低压化学气相沉积的进气结构及气相沉积设备的制作方法

技术特征：
1.一种低压化学气相沉积的进气结构，其特征在于，所述进气结构包括炉管和环形进气管，所述炉管包括炉口和炉尾，其中，所述炉口与所述炉尾沿所述炉管的轴向相对设置，至少两个所述环形进气管均匀设置于所述炉管内、各所述环形进气管的轴向与所述炉管的轴向同向，所述环形进气管上沿周向设置进气口，所述进气口朝所述炉管内壁设置。2.根据权利要求1所述的低压化学气相沉积的进气结构，其特征在于，所述进气结构还包括直通管，所述直通管至少部分设置于所述炉管内、且在所述炉管内的部分与所述环形进气管连通，所述直通管位于所述炉管外的部分与进气源连通。3.根据权利要求2所述的低压化学气相沉积的进气结构，其特征在于，所述直通管沿所述炉口至所述炉尾的方向延伸设置，所述直通管包括第一直通管和第二直通管，所述第一直通管从所述炉口侧进气并连通所述环形进气管，所述第二直通管从所述炉尾侧进气并连接所述环形进气管。4.根据权利要求3所述的低压化学气相沉积的进气结构，其特征在于，所述第一直通管与所有所述环形进气管连通，所述第二直通管与所有所述环形进气管连通；或所述第一直通管与靠近所述炉口的所述环形进气管连通，所述第二直通管与靠近所述炉尾的所述环形进气管连通。5.根据权利要求2所述的低压化学气相沉积的进气结构，其特征在于，所述炉管还包括连接件，所述连接件将所述直通管与所述环形进气管连接。6.根据权利要求1所述的低压化学气相沉积的进气结构，其特征在于，所述环形进气管上的所述进气口沿重心线轴对称分布，所述进气口之间呈120
°
夹角。7.根据权利要求2所述的低压化学气相沉积的进气结构，其特征在于，所述环形进气管和/或所述直通管由碳化硅高温陶瓷材料制成。8.一种气相沉积设备，其特征在于，包括如权利要求1-7任一项所述的低压化学气相沉积的进气结构。9.根据权利要求8所述的气相沉积设备，其特征在于，所述气相沉积设备内具有硅片设置区，所述环形进气管设置于所述硅片设置区的周围。

技术总结
本实用新型公开一种低压化学气相沉积的进气结构及气相沉积设备，属于低压化学气相沉积技术领域。所述进气结构包括炉管和环形进气管，所述炉管包括炉口和炉尾，其中，所述炉口与所述炉尾沿所述炉管的轴向相对设置，至少两个所述环形进气管均匀设置于所述炉管内、各所述环形进气管的轴向与所述所述炉管的轴向同向，所述环形进气管上沿周向均匀设置进气口，所述进气口朝向所述炉管内壁设置。由于至少两个环形进气管均匀设置于炉管内，环形进气管上沿周向设置进气口，因此借助进气口可以朝炉管内均匀输入反应气体。相对现有技术，本实用新型中炉管内的反应气体浓度更均匀，可以提高硅片上的沉积厚度的均匀性。的沉积厚度的均匀性。的沉积厚度的均匀性。


技术研发人员：刘倩 郁寅珑 付少剑 王钰 王泊温
受保护的技术使用者：滁州捷泰新能源科技有限公司
技术研发日：2022.08.29
技术公布日：2022/12/27