一种可拆卸式辊刷套筒的制作方法

本技术属于半导体清洁设备，具体涉及一种可拆卸式辊刷套筒。

背景技术：

1、聚乙烯醇刷筒通常在自动清洁系统内用于提供cmp(化学机械平坦化)后处理过程来有效地清洁基材表面例如半导体晶圆或其他的圆盘形基材。在清洁过程中，刷筒位于中央刷心轴上并由其驱动。在刷筒和中央刷心轴之间需要有准确且稳定的连接。刷筒在其外表面上可设有凸起以帮助清洁基材。

2、现有一种刷筒，如专利cn201280032985.5中所公开，具有可拆卸的刷筒和位于中部的刷心轴，其中，为了保证刷筒和刷心轴的稳定连接，在刷心轴上设置有多个凹凸结构，以避免刷筒在刷心轴上打滑，该种结构需要刷筒具有与刷心轴适配的内壁结构，该种结构虽然提高了刷筒和刷心轴之间连接的稳定性，但是也增大了刷筒的组装和更换难度，进行组装时，需要刷心轴与刷筒处于预设相对位置才能将刷筒套入刷心轴，操作较为麻烦且易由于对位不准而损坏刷筒内壁。

技术实现思路

1、针对上述存在的技术问题，本实用新型提供了一种可拆卸式辊刷套筒，以解决现有晶圆片清洁刷的刷筒更换不便的问题，该可拆卸式辊刷套筒在保证连接稳定性的前提下降低了组装难度。

2、本实用新型公开了一种可拆卸式辊刷套筒，包括套筒本体和多个片状弹性件，所述套筒本体为两端开口的圆筒状发泡塑胶结构，所述套筒本体的外部设置有多个圆点状凸起，多个所述圆点状凸起在所述套筒本体的外壁上阵列排布，多个所述片状弹性件位于所述套筒本体的内壁中，所述片状弹性件包括固定段和圆弧段，所述固定段的一端嵌入所述套筒本体中，所述固定段的另一端延伸出所述套筒本体的内壁并连接所述圆弧段，所述圆弧段沿所述套筒本体的轴向延伸，且所述圆弧段朝所述套筒本体的中心轴线方向凸出。

3、进一步的，所述片状弹性件为金属弹性片。

4、进一步的，所述套筒本体为发泡pva筒，所述圆点状凸起与所述套筒本体一体成型。

5、本可拆卸式辊刷套筒用于与刷心轴配合，在套筒本体的内壁设置有多个片状弹性件，当需要对所述可拆卸式辊刷套筒进行更换时，可将套筒本体从刷心轴的端部套设于刷心轴的外周，且所述片状弹性片在受力时会发生弹性形变，从而组装是仅需保证套筒本体和刷心轴处于同轴装填，套筒本体和刷心轴处于任意相对转动角度均可将套筒本体套设于刷心轴上，将套筒本体套设于刷心轴上后，仅需稍微转动套筒本体，当片状弹性片与刷心轴上的凹槽对应上时，即可弹出实现定位，从而避免套筒本体在刷心轴上打滑，在对所述套筒本体进行拆卸时，通过轴向施力即可将套筒本体取下，具有较低的更换难度。

技术特征：

1.一种可拆卸式辊刷套筒，其特征在于，包括套筒本体和多个片状弹性件，所述套筒本体为两端开口的圆筒状发泡塑胶结构，所述套筒本体的外部设置有多个圆点状凸起，多个所述圆点状凸起在所述套筒本体的外壁上阵列排布，多个所述片状弹性件位于所述套筒本体的内壁中，所述片状弹性件包括固定段和圆弧段，所述固定段的一端嵌入所述套筒本体中，所述固定段的另一端延伸出所述套筒本体的内壁并连接所述圆弧段，所述圆弧段沿所述套筒本体的轴向延伸，且所述圆弧段朝所述套筒本体的中心轴线方向凸出。

2.根据权利要求1所述的一种可拆卸式辊刷套筒，其特征在于，所述片状弹性件为金属弹性片。

3.根据权利要求1所述的一种可拆卸式辊刷套筒，其特征在于，所述套筒本体为发泡pva筒，所述圆点状凸起与所述套筒本体一体成型。

技术总结本技术公开了一种可拆卸式辊刷套筒，包括套筒本体和多个片状弹性件，所述套筒本体为两端开口的圆筒状发泡塑胶结构，所述套筒本体的外部设置有多个圆点状凸起，多个所述圆点状凸起在所述套筒本体的外壁上阵列排布，多个所述片状弹性件位于所述套筒本体的内壁中，所述片状弹性件包括固定段和圆弧段，所述固定段的一端嵌入所述套筒本体中，所述固定段的另一端延伸出所述套筒本体的内壁并连接所述圆弧段，所述圆弧段沿所述套筒本体的轴向延伸，且所述圆弧段朝所述套筒本体的中心轴线方向凸出。本技术方案用于解决现有晶圆片清洁刷的刷筒更换不便的问题。技术研发人员：李东吉,申俊豪受保护的技术使用者：深圳市华迈精创科技有限公司技术研发日：20230908技术公布日：2024/4/17