晶圆运输盒的制作方法

技术特征：
1.一种晶圆运输盒，包括：下部壳体(200)，包括底板(201)和一个以上的下部挡边(210)，所述一个以上的下部挡边(210)垂直形成于所述底板(201)的上表面以形成弧形的壁，从而在内部空间(a)中堆叠晶圆；及上部壳体(100)，包括顶板(101)和上部挡边(110)，所述上部挡边(110)垂直形成于所述顶板(101)的下表面以形成弧形的壁，其中，所述下部挡边(210)以预定间隔包括朝向内侧面的一个以上的突出部件(215)，当所述上部壳体(100)与下部壳体(200)结合时，所述突出部件(215)固定堆叠在所述内部空间(a)中的晶圆。2.根据权利要求1所述的晶圆运输盒，其中，所述下部壳体(200)在底板(201)的上表面的每个边角处包括与所述上部壳体(100)结合时进行结合固定的一个以上的闩锁(250)，所述上部壳体(100)在顶板(101)的每个边角处的对应于所述闩锁(250)的位置上包括结合固定所述闩锁的一个以上的闩锁孔(150)。3.根据权利要求2所述的晶圆运输盒，其中，所述闩锁(250)包括：第一闩锁部件(252)，在所述底板(201)上位于所述下部挡边(210)的外侧，并在所述底板(210)的上表面形成有底部；第二闩锁部件(251)，在所述第一闩锁部件(252)沿垂直方向形成为与所述下部挡边(210)相面对；及第三闩锁部件(253)，向所述第二闩锁部件(251)的内侧面突出，其中，在所述上部壳体(100)与下部壳体(200)结合时，所述第三闩锁部件(253)固定结合于所述闩锁孔(150)。4.根据权利要求3所述的晶圆运输盒，其中，所述下部壳体(200)还包括：支撑部件(220)，支撑所述下部挡边(210)，其中，所述支撑部件(220)布置于所述闩锁(250)与所述下部挡边(210)之间，并且在所述下部挡边(210)的下端部沿着所述下部挡边(210)形成弧形。5.根据权利要求1所述的晶圆运输盒，其中，所述下部挡边(210)具有0.5
°
～3.0
°
的拔模斜度，所述突出部件(215)结合的部分具有0
°
的拔模斜度。6.根据权利要求5所述的晶圆运输盒，其中，所述下部挡边(210)具有0.5
°
～1.0
°
的拔模斜度。

技术总结
本发明提供晶圆运输盒，其特征在于，包括：下部壳体(200)，包括底板(201)和一个以上的下部挡边(210)，所述一个以上的下部挡边(210)垂直形成于所述底板(201)的上表面以形成弧形的壁而在内部空间(A)中堆叠晶圆；及上部壳体(100)，包括顶板(101)和上部挡边(110)，所述上部挡边(110)垂直形成于所述顶板(101)的下表面以形成弧形的壁，所述下部挡边(210)以预定间隔包括朝向内侧面的一个以上的突出部件(215)，当所述上部壳体(100)与下部壳体(200)结合时，所述突出部件(215)固定堆叠在所述内部空间(A)中的晶圆。根据本发明，可以提供为了使在移动晶圆时产生的振动和冲击等均匀地维持最小而具有固定堆叠晶圆的固定手段的晶圆运输盒。运输盒。运输盒。


技术研发人员：金相振
受保护的技术使用者：3S韩国株式会社
技术研发日：2022.07.20
技术公布日：2023/3/10