感光性树脂组合物、硬化物、有机EL显示装置、半导体装置及硬化物的制造方法与流程

本发明涉及一种感光性树脂组合物及使用所述组合物的硬化物、包括硬化物的有机el显示装置、包括硬化物的半导体装置及硬化物的制造方法。

背景技术：

1、在智能手机、平板个人计算机(personal computer，pc)及电视等具有薄型显示器的显示装置中，开发了很多使用有机电致发光(electroluminescence)(以下记为“有机el”)显示装置的产品。

2、通常，有机el显示装置在基板上具有驱动电路、平坦化层、第一电极、像素分割层、发光层以及第二电极，通过在相向的第一电极与第二电极之间施加电压或者通过流过电流而发光。这些中，作为平坦化层用材料及像素分割层用材料，通常使用能够通过紫外线照射进行图案化的感光性树脂组合物。其中，使用了聚酰亚胺系或聚苯并噁唑系的树脂的感光性树脂组合物由于树脂的耐热性高、自硬化物产生的气体成分少而能够获得高可靠性的有机el显示装置，就此方面而言可优选地使用(例如，参照专利文献1)。

3、另一方面，对有机el显示装置的高可靠化要求逐年严格，对于平坦化层用材料及像素分割层用材料，也要求一种在高温、高湿、光照射等加速条件下的可靠性试验后也不会产生发光亮度降低或像素收缩(shrink)的材料。此处，所谓像素收缩，是指来自像素的端部的发光亮度降低或不点亮的现象。

4、另外，基于基板的大型化或生产性提高等理由，为了缩短曝光时间，对感光性树脂组合物要求更高的灵敏度。

5、进而，近年来，在树脂膜基板上形成的可挠性有机el显示装置的开发正在盛行。可挠性有机el显示装置在结构上具有能够弯曲的部分和/或固定为经弯曲的状态的部分，在所述弯曲部分会对平坦化层或像素分割层施加弯曲应力。在包含此种弯曲部分的可挠性有机el显示装置中，对平坦化层用材料及像素分割层用材料要求高的耐弯折性。

6、基于此种背景，强烈希望开发一种可以高灵敏度进行图案化、可获得耐弯折性高、可靠性优异的硬化物的感光性树脂组合物。

7、针对此种课题，作为能够高灵敏度化的感光性树脂组合物，对在聚酰亚胺树脂或聚苯并噁唑树脂中混合酚醛清漆树脂或聚羟基苯乙烯树脂的情况进行了研究(例如，参照专利文献2)。另外，作为可赋予高耐弯折性的感光性树脂组合物，对在感光性树脂组合物中添加特定的含酚性羟基的化合物与酚系抗氧化剂的情况进行了研究(例如，参照专利文献3)。

8、现有技术文献

9、专利文献

10、专利文献1：日本专利特开2002-91343号公报

11、专利文献2：日本专利特开2008-268788号公报

12、专利文献3：国际公开第2019-065351号

技术实现思路

1、发明所要解决的问题

2、然而，关于上述所列举的专利文献中提出的材料，难以称之为在车载用显示器等高可靠性化要求更严格的用途中具有充分的性能。本发明鉴于上述问题，目的在于提供一种高灵敏度且硬化物的耐弯折性高、将硬化物用于有机el显示装置时的可靠性高的感光性树脂组合物。

3、解决问题的技术手段

4、本发明的目的通过以下的结构来实现。即，

5、[1]

6、一种感光性树脂组合物，含有(a)碱可溶性树脂、(b)醌二叠氮化合物、(c)热交联剂及(d)热酸产生剂，所述感光性树脂组合物中，所述(c)热交联剂含有(c1)在分子中具有酚性羟基且具有羟甲基和/或烷氧基甲基的热交联剂、以及(c2)具有环氧基的热交联剂。

7、[2]

8、根据所述[1]所述的感光性树脂组合物，其中，所述(c2)具有环氧基的热交联剂含有选自由含异氰脲酸环结构的环氧热交联剂、脂环式环氧热交联剂、及脂肪族环氧热交联剂所组成的群组中的一种以上的热交联剂。

9、[3]

10、根据所述[1]或[2]所述的感光性树脂组合物，其中，所述(d)热酸产生剂含有具有磺酸酯结构的热酸产生剂。

11、[4]

12、根据所述[1]至[3]中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述(d)热酸产生剂含有式(5)所表示的化合物。

13、[化1]

14、

15、(式(5)中，r20为碳数1～10的二价～四价的基；r21分别独立地表示可具有取代基的碳数1～10的烷基、或者可具有取代基的碳数6～20的芳基；作为所述取代基，可列举：羟基、卤素原子、氰基、乙烯基、乙炔基或者碳数1～10的直链或环状的烷基；a表示2～4的整数)

16、[5]

17、根据所述[1]至[4]中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述(a)碱可溶性树脂含有选自由聚酰亚胺、聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑、聚苯并噁唑前体、以及这些的共聚物所组成的群组中的一种以上的碱可溶性树脂。

18、[6]

19、根据所述[1]至[5]中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，当将所述(c1)在分子中具有酚性羟基且具有羟甲基和/或烷氧基甲基的热交联剂的含量设为γ1(质量)并将所述(c2)具有环氧基的热交联剂的含量设为γ2(质量)时，质量比率γ1/γ2为0.5≦γ1/γ2≦2.0的范围。

20、[7]

21、根据所述[1]至[6]中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述(c2)具有环氧基的热交联剂含有脂肪族环氧热交联剂。

22、[8]

23、根据所述[1]至[7]中任一项所述的感光性树脂组合物，还含有(e)聚羟基苯乙烯、和/或聚羟基苯乙烯/聚苯乙烯共聚物。

24、[9]

25、根据所述[8]所述的感光性树脂组合物，其中，当将所述(c1)在分子中具有酚性羟基且具有羟甲基和/或烷氧基甲基的热交联剂的含量设为γ1(质量)、将所述(c2)具有环氧基的热交联剂的含量设为γ2(质量)并将所述(e)成分的含量设为γ3(质量)时，质量比率(γ1+γ2)/γ3为0.5≦(γ1+γ2)/γ3≦3.0的范围。

26、[10]

27、一种硬化物，将根据所述[1]至[9]中任一项所述的感光性树脂组合物硬化而成。

28、[11]

29、一种有机el显示装置，包括根据所述[10]所述的硬化物。

30、[12]

31、一种半导体装置，包括根据所述[10]所述的硬化物。

32、[13]

33、一种硬化物的制造方法，依序包括：

34、(1)将根据所述[1]至[9]中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板而形成感光性树脂膜的工序；

35、(2)对所述感光性树脂膜进行干燥的工序；

36、(3)介隔光掩模对干燥后的感光性树脂膜进行曝光的工序；

37、(4)对曝光后的感光性树脂膜进行显影的工序；及

38、(5)对显影后的感光性树脂膜进行加热处理的工序。

39、发明的效果

40、本发明的感光性树脂组合物可提供一种高灵敏度且硬化物的耐弯折性高、将硬化物用于有机el显示装置时的可靠性高的感光性树脂组合物。