一种MEMS传感器的切割装置的制作方法

本技术涉及一种mems传感器的切割装置。

背景技术：

1、mems(micro-electro-mechanical systems，微机电系统)传感器具有体积小、成本低、集成化等优点，血糖连续监测产品中采用mems传感器持续性检测葡萄糖浓度。葡萄糖传感器主要由修饰电极和变换器组成，其中修饰电极可以选择性地催化葡萄糖在电极表面的氧化反应，变换器则把发生反应的化学信号转换为电信号，并通过仪表或软件显示出来。葡萄糖传感器由三电极体系组成，即工作电极、参比电极、对电极。其中参比电极在测量过程中提供一个稳定的电极电位。常见的参比电极由银/氯化银组成。

2、丝网印刷电极是利用印刷技术将碳浆、银浆等导电材料，按设计图样印刷于附着力良好的基材而生成的电极。丝网印刷电极的基材一般会选用pvc或pet等片材。印刷后的电极利用切割机将其切成单个的微型电极。常见的切割机有二氧化碳切割机、光纤切割机等。利用激光切割pet基的丝网印刷电极时，常常会发现切割后的电极pet片材截面发黄，且由于热效应的原因，致使平面氯化银部位呈黑色状，截面处会有氯化银塌缩状。考虑到参比电极对于整个传感器的稳定性起着至关重要的作用，如何切割传感器使上述问题不会发生是急需解决的。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是克服现有技术的缺陷，提供一种mems传感器的切割装置，可以有效消除电极切割面烧灼发黄现象，大幅提高了微型电极的稳定性。

2、实现上述目的的技术方案是：一种mems传感器的切割装置，包括传感器承载台、冲压机、刀座和多个模切刀，其中：

3、所述冲压机通过支架设置在所述传感器承载台的上方；

4、所述刀座设置在所述冲压机的输出端；

5、所述多个模切刀呈阵列分布在所述刀座的底端；

6、所述传感器承载台上设置有待切割的传感器板，所述传感器板上具有多个呈阵列分布的mems传感器，所述多个模切刀一一对应地位于多个mems传感器的正上方；

7、每个模切刀的刀口的内部空间形状均与所述mems传感器的外形相适配，且每个模切刀的刀口的外侧面呈倾斜面，内侧面呈垂直面。

8、所述mems传感器由横向连接部和竖向植入部连接呈l形，且横向连接部和竖向植入部的连接处的顶端具有向上凸出的凸台；

9、每个模切刀的刀口均由横向刀口和竖向刀口连接呈l形，且横向刀口和竖向刀口的连接处的顶端具有向上凸出的刀口凸台。

10、本实用新型的mems传感器的切割装置，可以有效消除电极切割面烧灼发黄现象，大幅提高了微型电极的稳定性。

技术特征：

1.一种mems传感器的切割装置，其特征在于，包括传感器承载台、冲压机、刀座和多个模切刀，其中：

2.根据权利要求1所述的一种mems传感器的切割装置，其特征在于，所述mems传感器由横向连接部和竖向植入部连接呈l形，且横向连接部和竖向植入部的连接处的顶端具有向上凸出的凸台；

技术总结本技术公开了一种MEMS传感器的切割装置，包括传感器承载台、冲压机、刀座和多个模切刀，冲压机通过支架设置在所述传感器承载台的上方；刀座设置在所述冲压机的输出端；多个模切刀呈阵列分布在所述刀座的底端；传感器承载台上设置有待切割的传感器板，所述传感器板上具有多个呈阵列分布的MEMS传感器，所述多个模切刀一一对应地位于多个MEMS传感器的正上方；每个模切刀的刀口的内部空间形状均与所述MEMS传感器的外形相适配，且每个模切刀的刀口的外侧面呈倾斜面，内侧面呈垂直面。本技术的MEMS传感器的切割装置，可以有效消除电极切割面烧灼发黄现象，大幅提高了微型电极的稳定性。技术研发人员：唐荣俊受保护的技术使用者：糖简医疗科技（苏州）有限公司技术研发日：20230919技术公布日：2024/6/13