一种晶圆加工搬运手臂的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体为一种晶圆加工搬运手臂。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，是一种采用硅晶棒原料，在经过研磨、抛光、切片后形成的硅晶圆片，国内晶圆生产线主要以8英寸和12英寸为主。
3.晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时对单片或多片晶圆进行加工，在晶圆加工过程中，通常采用搬运手臂对晶圆片进行移动或搬运，从而将晶圆片搬运到涂胶、曝光、显影和刻蚀等工艺设备中进行加工。
4.现有的搬运手臂在对晶圆进行搬运时，易与晶圆之间产生较大的摩擦，导致晶圆的表面出现较多的划痕，从而影响晶圆的后续加工，另外，现有的搬运手臂对晶圆的固定效果较差，在搬运过程中晶圆易从搬运手臂上掉落，导致晶圆出现破损而影响使用。


技术实现要素：

5.(一)解决的技术问题
6.针对现有技术的不足，本实用新型公开了一种晶圆加工搬运手臂，以解决上述背景技术中提出的对晶圆的固定效果较差且易使晶圆出现磨损的问题。
7.(二)技术方案
8.为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种晶圆加工搬运手臂，包括：
9.手臂主体，所述手臂主体上且靠近左侧边缘处设置有一体成型的搬运盘，所述搬运盘上且靠近前后两侧边缘处开设有相互对称的滑槽；
10.固定组件，所述固定组件包括夹持机构和吸附机构，所述夹持机构包括前后对称的弧形夹块，所述弧形夹块设置在搬运盘的底部，所述弧形夹块的顶部设置有滑块，所述滑块与滑槽滑动连接；
11.所述吸附机构包括防护壳，所述防护壳安装在搬运盘上且靠近中心处，所述防护壳的顶部安装有抽气泵。
12.优选的，所述搬运盘的底部且靠近前侧边缘处设置有弧形槽，所述弧形槽的内侧设置有防护垫。
13.优选的，所述手臂主体上且靠近右侧边缘处设置有一体成型的固定环，所述固定环上开设有环形阵列分布的固定孔。
14.优选的，所述滑块的顶部设置有连接头，所述搬运盘的顶部且位于防护壳的前后两侧均设置有与连接头相连的拉簧。
15.优选的，所述连接头的右侧转动连接有弧形板，所述弧形板的右侧设置有推板，所述推板上且靠近中心处设有限位槽，所述手臂主体的顶部且位于限位槽的内侧设置有相互平行的限位块，所述推板的顶部且靠近右侧边缘处设置有推杆。
16.优选的，所述防护壳的内部为中空结构，所述防护壳的内部安装有与抽气泵相连的连接管，所述连接管的底部设置有若干均匀分布的抽气嘴，各个所述抽气嘴均贯穿防护壳的底部。
17.本实用新型公开了一种晶圆加工搬运手臂，其具备的有益效果如下：
18.1、该晶圆加工搬运手臂，通过设置有手臂主体、弧形夹块、拉簧和推板等，在对晶圆搬运时，向左推动推板，可使推板推动弧形板移动，并使弧形板逐渐张开，从而使弧形板推动弧形夹块向搬运盘的边缘移动，之后，搬运盘通过弧形槽与晶圆的右侧贴合，拉簧弹性作用可拉动弧形夹块移动，从而使弧形夹块对晶圆进行夹持固定，提高对晶圆的固定效果，避免晶圆掉落，同时，弧形槽和弧形夹块的内侧均设置有防护垫，通过防护垫可对晶圆的边缘或表面进行防护，从而避免晶圆的表面出现划痕而影响加工。
19.2、该晶圆加工搬运手臂，通过设置有防护壳、抽气泵和抽气嘴等，在进行搬运时，抽气泵运转可带动连接管内部的空气流动，连接管通过抽气嘴可对搬运盘的下方进行抽气，从而使抽气嘴对晶圆进行吸附固定，进一步提高对晶圆的固定效果。
附图说明
20.图1为本实用新型整体结构示意图之一；
21.图2为本实用新型整体结构示意图之二；
22.图3为本实用新型夹持机构结构示意图；
23.图4为本实用新型弧形夹块结构示意图；
24.图5为本实用新型防护壳结构示意图。
25.图中：1、手臂主体；11、搬运盘；111、弧形槽；12、滑槽；13、固定环；131、固定孔；2、弧形夹块；21、滑块；211、连接头；22、拉簧；23、弧形板；24、推板；241、限位槽；242、限位块；243、推杆；3、防护壳；31、抽气泵；32、连接管；33、抽气嘴。
具体实施方式
26.本实用新型实施例公开一种晶圆加工搬运手臂。
27.根据附图1所示，手臂主体1，手臂主体1上且靠近左侧边缘处设置有一体成型的搬运盘11，搬运盘11上且靠近前后两侧边缘处开设有相互对称的滑槽12；
28.固定组件，固定组件包括夹持机构和吸附机构，夹持机构包括前后对称的弧形夹块2，弧形夹块2设置在搬运盘11的底部，弧形夹块2的顶部设置有滑块21，滑块21与滑槽12滑动连接；
29.吸附机构包括防护壳3，防护壳3安装在搬运盘11上且靠近中心处，防护壳3的顶部安装有抽气泵31。
30.根据附图2所示，搬运盘11的底部且靠近前侧边缘处设置有弧形槽111，通过弧形槽111方便对晶圆进行定位，弧形槽111和弧形夹块2的均内侧设置有防护垫，通过防护垫可对晶圆的边缘或表面进行防护，从而避免晶圆的表面出现划痕而影响加工。
31.手臂主体1上且靠近右侧边缘处设置有一体成型的固定环13，固定环13上开设有环形阵列分布的固定孔131，通过固定环13和固定孔131可使用螺栓将手臂主体1安装在机械设备上使用。
32.根据附图3—4所示，滑块21的顶部设置有连接头211，搬运盘11的顶部且位于防护壳3的前后两侧均设置有与连接头211相连的拉簧22，拉簧22弹性作用可拉动滑块21向防护壳3的方向滑动，使弧形夹块2对晶圆进行夹持固定，从而防止晶圆搬运过程中晶圆掉落。
33.连接头211的右侧转动连接有弧形板23，弧形板23的右侧设置有推板24，两组弧形板23均与推板24转动连接，推板24上且靠近中心处设有限位槽241，手臂主体1的顶部且位于限位槽241的内侧设置有相互平行的限位块242，推板24通过限位槽241与限位块242滑动连接，通过限位块242可对推板24进行限制，从而方便推板24进行滑动；
34.推板24的顶部且靠近右侧边缘处设置有推杆243，通过推杆243可推动推板24移动，从而使推板24推动弧形板23移动，并使弧形板23逐渐张开，从而使弧形板23推动弧形夹块2向搬运盘11的边缘移动，方便弧形夹块2对晶圆进行夹持。
35.根据附图5所示，防护壳3的内部为中空结构，防护壳3的内部安装有与抽气泵31相连的连接管32，连接管32的底部设置有若干均匀分布的抽气嘴33，各个抽气嘴33均贯穿防护壳3的底部，在进行搬运时，抽气泵31运转可带动连接管32内部的空气流动，连接管32通过抽气嘴33可对搬运盘11的下方进行抽气，从而使抽气嘴33对晶圆进行吸附固定，进一步提高对晶圆的固定效果。
36.工作原理：在夹取晶圆时，首先，推动推杆243，使推杆243推动推板24移动，使推板24通过限位槽241在限位块242上滑动，同时，推板24的左侧带动弧形板23移动，弧形板23在推板24上转动并逐渐向外张开，使弧形板23在连接头211上转动，并推动连接头211移动，使连接头211带动滑块21在滑槽12上滑动，使滑块21带动弧形夹块2逐渐移动到搬运盘11的边缘；
37.在对晶圆进行搬运时，首先，移动手臂主体1带动搬运盘11移动，使弧形槽111与晶圆贴合，然后，松开推杆243，拉簧22弹性作用拉动连接头211移动，使滑块21在滑槽12上向防护壳3的一侧滑动，使滑块21带动弧形夹块2靠近晶圆，并使弧形夹块2将晶圆夹持固定，然后，通过手臂主体1对晶圆进行搬运，同时，使抽气泵31运转带动连接管32内部的空气流动，使连接管32通过抽气嘴33可对搬运盘11的下方进行抽气，进而使抽气嘴33对晶圆进行吸附固定，进一步提高对晶圆的固定效果，避免晶圆掉落而出现破损。
38.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。