剥离装置以及硬质基板剥离方法与流程

1.本技术涉及显示技术领域，具体涉及一种剥离装置以及硬质基板剥离方法。


背景技术：

2.近几年，柔性显示(flexible display)和可折叠显示(foldable display)技术发展迅猛，是国内外高校以及研究所关注的重点，也是显示企业、终端厂商等争相布局的关键技术。目前，柔性显示产品主要是采用s2s(sheet to sheet，片对片)生产工艺，以玻璃等硬质基板为载体，结合柔性衬底贴附取下或玻璃薄化等方法进行制备。其中，贴附取下是先将柔性衬底贴附在硬质基板上制备显示功能层，以形成柔性显示器件，即柔性显示器件包括依次层叠设置在硬质基板上的柔性衬底以及显示功能层，制备完柔性显示器件之后再剥离硬质基板，取出柔性显示器件。这种方法不影响显示器件的制作精度，且制作设备和工艺与制作传统的液晶显示器相仿，不必做太大的调整，因此短期内更接近于量产应用。另一种，玻璃薄化的方式对薄化工艺要求非常高，生产良率有待提高。
3.其中，贴附取下的工艺常采用激光剥离技术(laser lift-off,llo)，即利用激光直接作用在柔性衬底与硬质基板的界面处，通过高能激光破坏柔性衬底与硬质基板的结合力，从而使硬质基板和柔性显示器件分离。但是，由于激光扫描后柔性衬底与硬质基板的接触界面碳化产生许多微小颗粒，为了保持llo工作腔的洁净度，此时不适合将硬质基板剥离。然而，将已分离的柔性显示器件和硬质基板进行转移时，硬质基板和柔性显示器件易发生脱落或不可控的相对位移，导致产品良率下降。


技术实现要素：

4.本技术提供一种剥离装置以及硬质基板剥离方法，以解决现有技术中将硬质基板和柔性衬底已分离的柔性显示组件进行转移时，硬质基板和柔性衬底易发生脱落或不可控的相对位移，导致产品良率下降的技术问题。
5.本技术提供一种剥离装置，其在进行剥离工艺过程中，用于转移柔性显示组件，所述柔性显示组件包括依次叠层设置的硬质基板、柔性显示器件以及过程保护膜，所述过程保护膜包括贴合部和围绕所述贴合部设置的外延部，所述外延部自所述贴合部的边缘延伸至所述硬质基板的边缘外侧；
6.所述剥离装置包括：
7.旋转轴；以及
8.转移台，与所述旋转轴转动连接，所述转移台上设置有可伸缩的多个第一真空吸盘和多个第二真空吸盘，多个所述第一真空吸盘围绕多个所述第二真空吸盘设置；
9.其中，所述第一真空吸盘用于吸附所述外延部，所述第二真空吸盘用于吸附所述硬质基板。
10.可选的，在本技术一些实施例中，所述转移台包括第一抓取部和第二抓取部，所述第一抓取部与所述旋转轴连接，所述第二抓取部与所述第一抓取部连接；
11.其中，所述第一抓取部为中空的框架，所述第一抓取部围绕所述第二抓取部设置，所述第一真空吸盘设置在所述第一抓取部上，所述第二真空吸盘设置在所述第二抓取部上。
12.可选的，在本技术一些实施例中，多个所述第一真空吸盘等间距设置在所述第一抓取部上，多个所述第二真空吸盘等间距设置在所述第二抓取部上。
13.可选的，在本技术一些实施例中，相邻的所述第一真空吸盘之间的距离小于相邻的所述第二真空吸盘之间的距离。
14.可选的，在本技术一些实施例中，所述第一真空吸盘的吸附面积大于所述第二真空吸盘的吸附面积。
15.相应的，本技术还提供一种硬质基板剥离方法，其包括：
16.将柔性显示组件转移至第一剥离平台，所述柔性显示组件包括依次叠层设置的硬质基板、柔性显示器件以及过程保护膜，所述过程保护膜包括贴合部和围绕所述贴合部设置的外延部，所述外延部自所述贴合部的边缘延伸至所述硬质基板的边缘外侧；
17.通过激光剥离工艺将所述硬质基板与所述柔性显示器件分离；
18.利用本技术提供的任一所述剥离装置将所述柔性显示组件转移至第二剥离平台，其中，所述第一真空吸盘用于吸附所述外延部，所述第二真空吸盘用于吸附所述硬质基板；
19.将所述硬质基板从所述柔性显示器件上剥离。
20.可选的，在本技术一些实施例中，所述将柔性显示组件转移至第一剥离平台的步骤包括：
21.调整所述第一真空吸盘和所述第二真空吸盘的伸缩长度，使所述第一真空吸盘吸附所述外延部，和/或使所述第二真空吸盘吸附所述硬质基板，以将所述柔性显示组件转移至第一剥离平台；
22.开启所述第一剥离平台的真空系统，使所述第一剥离平台吸附所述过程保护膜。
23.可选的，在本技术一些实施例中，所述将所述柔性显示组件转移至第二剥离平台的步骤包括：
24.调整所述第一真空吸盘和所述第二真空吸盘的伸缩长度，使得所述第一真空吸盘吸附所述外延部，或者使得所述第一真空吸盘吸附所述外延部以及所述第二真空吸盘吸附所述硬质基板，以将所述柔性显示组件从所述第一剥离平台转移至第二剥离平台；
25.开启所述第二剥离平台的真空系统，使所述第二剥离平台吸附所述过程保护膜。
26.可选的，在本技术一些实施例中，所述将所述硬质基板从所述柔性显示器件上剥离的步骤包括：
27.调整所述第一真空吸盘的伸缩长度，使所述第一真空吸盘与所述外延部分离，所述第二真空吸盘继续吸附所述硬质基板；
28.转动所述旋转轴，由所述转移台的一侧朝另一侧抬升所述转移台，以使所述硬质基板从所述柔性显示器件上剥离。
29.可选的，在本技术一些实施例中，所述转动所述旋转轴，由所述转移台的一侧朝另一侧抬升所述转移台，以使所述硬质基板从所述柔性显示器件上剥离的步骤包括：
30.将所述旋转轴沿第一方向旋转1度至3度，以使所述转移台由所述转移台的一侧朝另一侧转动1度至3度，静置1秒到2秒；
31.继续将所述旋转轴沿所述第一方向旋转3度至5度，以使所述转移台继续由所述转移台的一侧朝另一侧转动3度至5度，静置1秒到2秒；
32.垂直抬升所述转移台，直至所述硬质基板从所述柔性显示器件上剥离。
33.本技术提供一种剥离装置以及硬质基板剥离方法，所述剥离装置在进行剥离工艺过程中，用于转移柔性显示组件。所述柔性显示组件包括依次叠层设置的硬质基板、柔性显示器件以及过程保护膜。过程保护膜包括贴合部和围绕贴合部设置的外延部，外延部自贴合部的边缘延伸至硬质基板的边缘外侧。所述剥离装置包括旋转轴以及与所述旋转轴转动连接的转移台。转移台上设置有可伸缩的第一真空吸盘和第二真空吸盘。利用本技术提供的剥离装置在进行剥离工艺过程中，用于转移柔性显示组件时，第一真空吸盘吸附过程保护膜的外延部，第二真空吸盘吸附硬质基板，能够避免硬质基板和柔性衬底在转移过程中发生脱落和相对移位，从而提高产品良率。
附图说明
34.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
35.图1是本技术提供的柔性显示组件的第一结构示意图；
36.图2是本技术提供的显示功能层的结构示意图；
37.图3是图1所示的柔性显示组件的俯视图；
38.图4是本技术提供的柔性显示组件的第二结构示意图；
39.图5是本技术提供的柔性显示组件的第三结构示意图；
40.图6是本技术提供的剥离装置的第一结构示意图；
41.图7是图6所示的剥离装置沿xx’处的剖面结构示意图；
42.图8是本技术提供的剥离装置的第二结构示意图；
43.图9是本技术提供的剥离装置的第三结构示意图；
44.图10是本技术提供的硬质基板剥离方法的流程示意图；
45.图11是本技术提供的柔性显示组件和第一剥离平台的结构示意图；
46.图12是本技术提供的剥离装置抓取柔性显示组件的第一结构示意图；
47.图13是本技术提供的剥离装置抓取柔性显示组件的第二结构示意图；
48.图14是本技术提供的激光分离硬质基板的示意图；
49.图15是本技术提供的柔性显示组件和第二剥离平台的结构示意图；
50.图16是本技术提供的剥离装置抓取硬质基板和柔性衬底已分离的柔性显示组件的结构示意图；
51.图17是本技术提供的剥离硬质基板的第一示意图；
52.图18是本技术提供的剥离硬质基板的第二示意图；
53.图19是本技术提供的去除过程保护膜的过程示意图。
54.附图标记说明：
55.10：柔性显示组件；11：硬质基板；12：柔性衬底；121：第一柔性层；122：缓冲层；
123：第二柔性层；13：显示功能层；131：阵列层；132：发光层；133：封装层；134：偏光片；14：过程保护膜；141：保护膜层；142：粘性胶层；14a：贴合部；14b：外延部；15：阻隔层；16：支撑层；20：剥离装置；21：旋转轴；22：转移台；221：第一抓取部；222：第二抓取部；23：第一真空吸盘；24：第二真空吸盘；25：连接部；l1：第一距离；l2：第二距离；30：第一剥离平台；40：第二剥离平台。
具体实施方式
56.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。此外，应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本技术，并不用于限制本技术。在本技术中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上”和“下”通常是指装置实际使用或工作状态下的上和下，具体为附图中的图面方向；而“内”和“外”则是针对装置的轮廓而言的。
57.请参阅图1，图1是本技术提供的柔性显示组件的第一结构示意图。柔性显示组件10包括硬质基板11、柔性显示器件以及过程保护膜14。柔性显示器件包括依次层叠设置的柔性衬底12以及显示功能层13。柔性衬底12设置于硬质基板11上。显示功能层13设置于柔性衬底12远离硬质基板11的一侧。过程保护膜14设置于显示功能层13远离硬质基板11的一侧。
58.在本技术中，硬质基板11可以是玻璃基板，但本技术并不限制于此。例如，硬质基板11也可以是硬质的树脂基板等。
59.在本技术中，柔性衬底采用的材料可以为聚酰亚胺(polyimide,pi)、聚乙烯(polyethylene,pe)、聚丙烯(polypropylene,pp)、聚苯乙烯(polystyrene,ps)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(polyethylene glycol terephthalate,pet)或聚萘二甲酸乙二醇酯(polyethylene naphthalate two formic acid glycol ester,pen)。具体的，柔性衬底12可以是单层的柔性聚酰亚胺膜层，以提高柔性显示组件10的柔韧性。
60.在本技术中，请同时参阅图2，图2是本技术提供的显示功能层的结构示意图。在本技术中，显示功能层13包括但不限于阵列层131、发光层132、封装层133以及偏光片134。
61.具体的，阵列层131可以包括沿远离硬质基板11的方向依次层叠设置于柔性衬底12上的有源层、栅极绝缘层和栅极层，覆盖有源层、栅极绝缘层和栅极层的层间介质层。其中，有源层包括沟道区以及位于沟道区两侧的源极区和漏极区。设置于层间介质层上的源极和漏极分别和源极区和漏极区电性连接。源极和漏极上还覆盖有钝化层。钝化层上设有电极，该电极通过开设于钝化层中的过孔与漏极电连接。需要说明的是，阵列层131的具体膜层结构在附图中未示出，但可以理解的是，阵列层131的结构及其具体设置均为本领域常用的技术手段，在此不再赘述。
62.此外，本技术不限制阵列层131中形成的薄膜晶体管的结构，薄膜晶体管可以为顶栅型薄膜晶体管，也可以为底栅型薄膜晶体管，可以为双栅极型薄膜晶体管，也可以为单栅极型薄膜晶体管。上述实施例仅是对阵列层131的说明，不能理解为对本技术的限定。
63.具体的，发光层132包括但不限于沿远离硬质基板11的方向层叠设置的空穴注入
层、空穴传输层、发光层、电子传输层及电子注入层。在一些实施例中，发光层132还可以包括空穴阻挡层和电子阻挡层。发光层132的具体膜层设置在附图中未示出。发光层132的膜层结构及其具体设置是本领域常用的技术手段，在此不再赘述。
64.具体的，封装层133通常包括交替层叠设置的至少一无机层和至少一有机层。无机层可以选自氧化铝、氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、碳化硅、氧化钛、氧化锆、氧化锌等无机材料，以阻水隔氧。有机层可以选自环氧树脂、聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚乙烯等有机材料，以提高柔性显示组件10的柔韧性。
65.在本技术中，过程保护膜14包括贴合部14a和围绕贴合部14a设置的外延部14b。贴合部14a与显示功能层13远离硬质基板11的一侧贴合，外延部14b自贴合部14a的边缘凸出至硬质基板11的边缘外侧设置。
66.具体的，请参阅图3，图3是本技术提供的图1所示的柔性显示组件的俯视图。需要说明的是，本技术以硬质基板11的尺寸等于柔性衬底12的尺寸为例进行说明，但不能理解为对本技术的限定。比如，在一些实施例中，硬质基板11的尺寸可以大于柔性衬底12的尺寸。
67.其中，过程保护膜14的尺寸大于硬质基板11的尺寸。外延部14b凸出至硬质基板11的边缘外侧的宽度d为10毫米至30毫米。比如，宽度d可以为10毫米、15毫米、20毫米、25毫米、30毫米等。
68.进一步的，请继续参阅图1，过程保护膜14包括保护膜层141和粘性胶层142。保护膜层141通过粘性胶层142与显示功能层13贴合。保护膜层141由聚酰亚胺、聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯或聚萘二甲酸乙二醇酯中的任一材料制成。因此，过程保护膜14的柔韧性较好，能够对显示功能层13起到保护和支撑的作用。保护膜层141的厚度为50微米至100微米。比如，保护膜层141的厚度可以为50微米、60微米、70微米、80微米、90微米、100微米等。粘性胶层142的材料通常为聚氨酯胶材。粘性胶层142的厚度为25微米至75微米。比如，粘性胶层142的厚度可以为25微米、35微米、50微米、60微米、75微米等。
69.需要说明的是，粘性胶层142和显示功能层13之间形成较弱的粘结力。该粘结力为3克力(gf)至5克力。其中，克力是力的单位。是指1克质量的物质所受到的重力的大小的单位。因此，粘性胶层142既能起到一定的粘附固定的作用，也能在工艺完成后轻易的去掉，且不留残胶不影响显示功能层13的性能。
70.在本技术提供的柔性显示组件10中，柔性显示器件包括柔性衬底12和显示功能层13。由于柔性显示器件刚性较弱，在硬质基板11上形成柔性显示器件，降低了工艺制程的难度。同时，过程保护膜14的尺寸大于柔性衬底12的尺寸，并贴附于显示功能层13远离柔性衬底12的一侧，从而具备良好的支撑和保护作用。
71.请参阅图4，图4是本技术提供的柔性显示组件的第二结构示意图。与图1所示的柔性显示组件10的不同之处在于，在本实施例中，柔性衬底12包括依次叠层设置于硬质基板11上的第一柔性层121、缓冲层122和第二柔性层123。
72.具体的，第一柔性层121和第二柔性层123可以由聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚乙烯等有机材料制成。第一柔性层121的厚度为6微米至15微米。比如，第一柔性层121的厚度为6微米、8微米、12微米、14微米、15微米等。第二柔性层123的厚度为6微米至15微米。比如，第二柔性层123的厚度为6微米、8微米、12微米、14微米、15微米等。缓冲
层122由无机材料制成。该无机材料可以是氧化铝、氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、碳化硅、氧化钛、氧化锆、氧化锌等，以提高柔性衬底12对水汽的阻隔作用。
73.请参阅图5，图5是本技术提供的柔性显示组件的第三结构示意图。与图4所示的柔性显示组件10的不同之处在于，在本实施例中，柔性显示组件10还包括阻隔层15。阻隔层15位于柔性衬底12和显示功能层13之间。
74.具体的，阻隔层15可以采用有机/无机交替结构或者无机/无机交替结构。阻隔层15具有阻水隔氧的作用，可以进一步起到保护作用。
75.请同时参阅图1和图6，图6是本技术提供的剥离装置的第一结构示意图。在本技术中，剥离装置20可用于转移上述任一项实施例所述的柔性显示组件10。剥离装置20包括旋转轴21和转移台22。转移台22与旋转轴21转动连接。旋转轴21带动转移台22转动。转移台22上设置有可伸缩的多个第一真空吸盘23和多个第二真空吸盘24。多个第一真空吸盘23围绕多个第二真空吸盘24设置。其中，第一真空吸盘23用于吸附外延部14b。第二真空吸盘24用于吸附硬质基板11。
76.其中，旋转轴21的形状以及尺寸可根据实际需求进行设定。此外，可通过外部机械装置控制旋转轴21转动，也可手动控制旋转轴21转动，此为本领域技术人员熟知的技术，在此不再赘述。
77.其中，转移台22与旋转轴21之间可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连；对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况进行设定。在本技术中，转移台22通过连接部25与旋转轴21固定连接，但不能理解为对本技术的限定。
78.请同时参阅图7，图7是图6所示的剥离装置沿xx’处的剖面结构示意图。可以理解的是，由于过程保护膜14的尺寸大于硬质基板11的尺寸，且过程保护膜14的外延部14b凸出至硬质基板11的边缘外侧设置。因此，将多个第一真空吸盘23围绕多个第二真空吸盘24设置，然后通过调整第一真空吸盘23和第二真空吸盘24的伸缩长度，使得第一真空吸盘23的伸缩长度大于第二真空吸盘24的伸缩长度。则可实现第一真空吸盘23和第二真空吸盘24分别吸附外延部14b以及硬质基板11。基于此，过程保护膜14作为柔性显示器件的载体能确保搬运过程中柔性显示器件不会脱落和相对移位，从而平稳地转移柔性显示组件10。
79.需要说明的是，转移台22上可设置控制第一真空吸盘23和第二真空吸盘24伸缩的控制镙钮或其他升降控制器件(图中未标示)，以调节第一真空吸盘23和第二真空吸盘24的伸缩长度。此外，可通过将第一真空吸盘23和第二真空吸盘24的另一端与抽真空装置连接，以实现第一真空吸盘23和第二真空吸盘24分别吸附过程保护膜14和硬质基板11的功能。此为本领域技术人员熟知的技术，在此不再赘述。
80.在本技术中，相邻的第一真空吸盘23之间的第一距离l1小于相邻的第二真空吸盘24之间的第二距离l2。可以理解的是，由于硬质基板11的刚性大于过程保护膜14的刚性，第二真空吸盘24易于吸附硬质基板11。因此，通过设置相邻的第一真空吸盘23之间的第一距离l1小于相邻的第二真空吸盘24之间的第二距离l2，可以增加第一真空吸盘23对过程保护膜14的吸附力，避免在转移的过程中，过程保护膜14脱落。同时，减少第二真空吸盘24的数量，降低生产成本。
81.其中，第一距离l1和第二距离l2的具体数值可根据实际需求进行设定，本技术对
此不做具体限定。
82.进一步的，在一些实施例中，第一真空吸盘23的吸附面积大于第二真空吸盘24的吸附面积。同理，通过增大第一真空吸盘23的吸附面积，可以增加第一真空吸盘23对过程保护膜14的吸附力，避免在转移的过程中，过程保护膜14脱落。具体的，第一真空吸盘23和第二真空吸盘24的吸附面积取决于第一真空吸盘23和第二真空吸盘24开口大小。第一真空吸盘23和第二真空吸盘24的开口可以呈圆形、方形等。第一真空吸盘23和第二真空吸盘24的开口大小可根据过程吸附力的需求进行设定。
83.此外，在本技术中，转移台22的平面形状可以是矩形、菱形或者其他不规则图案，本技术对此不作具体限定。
84.比如，在一些实施例中，请参阅图8，图8是本技术提供的剥离装置的第二结构示意图。与图6所示的剥离装置20的不同之处在于，在本实施例中，转移台22包括第一抓取部221和第二抓取部222。第一抓取部221与旋转轴21连接。第二抓取部222与第一抓取部221连接。第一抓取部221为中空的框架。第一抓取部221围绕第二抓取部222设置。第一真空吸盘23设置在第一抓取部221上。第二真空吸盘24设置在第二抓取部222上。
85.需要说明的是，在满足多个第一真空吸盘23围绕多个真空吸盘24设置的基础上，第二抓取部222可以设置为任意形状。具体的，在本实施例中，第二抓取部222包括并排设置的两部分，用以分别吸附硬质基板11的两端。
86.本实施例通过将第一抓取部221设置为中空的框架，可以减轻剥离装置20的重量以及减少工艺耗材。
87.进一步的，多个第一真空吸盘23等间距设置在第一抓取部221上，多个第二真空吸盘24等间距设置在第二抓取部222上。从而提高第一真空吸盘23和第二真空吸盘24的吸附均一性，提高转移过程的稳定性。
88.具体的，多个第一真空吸盘23可以在第一抓取部221上排成一列或多列。多个第二真空吸盘24可以在第二抓取部222上排成一列或多列。相邻第一真空吸盘23之间的距离可根据第一真空吸盘23对过程保护膜14的吸附能力进行设置。可以理解的是，第一真空吸盘23之间的距离越小，第一真空吸盘23的分布密度越大，则对过程保护膜14的吸附能力越强。第二真空吸盘24亦然，在此不再赘述。
89.在另一些实施例中，请参阅图9，图9是本技术提供的剥离装置的第三结构示意图。与图8所示的剥离装置20的不同之处在于，在本实施例中，第二抓取部222也为中空的框架。可以理解的是，当柔性显示组件10的尺寸较大时，硬质基板11的重量增加。为了提高转移的可靠性，需要增大剥离装置20对柔性显示组件10的吸附力。因此，通过将第二抓取部222设置为中空的框架，并在其上设置第二真空吸盘24，使得第二真空吸盘24可以吸附硬质基板11的周侧，提高吸附的稳定性。
90.相应的，本技术还提供一种硬质基板剥离方法。具体的，请参阅图10，图10是本技术提供的硬质基板剥离方法的流程示意图。该硬质基板剥离方法具体包括以下步骤：
91.101、将柔性显示组件转移至第一剥离平台，所述柔性显示组件包括依次叠层设置的硬质基板、柔性显示器件以及过程保护膜，所述过程保护膜包括贴合部和围绕所述贴合部设置的外延部，所述外延部自所述贴合部的边缘延伸至所述硬质基板的边缘外侧。柔性显示器件包括依次层叠设置在硬质基板上的柔性衬底以及显示功能层。
92.具体的，如图11所示，柔性显示组件10为本技术中任一实施例所述的柔性显示组件10，在此不再赘述。附图中的柔性显示组件10仅为说明本技术的硬质基板剥离方法，不能理解为对本技术的限定。
93.其中，第一剥离平台30为激光剥离平台，用于进行激光剥离操作。激光剥离平台为本领域技术人员熟知的技术，在此不再赘述。
94.此时的硬质基板11和柔性衬底12之间还未分离。因此，可通过本领域的常规技术手段将柔性显示组件10转移至第一剥离平台30。比如，通过机械手臂等工具将柔性显示组件10转移至第一剥离平台30。
95.当然，在本技术其它实施例中，可通过本技术提供的剥离装置将柔性显示组件10转移至第一剥离平台30。则将柔性显示组件10转移至第一剥离平台30包括以下步骤：
96.1011、控制所述第一真空吸盘和所述第二真空吸盘的伸缩长度，使所述第一真空吸盘吸附所述外延部，和/或使所述第二真空吸盘吸附所述硬质基板，以将所述柔性显示组件转移至第一剥离平台。
97.具体的，如图12所示，在本技术一实施例中，通过控制镙钮或其他升降控制器件控制第一真空吸盘23和第二真空吸盘24的伸缩长度，使第一真空吸盘23吸附外延部14b，第二真空吸盘24与硬质基板11分离。
98.可以理解的是，由于此时的硬质基板11与柔性衬底12之间未分离，贴合较稳固，因此仅通过第一真空吸盘23吸附外延部14b，即可将柔性显示组件10进行稳定转移。同时，减少了第二真空吸盘24工作所需的功耗。
99.具体的，如图13所示，在本技术另一实施例中，通过控制镙钮或其他升降控制器件控制第一真空吸盘23和第二真空吸盘24的伸缩长度，使第一真空吸盘23与外延部14b分离，第二真空吸盘24吸附硬质基板11。
100.同理，由于此时的硬质基板11与柔性衬底12之间未分离，贴合较稳固，因此仅通过第二真空吸盘24吸附硬质基板11，即可将柔性显示组件10进行稳定转移。同时，减少了第一真空吸盘23工作所需的功耗。
101.当然在本技术其它实施例中，当柔性显示组件10的尺寸较大时，为了提高转移的可靠性，可以同时使第一真空吸盘23吸附外延部14b，第二真空吸盘24吸附硬质基板11，在此不再赘述。
102.1012、开启所述第一剥离平台的真空系统，使所述第一剥离平台吸附所述过程保护膜。
103.具体的，请继续参阅图11，在将柔性显示组件10转移至第一剥离平台30之后，过程保护膜14与第一剥离平台30贴合。此时，开启第一剥离平台30的真空系统，第一剥离平台30将过程保护膜14牢牢吸附。由于过程保护膜14具备良好的柔韧性和支撑性，能确保第一剥离平台30的真空度不会传导至显示功能层13，从而避免显示功能层13靠近第一剥离平台30的一面留下吸附痕迹；也能保证将柔性显示组件10完全展开成水平，不影响后续步骤中激光焦平面的调节。
104.需要说明的是，第一剥离平台30具有真空系统，此为本领域技术人员熟知的技术，在此不再赘述。
105.102、通过激光剥离工艺将所述硬质基板与所述柔性显示器件分离。
106.具体的，如图14所示，利用高能准分子激光器在硬质基板11远离柔性衬底12的一侧照射激光。将激光照射的方向调整为垂直于柔性衬底12。激光穿透硬质基板11聚焦至柔性衬底12与硬质基板11的界面处，对柔性衬底12整体进行扫描。由于柔性衬底12由聚酰亚胺等有机材料形成，聚酰亚胺材料吸收激光能量，柔性衬底12与硬质基板11之间的键能被破坏。聚酰亚胺材料本身发生分解、碳化，并伴随着少量气体的释放，从而使得柔性衬底12与硬质基板11之间形成完全分离状态。
107.其中，激光的功率可根据实际需求进行设定。
108.103、利用剥离装置将所述柔性显示组件转移至第二剥离平台，其中，所述第一真空吸盘用于吸附所述外延部，所述第二真空吸盘用于吸附所述硬质基板。
109.具体的，如图15所示，第二剥离平台40为膜层剥离平台。可以理解的是，由于激光扫描后，柔性衬底12与硬质基板11的接触界面碳化产生许多微小颗粒。为了保持llo工作腔的洁净度，此时并不适合将硬质基板11从柔性衬底12上剥离。因此，需要将硬质基板11和柔性衬底12已分离的柔性显示组件10转移至第二剥离平台40，再进行硬质基板11的剥离。
110.具体的，步骤103包括以下步骤：
111.1031、调整所述第一真空吸盘和所述第二真空吸盘的伸缩长度，使得所述第一真空吸盘吸附所述外延部，或者使得所述第一真空吸盘吸附所述外延部以及所述第二真空吸盘吸附所述硬质基板，以将所述柔性显示组件从所述第一剥离平台转移至第二剥离平台。
112.具体的，在一些实施例中，如图16所示，通过控制镙钮或其他升降控制器件控制第一真空吸盘23和第二真空吸盘24的伸缩长度，使第一真空吸盘23吸附外延部14b，第二真空吸盘24吸附硬质基板11。然后，将柔性显示组件10从第一剥离平台30转移至第二剥离平台40。
113.在转移过程中，过程保护膜14作为载体将显示功能层13和硬质基板11向上托起，使得硬质基板11在转移过程中不脱落；同时，过程保护膜14的弱粘性将显示功能层13整面固定，转移过程中过程保护膜14、显示功能层13以及硬质基板11均不会发生相对位移。
114.此外，由于硬质基板11的刚性大于过程保护膜14的刚性，硬质基板11更易于被吸附。因此，在转移过程中，可设置第一真空吸盘23的真空流量大于第二真空吸盘24的真空流量，使得过程保护膜14和硬质基板11都能被均匀吸附，提高转移的稳定性。
115.当然，在其它实施例中，当柔性显示组件10的尺寸较小时，通过控制镙钮或其他升降控制器件控制第一真空吸盘23和第二真空吸盘24的伸缩长度，使第一真空吸盘23吸附外延部14b，第二真空吸盘24与硬质基板11分离，也可实现柔性显示组件10的转移。过程保护膜14作为载体将显示功能层13和硬质基板11向上托起，也可避免硬质基板11在转移过程中不脱落。
116.1032、开启所述第二剥离平台的真空系统，使所述第二剥离平台吸附所述过程保护膜。
117.具体的，请继续参阅图15，在将柔性显示组件10转移至第二剥离平台40之后，过程保护膜14与第二剥离平台40贴合。此时，开启第二剥离平台40的真空系统，第二剥离平台40将过程保护膜14牢牢吸附。由于过程保护膜14具备良好的柔韧性和支撑性，能确保第二剥离平台40的真空度不会传导至显示功能层13，从而避免显示功能层13靠近第二剥离平台40的一面留下吸附痕迹。同时，将柔性显示组件10固定后，便于后续剥离硬质基板11。
118.需要说明的是，第二剥离平台40具有真空系统，此为本领域技术人员熟知的技术，在此不再赘述。
119.104、将所述硬质基板从所述柔性显示器件上剥离。
120.具体的，如图17和图18所示，步骤104包括以下步骤：
121.1041、调整所述第一真空吸盘的伸缩长度，使所述第一真空吸盘与所述外延部分离，所述第二真空吸盘继续吸附所述硬质基板。
122.具体的，通过控制镙钮或其他升降控制器件控制第一真空吸盘23和第二真空吸盘24的伸缩长度，使第一真空吸盘23与外延部14b分离，第二真空吸盘24继续吸附硬质基板11。
123.1042、转动所述旋转轴，由所述转移台的一侧朝另一侧抬升所述转移台，以使所述硬质基板从所述柔性衬底上剥离。
124.具体的，将旋转轴21沿第一方向旋转1度至3度，带动转移台22由转移台22的一侧朝另一侧转动1度至3度。静置1秒到2秒。此时，由于转移台22上的第二真空吸盘24吸附硬质基板11。因此，硬质基板11的一侧沿第一方向翘起1度至3度的开口a。继续将旋转轴21沿第一方向旋转3度至5度，带动转移台22继续由转移台22的一侧朝另一侧转动3度至5度。静置1秒到2秒。此时，硬质基板11的一侧沿第一方向翘起更大的开口a。最后，垂直抬升剥离装置20，直硬质基板11从柔性衬底12上剥离。
125.其中，第一方向为图中所示的顺时针方向。当然，在其它实施例中，第一方向也可以是逆时针方向。
126.此外，在去除硬质基板11后，还需要将过程保护膜14去除，以得到柔性显示器件。具体的，请参阅图19，图19是去除过程保护膜的过程示意图。去除过程保护膜14的步骤为：首先，在柔性衬底12远离过程保护膜的一侧贴附支撑层16。然后，将过程保护膜14从显示功能层13上剥离。
127.其中，支撑层16的材料可以是聚酰亚胺薄膜材料、涤纶树脂材料、钢片、因瓦合金、铜片或铝片中的任一种。支撑层16可通过光学丙烯酸压敏胶亚克力胶与柔性衬底12贴合，以起到支撑保护的作用。
128.由于显示功能层13和与过程保护膜14之间的粘结力小于显示功能层13与支撑层16之间的粘结力，因此易实现过程保护膜14的剥离。在过程保护膜14从显示功能层13上剥离之后，柔性显示器件包括支撑层16、柔性衬底12、以及显示功能层13。柔性显示器件可以是一种柔性显示面板，也可以是一种柔性oled(organic light-emitting diode,有机发光二极管)显示面板或者amoled(active-matrix organic light-emitting diode,有源矩阵有机发光二极管)显示面板，本技术对此不作具体限定。
129.本技术提供一种硬质基板剥离方法，在实施该硬质基板剥离方法的过程中，利用本技术提供的剥离装置在进行剥离工艺过程中，用于转移柔性显示组件时，第一真空吸盘吸附过程保护膜的外延部，第二真空吸盘吸附硬质基板，在转移过程中，过程保护膜作为载体将显示功能层和硬质基板向上托起，使得硬质基板在转移过程中不脱落；同时，过程保护膜的弱粘性将显示功能层整面固定，转移过程中过程保护膜、柔性显示器件(包括依次层叠设置在硬质基板上的柔性衬底以及显示功能层)以及硬质基板均不会发生相对位移，从而提高产品良率。
130.以上对本技术提供剥离装置以及硬质基板剥离方法进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本技术的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本技术的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本技术的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本技术的限制。