晶圆运输盒的制作方法

1.本发明涉及一种晶圆运输盒，尤其涉及一种为了使在移动晶圆时产生的振动和冲击等均匀地维持在最小而具有固定堆叠晶圆的固定手段的晶圆运输盒。


背景技术：

2.通常，晶圆(wafer)是制作半导体元件的高精密产品，在搬运及保管时必须收纳于单独制作的保管容器内，从而防止灰尘或各种有机物的粘附，并保护晶圆免受外部冲击。
3.晶圆以堆叠结构收纳于运输盒中，晶圆运输盒安全地收纳堆叠的多个晶圆。此时，需要一种能够使晶圆运输盒中堆叠的晶圆在移动时产生的振动、冲击等最小化的方法。
4.对此，作为现有技术，提出了韩国公开专利2002-81929号。该技术由具有圆柱形侧壁的下部容器和容纳下部容器的圆柱形侧壁上端部的圆形凹槽以及具有向下方延伸以覆盖下部容器的容器壁体的下部容器构成。
5.根据这种晶圆保管容器，首先在下部容器的圆筒内径中铺设缓冲材料，并在其上堆叠多个晶圆。此时，在晶圆和晶圆之间插入衬纸(insert)，从而防止晶圆之间的直接接触。并且当完成晶圆的堆叠时，在最上层的晶圆上再次覆盖缓冲材料，然后用上部容器覆盖下部容器而使其密封。最后，用胶带固定下部容器和上部容器。
6.但是，这种现有的晶圆保管容器存在需要用胶带将下部容器和上部容器一一固定的不便之处。此外，现有的晶圆保管容器具有无法多层堆叠的缺点。即，在保管及搬运保管晶圆的保管容器时，通常将所述保管容器堆叠成多层来保管或搬运。但是，现有的保管容器构成为难以进行多层堆叠，从而在堆叠为多层的情况下，存在堆叠的保管容器翻倒而散乱的缺点。
7.对此，作为另一现有技术，在韩国授权实用新型第20-0342507号中公开了另一种方式的保管容器。
8.该保管容器包括：下部容器，具有侧面的至少一部分被切取而开口的圆柱形的晶圆收容室；上部容器，与所述下部容器结合以覆盖所述收容室；紧固部，与所述上部容器和/或所述下部容器一体地形成，通过挂接结合而紧固，以保持所述上部容器与所述下部容器相互结合的状态，其中，所述上部容器的上表面和所述下部容器的下表面形成为当各自的至少一部分彼此相对时具有形状相匹配的板面轮廓。
9.此外，所述紧固部包括与所述下部容器和所述上部容器中的任意一个一体地形成的挂钩部，并且在所述下部容器和所述上部容器中的另一个形成有供所述挂钩部插入并挂接的挂接孔。
10.但是，这种保管容器也难以安全地保护收纳晶圆的收纳室，此外，在堆叠收纳晶圆时，存在晶圆可能因主体摇晃而损坏的风险。
11.[现有技术文献]
[0012]
[专利文献]
[0013]
(专利文献0001)韩国公开专利第2002-81929号
[0014]
(专利文献0002)注册实用新型第20-0342507号


技术实现要素：

[0015]
本发明的目的在于，提供一种为了使在移动晶圆时产生的振动和冲击等均匀地维持在最小而具有固定堆叠晶圆的固定手段的晶圆运输盒。
[0016]
为了实现所述课题，根据本发明的晶圆运输盒，其特征在于，包括：下部壳体200，包括底板201和一个以上的下部挡边210，所述一个以上的下部挡边210垂直形成于所述底板201的上表面以形成弧形壁，从而在内部空间a中堆叠晶圆；及上部壳体100，包括顶板101和上部挡边110，所述上部挡边110垂直形成于所述顶板101的下表面以形成弧形壁的上部挡边110，其中，所述下部挡边210以预定间隔包括朝向内侧面的一个以上的突出部件215，当所述上部壳体100与下部壳体200结合时，所述突出部件215固定堆叠在所述内部空间a中的晶圆。
[0017]
在此，尤其是其特征在于，所述下部壳体200在底板201的上表面的每个边角处包括与所述上部壳体100结合时进行结合固定的一个以上的闩锁250，所述上部壳体100在顶板101的每个边角处的对应于所述闩锁250的位置上包括结合固定所述闩锁的一个以上的闩锁孔150。
[0018]
在此，尤其是其特征在于，所述闩锁250包括：第一闩锁部件252，在所述底板201上位于所述下部挡边210的外侧，并在所述底板210的上表面形成有底部；第二闩锁部件251，在所述第一闩锁部件252沿垂直方向形成为与所述下部挡边210相面对；及第三闩锁部件253，向所述第二闩锁部件251的内侧面突出，其中，在所述上部壳体100与下部壳体200结合时，所述第三闩锁部件253固定结合于所述闩锁孔150。
[0019]
在此，尤其是其特征在于，所述下部壳体200还包括支撑部件220，支撑所述下部挡边210，其中，所述支撑部件220布置于所述闩锁250与所述下部挡边210之间，并且在所述下部挡边210的下端部沿着所述下部挡边210形成弧形从而固定支撑所述下部挡边210。
[0020]
在此，尤其是其特征在于，所述下部挡边210具有0.5
°
～3.0
°
的拔模斜度，所述突出部件215结合的部分具有0
°
的拔模斜度。
[0021]
在此，尤其是其特征在于，所述下部挡边210具有0.5
°
～1.0
°
的拔模斜度。
[0022]
根据本发明，可以提供一种为了使在移动晶圆时产生的振动和冲击等均匀地维持在最小而具有固定堆叠晶圆的固定手段的晶圆运输盒。
附图说明
[0023]
图1是示意性地示出根据本发明的一实施例的晶圆运输盒的整体结构的图。
[0024]
图2是示出图1的部分剖面的图。
[0025]
图3是示出下部壳体的结构的图。
[0026]
图4是示出图3的部分剖面的图。
[0027]
附图标记说明：
[0028]
100：上部壳体
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101：顶板
[0029]
110：上部挡边
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115：固定部件
[0030]
150：闩锁孔
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200：下部壳体
[0031]
201：底板
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210：下部挡边
[0032]
215：突出部件
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220：支撑部件
[0033]
250：闩锁
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251：第二闩锁部件
[0034]
252：第一闩锁部件
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253：第三闩锁部件
具体实施方式
[0035]
本发明可以进行多种变更，并具有多种实施例，因此在附图上举例说明特定实施例，并由此进行详细说明。然而，这并不旨在将本发明限定于特定的实施形态，而应理解为包括在本发明思想和技术范围内的所有变更、等同物乃至替代物。
[0036]
在说明本发明的过程中，当判断为对相关公知技术的具体说明有可能会不必要地混淆本发明的要旨时，则省略其详细说明。此外，在本说明书的说明过程中使用的数字(例如，第一、第二等)只是用于区分一个构成要素与其他构成要素的识别符号。
[0037]
此外，在本说明书中，当提及一构成要素与另一构成要素“连接”或“接触”等时，所述一构成要素可与所述另一构成要素直接连接或直接接触，但只要不存在特别相反的记载，则应理解为也可以在中间介入其他构成要素进行连接或接触。
[0038]
以下，参照附图来详细说明本发明的优选实施例。
[0039]
图1是示意性地示出根据本发明的一实施例的晶圆运输盒的整体结构的图。
[0040]
图2是示出图1的部分剖面的图。
[0041]
图3是示出下部壳体的结构的图。
[0042]
图4是示出图3的部分剖面的图。
[0043]
参照图1至图4，根据本发明的晶圆运输盒包括上部壳体100及下部壳体200，并在内部堆叠保管晶圆。
[0044]
所述上部壳体100包括顶板101和垂直形成于所述顶板101的下表面以形成弧形的壁的上部挡边110。
[0045]
所述上部壳体100具有360
°
的弧并形成为一个，但可以如下部壳体200一样形成为多个，并且其个数不受限制。
[0046]
所述下部壳体200包括底板201和一个以上的下部挡边210，所述一个以上的下部挡边210垂直形成于所述底板201的上表面以形成弧形的壁，从而在内部空间a中堆叠晶圆下部挡边210，如图1至图4所示，所述下部挡边210可以形成为两个，但其个数不受限制。
[0047]
所述上部壳体100与下部壳体200结合，从而在内部堆叠保管晶圆，所述上部挡边110与下部挡边210具有相同的纵向长度，当所述上部壳体100与下部壳体200结合时，所述上部挡边110以布置于所述下部挡边210的外侧的方式结合。
[0048]
所述下部壳体200可以在底板201的上表面的每个边角处包括在与所述上部壳体100结合时进行结合固定的一个以上的闩锁250，所述上部壳体100可以在顶板101的每个边角处的对应于所述闩锁250的位置上包括结合固定所述闩锁的一个以上的闩锁孔150。
[0049]
所述闩锁250和闩锁孔150彼此结合，优选地形成为相同的个数。
[0050]
所述闩锁250可以包括：第一闩锁部件252，在所述底板201位于所述下部挡边210的外侧，并且在所述底板210的上表面形成底部；第二闩锁部件251，在所述第一闩锁部件252沿垂直方向形成为与所述下部挡边210相面对；及第三闩锁部件253，向所述第二闩锁部
件251的内侧面突出，其中，在所述上部壳体100与下部壳体200结合时，所述第三闩锁部件253固定结合于所述闩锁孔150。
[0051]
所述下部壳体200还可以包括支撑所述下部挡边210的支撑部件。
[0052]
所述支撑部件220布置于所述闩锁250与下部挡边210之间，并且可以在所述下部挡边210的下端部沿着所述下部挡边210形成弧形。
[0053]
作为一实施例，所述支撑部件220可以形成为具有小于90
°
的弧形，所述支撑部件220可以布置为一个以上。
[0054]
所述下部挡边210和所述支撑部件220以一定间隔相隔开，当所述上部壳体100结合于下部壳体200时，所述上部挡边110插入结合于所述下部挡边210与所述支撑部件220之间，从而能够支撑固定内部空间a中堆叠的晶圆。
[0055]
作为一实施例，所述支撑部件200的高度可以形成为小于所述下部挡边210的高度。
[0056]
所述上部壳体100还可以包括形成在所述上部挡边110外侧面的固定部件115。
[0057]
所述固定部件115位于所述上部挡边110外侧面上的两个闩锁孔150之间，当所述上部壳体100与下部壳体200结合时，所述固定部件155插入结合于两个支撑部件220之间，从而可以更牢固地固定堆叠在内部空间a中的晶圆。
[0058]
所述下部挡边210可以以预定间隔包括一个以上的朝向内侧的突出部件215。
[0059]
当所述上部壳体100与下部壳体200结合时，所述突出部件215可以固定堆叠在所述内部空间a中的晶圆。
[0060]
更具体地，可以如图4所示地构成所述突出部件215。所述突出部件215在所述下部挡边210的内侧面形成为向内侧突出，并且优选地，形成有所述突出部件215的部分的拔模斜度形成为0
°
。
[0061]
下部挡边210具有0.5
°
至3.0
°
的拔模斜度。更优选地，具有0.5
°
～1.0
°
的拔模斜度。由于所述下部挡边210具有拔模斜度，在内部空间a中堆叠晶圆时，越往上端，在晶圆与下部挡边210之间就越会形成空隙，从而在移送晶圆时，堆叠的晶圆可能会晃动。对此，突出部件215结合于下部挡边210，从而与突出部件215相结合的部分形成为无斜度(拔模斜度0
°
)，据此可以无空隙地进行堆叠至堆叠晶圆的上端，以提高移送时的安全性。
[0062]
本发明的权利范围不限于所述实施例，而是可以在所附权利要求的范围内通过各种形式的实施例来实现。在不脱离权利要求书中所请求的本发明的要旨的情况下，本发明所属技术领域的任何普通技术人员可以变形的多种范围都将视为属于本发明的权利要求书中记载的范围内。