一种平面靶材模具的制作方法

本技术涉及靶材成型，特别是涉及一种平面靶材模具。

背景技术：

1、目前，氧化铟锡靶材(ito靶材)是一种电子陶瓷材料，主要用于磁控溅射镀制ito膜。在科技水平发展日新月异中，追求平面靶材应用的尺寸也随之越来越大，成型技术要求也更加精益求精。

2、制作氧化铟锡靶材的粉料是球形状，将粉料填充在矩形模具框内，当模压不断增大时，由于矩形模具框内四个直角拐角与呈球形状的粉料之间的接触面积较小(矩形模具框的相邻两侧面与球形状粉料的形状不适配)，从而导致位于四个直角拐角的粉料受力不均匀，位于四个直角拐角的粉料的受力小于粉料其他位置所受的力，从而使压制出的素坯四个素坯边缘的强度低容易产生崩角引起靶材开裂现象。而且在压制过程中，当卸掉模压素坯出模后会因为弹性内松弛作用，靶坯将发生弹性膨胀，有0％～5％的膨胀，所以成型的素坯尺寸大于模框尺寸，以至于素坯在出坯过程会与模具中框棱边发生碰撞，导致靶材崩边、裂纹，降低靶坯使用。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是：提供一种能够使压制出的素坯的四个素坯边缘的强度更高的平面靶材模具。

2、为了实现上述目的，本实用新型提供了一种平面靶材模具，其包括：上模座、中模座以及下模座；所述上模座朝向所述中模座的一侧设置有第一模板；所述下模座朝向所述中模座的一侧设置有第二模板；所述中模座设置有模腔；所述第一模板和第二模板分别设置在所述模腔内；

3、所述第一模板具有第一侧表面、第二侧表面、第三侧表面以及第四侧表面；所述第一侧表面与所述第二侧表面的拐角、所述第二侧表面与所述第三侧表面的拐角所述第三侧表面与所述第四侧表面的拐角以及所述第四侧表面与所述第一侧表面的拐角分别为第一圆角；

4、所述模腔具有第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁以及第四侧壁；所述中模座与所述上模座相对的一侧为第一顶面；所述第一侧壁与所述第二侧壁的拐角、所述第二侧壁与所述第三侧壁的拐角、所述第三侧壁与所述第四侧壁的拐角、所述第四侧壁与所述第一侧壁的拐角分别为第二圆角。

5、可选的，所述第二模板与所述上模座相对的一侧为第二顶面；所述第二顶面凹陷形成凹腔。

6、可选的，所述凹腔具有底壁、第五侧壁、第六侧壁、第七侧壁以及第八侧壁；所述底壁与所述第五侧壁的拐角、所述底壁与所述第六侧壁的拐角、所述底壁与所述第七侧壁的拐角以及所述底壁与所述第八侧壁的拐角分别为第三圆角。

7、可选的，所述第五侧壁与所述第六侧壁的拐角、所述第六侧壁与所述第七侧壁的拐角、所述第七侧壁与所述第八侧壁的拐角以及所述第八侧壁与所述第五侧壁的拐角分别为第四圆角。

8、可选的，所述第一顶面与所述第一侧壁的拐角、所述第一顶面与所述第二侧壁的拐角、所述第一顶面与所述第三侧壁的拐角、所述第一顶面与所述第四侧壁的拐角分别为第五圆角。

9、可选的，所述上模座为碳钢上模座；所述中模座为碳钢中模座；所述下模座为碳钢下模座。

10、可选的，所述第一侧表面、第二侧表面、第三侧表面、第四侧表面、第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁、第四侧壁、底壁、第五侧壁、第六侧壁、第七侧壁以及第八侧壁上分别设置有模具钢层。

11、可选的，所述第一圆角的角度范围为3°-15°。

12、可选的，所述第二圆角的角度范围为3°-15°。

13、可选的，所述上模座、所述中模座以及所述下模座沿第一方向依次设置；所述模腔在第二方向上的长度大于100mm；所述模腔在第三方向上的长度大于100mm；所述第一方向、所述第二方向以及所述第三方向之间两两垂直。

14、本实用新型实施例一种平面靶材模具与现有技术相比，其有益效果在于：

15、本实用新型实施例通过在第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁以及第四侧壁之间分别设置第二圆角，也即是在模腔的四个边缘上分别设置有第二圆角，使第一模板在压制球形状粉料时，位于模腔四个边缘的球形状粉料能够与第二圆角相接触，相较以往的直角边缘，圆角边缘与球形状粉料的弧度更加适配，使圆角边缘与球形状粉料的接触面积更大，能够使压制出的素坯的四个素坯边缘的强度更高，避免素坯成型时发生崩角、裂纹现象。其次，本申请的第一圆角与第二圆角的角度相适配，以使第一模板压制入模腔中时，第一模板与模腔之间没有间隙，以避免球形状粉料外溢。

技术特征：

1.一种平面靶材模具，其特征在于，包括：上模座、中模座以及下模座；所述上模座朝向所述中模座的一侧设置有第一模板；所述下模座朝向所述中模座的一侧设置有第二模板；所述中模座设置有模腔；所述第一模板和第二模板分别设置在所述模腔内；

2.根据权利要求1所述的平面靶材模具，其特征在于，所述第二模板与所述上模座相对的一侧为第二顶面；所述第二顶面凹陷形成凹腔。

3.根据权利要求2所述的平面靶材模具，其特征在于，所述凹腔具有底壁、第五侧壁、第六侧壁、第七侧壁以及第八侧壁；所述底壁与所述第五侧壁的拐角、所述底壁与所述第六侧壁的拐角、所述底壁与所述第七侧壁的拐角以及所述底壁与所述第八侧壁的拐角分别为第三圆角。

4.根据权利要求3所述的平面靶材模具，其特征在于，所述第五侧壁与所述第六侧壁的拐角、所述第六侧壁与所述第七侧壁的拐角、所述第七侧壁与所述第八侧壁的拐角以及所述第八侧壁与所述第五侧壁的拐角分别为第四圆角。

5.根据权利要求1所述的平面靶材模具，其特征在于，所述第一顶面与所述第一侧壁的拐角、所述第一顶面与所述第二侧壁的拐角、所述第一顶面与所述第三侧壁的拐角、所述第一顶面与所述第四侧壁的拐角分别为第五圆角。

6.根据权利要求1所述的平面靶材模具，其特征在于，所述上模座为碳钢上模座；所述中模座为碳钢中模座；所述下模座为碳钢下模座。

7.根据权利要求1所述的平面靶材模具，其特征在于，所述第一侧表面、第二侧表面、第三侧表面、第四侧表面、第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁、第四侧壁、底壁、第五侧壁、第六侧壁、第七侧壁以及第八侧壁上分别设置有模具钢层。

8.根据权利要求1所述的平面靶材模具，其特征在于，所述第一圆角的角度范围为3°-15°。

9.根据权利要求1所述的平面靶材模具，其特征在于，所述第二圆角的角度范围为3°-15°。

10.根据权利要求1所述的平面靶材模具，其特征在于，所述上模座、所述中模座以及所述下模座沿第一方向依次设置；所述模腔在第二方向上的长度大于100mm；所述模腔在第三方向上的长度大于100mm；所述第一方向、所述第二方向以及所述第三方向之间两两垂直。

技术总结本技术涉及靶材成型技术领域，公开了一种平面靶材模具，其包括：上模座、中模座以及下模座；本申请通过在第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁以及第四侧壁之间分别设置第二圆角，也即是在模腔的四个边缘上分别设置有第二圆角，使第一模板在压制球形状粉料时，位于模腔四个边缘的球形状粉料能够与第二圆角相接触，相较以往的直角边缘，圆角边缘与球形状粉料的弧度更加适配，使圆角边缘与球形状粉料的接触面积更大，能够使压制出的素坯的四个素坯边缘的强度更高，避免素坯成型时发生崩角、裂纹现象。其次，本申请的第一圆角与第二圆角的角度相适配，以使第一模板压制入模腔中时，第一模板与模腔之间没有间隙，以避免球形状粉料外溢。技术研发人员：李叶,李帅,蔡基常,余芳,李明鸿受保护的技术使用者：先导薄膜材料（广东）有限公司技术研发日：20230915技术公布日：2024/6/11