大倍率＞1700倍，最大承重10kg，可有效达到x射线检测的效果；第二射线管6的供电电压为240kv，可有效达到ct检测的效果，放大倍率＞2倍，最大承重20kg；
35.探测器7选用平板探测器，可良好的进行探测。
36.请参阅图1、图2和图3，在本实施例中，为了便于打开含铅外罩1，含铅外罩1的侧部安装有第一电动推杆8，第一电动推杆8的输出端与含铅视窗2相连，通过第一电动推杆8的运行，即可打开含铅视窗2，便于操作，并通过含铅视窗2便于观察检测情况。当然，在某些情况下，在含铅视窗2的侧部安装有手柄9，可人工利用手柄9打开含铅视窗2。
37.请参阅图1、图2、图3和图4，含铅外罩1的内部设置有第二电动推杆10，第二电动推杆10的输出端与第一射线管4相连；第二电动推杆10的侧部设置有第一滑轨11，第一滑轨11的侧部安装有第一滑块12，第一滑块12的侧部与第一射线管4相连，具体使用时，通过第二电动推杆10的运行，带动第一射线管4上下垂直移动，并利用第一滑轨11和第一滑块12的配合，实现导向。
38.请参阅图1、图2、图3和图5，含铅外罩1的内部安装有第三电动推杆13，第三电动推杆13的输出端与第二射线管6相连；含铅外罩1的侧部安装有第二滑轨14，第二滑轨14的侧
部安装有第二滑块15，第二滑块15的侧部与第二射线管6相连，具体使用时，通过第三电动推杆13的运行，带动第二射线管6左右水平移动，并利用第二滑轨14和第二滑块15的配合，实现导向。
39.请参阅图1、图2、图3和图6，在本实施例中，含铅外罩1的内部安装有电机16，电机16的输出端安装有连接杆17，探测器7安装于连接杆17的侧部，且连接杆17的断面呈z字型设置，具体使用时，通过电机16的运行带动连接杆17转动，连接杆17的转动带动探测器7转动，以分别配合第一射线管4和第二射线管。
40.具体的，该综合式无损检测系统的工作原理：使用时，应用x射线检测功能时，待测物放置在二维载物台3的上部，启动第一射线管4，第一射线管4发出射线，利用探测器7进行探测，对待测物进行检测，通过二维载物台3本身的上下移动，改变距第一射线管4与待测物的距离，改变放大倍率，实现细节的放大，达到良好的x射线检测功能；
41.应用ct检测时，使得二维载物台3处于高位并关闭，第一射线管4处于低位并关闭，将探测器7旋转移动至低位，将待测物放置在三维载物台5上，启动第二射线管6，第二射线管6发出射线，并利用三维载物台5实现待测物的三维移动，利用探测器进行探测，对待测物进行检测，实现ct检测功能；
42.解决了多层器件在传统x射线设备检测无法穿透或遮挡使得无法准确发现目标缺陷，解决了对于有外壳封装或底板的铝线键合线无法清晰成像的问题，便捷实现三维检测、分析，节省实验室占地空间，节约投资成本。
43.需要说明的是：二维载物台3、第一电动推杆8、第二电动推杆10、第三电动推杆13和电机16的型号规格需根据该装置的实际规格等进行选型确定，具体选型计算方法采用本领域现有技术，故不再详细赘述。
44.二维载物台3、第一电动推杆8、第二电动推杆10、第三电动推杆13和电机16其供电及其原理对本领域技术人员来说是清楚的，在此不予详细说明。
45.以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。