一种用于激光实验的真空实验装置的制作方法

本技术涉及真空实验装置，尤其涉及一种用于激光实验的真空试验装置。

背景技术：

1、一般来说，在激光相关实验或激光系统的搭建过程中，部分光路需要在真空环境下实现，因此需要提供一个真空腔室及内部的面包板来进行光路的搭建。现有的面包板一般情况下都是靠螺丝固定在腔室底板上，与腔室属于硬连接。抽真空过程中，内外大气压差可能会产生应力使真空腔室受力变形，腔室内部的面包板与底板用螺栓固定在一起，因此腔室的变形会直接导致面包板的变形，进而使内部的光路发生偏移，影响激光系统输出的稳定性。因此腔室在真空环境下产生形变的时候必然会导致面包板同时产生形变，进而影响到面包板上光路元件的稳定性。

技术实现思路

1、本实用新型提供了一种用于激光实验的真空实验装置，以解决真空腔腔室因应力变形时使面包板形变影响光路稳定性的问题。

2、一种用于激光实验的真空实验装置，包括真空腔室与真空腔室支撑架，真空腔室有一腔室底板，真空腔室内置面包板，所述面包板设置于腔室底板上侧，所述面包板下侧设置面包板支撑架，所述面包板支撑架支撑于地面上，所述面包板支撑架穿过腔室底板伸入真空腔室内以便固定安装面包板，所述面包板支撑架与真空腔室之间通过柔性结构密封连接。

3、有益效果：本实用新型经过改进，在真空腔室因大气压差产生应力而形变时，柔性结构可以缓冲形变，将原本真空腔室与面包板之间的硬连接转化为软连接，有效降低真空腔室的形变对面包板形状的影响，维持光路的稳定性。

4、进一步地，柔性结构为波纹管，波纹管一端与腔室底板连接，另一端与面包板支撑架连接。

5、有益效果：波纹管可以横向竖向移动，从而补偿安装位置误差。

6、更进一步地，面包板支撑架包括支撑结构和调节基座，支撑结构包括面包板支撑柱，所述面包板支撑柱一端穿过腔室底板与面包板连接，一端与调节基座固定连接。

7、有益效果：面包板支撑架包括支撑结构和调节基座，在支撑面包板的同时还能在不破坏真空环境的情况下调节面包板的高度。

8、进一步地，调节基座包括基架，基架包括立柱和横梁，立柱上端通过螺纹连接有调节螺杆，调节螺杆与面包板支撑柱连接。

9、有益效果：螺纹连接较为稳固，便于调节面包板的高度，满足激光系统光高的要求。

10、更进一步地，面包板支撑柱与调节螺杆之间绕竖直轴线转动装配。

11、有益效果：调节基座调节面包板高度时可以不必拆解装置，直接调节。

12、更进一步地，面包板支撑柱与调节螺杆之间可拆连接。

13、有益效果：可拆连接便于面包板支撑架的拆装。

14、更进一步地，调节螺杆与立柱上端设有锁紧螺母。

15、有益效果：锁紧螺母可以在高度调节完毕后锁紧调节螺杆，防止高度变化。

16、更进一步地，调节螺杆的上端设置有连接法兰，波纹管底部焊接连接有底部法兰，面包板支撑柱与底部法兰焊接，连接法兰与底部法兰通过螺栓连接，调节螺杆通过与连接法兰绕竖直轴线的转动安装实现其与面包板支撑柱的转动装配。

17、有益效果：法兰便于调节螺杆与面包板支撑柱连接，面包板支撑柱与底板法兰焊接在一起，能提高波纹管底部的气密性。

18、此外，面包板为矩形，面包板支撑柱有四个，分别与面包板的四角连接。

19、有益效果：面包板与真空腔室形状相同，较为匹配，能更大程度地利用真空腔室内的空间，面包板支撑柱分别支撑面包板的四角，可保证支撑稳定。

技术特征：

1.一种用于激光实验的真空实验装置，包括真空腔室(1)与真空腔室支撑架(5)，真空腔室(1)有一腔室底板(7)，真空腔室(1)内置面包板(2)，所述面包板(2)设置于腔室底板(7)上侧，其特征在于：所述面包板(2)下侧设置面包板支撑架(4)，所述面包板支撑架(4)支撑于地面上，所述面包板支撑架(4)穿过腔室底板(7)伸入真空腔室内以便固定安装面包板(2)，所述面包板支撑架(4)与真空腔室(1)之间通过柔性结构密封连接。

2.根据权利要求1所述的用于激光实验的真空实验装置，其特征在于：所述柔性结构为波纹管(3)，波纹管(3)一端与腔室底板(7)连接，另一端与面包板支撑架(4)连接。

3.根据权利要求2所述的用于激光实验的真空实验装置，其特征在于：所述面包板支撑架(4)包括支撑结构和调节基座，支撑结构包括面包板支撑柱(8)，所述面包板支撑柱(8)一端穿过腔室底板(7)与面包板(2)连接，一端与调节基座固定连接。

4.根据权利要求3所述的用于激光实验的真空实验装置，其特征在于：所述调节基座包括基架(13)，基架(13)包括立柱和横梁，立柱上端通过螺纹连接有调节螺杆(11)，调节螺杆(11)与面包板支撑柱(8)连接。

5.根据权利要求4所述的用于激光实验的真空实验装置，其特征在于：所述面包板支撑柱(8)与调节螺杆(11)之间绕竖直轴线转动装配。

6.根据权利要求5所述的用于激光实验的真空实验装置，其特征在于：所述面包板支撑柱(8)与调节螺杆(11)之间可拆连接。

7.根据权利要求5所述的用于激光实验的真空实验装置，其特征在于：调节螺杆(11)与立柱上端设有锁紧螺母(12)。

8.根据权利要求6所述的用于激光实验的真空实验装置，其特征在于：调节螺杆(11)的上端设置有连接法兰(10)，波纹管(3)底部焊接连接有底部法兰(9)，面包板支撑柱(8)与底部法兰(9)焊接，连接法兰(10)与底部法兰(9)通过螺栓连接，调节螺杆(11)通过与连接法兰绕竖直轴线的转动安装实现其与面包板支撑柱(8)的转动装配。

9.根据权利要求3所述的用于激光实验的真空实验装置，其特征在于：所述面包板(2)为矩形，所述面包板支撑柱有四个，分别与面包板(2)的四角连接。

技术总结本技术涉及真空实验装置技术领域，尤其涉及一种用于激光实验的真空实验装置。主要用于解决在真空激光实验中，真空环境下腔体受应力变形导致面包板变形进而影响光路稳定性的问题。该真空腔室与面包板各自独立支撑，在真空腔与面包板之间设置柔性结构，使原本真空腔与面包板之间的硬连接转化为软连接，可以降低腔体的变形对面包板的影响，从而可以使面包板保持在稳定的状态，保持光路的稳定性。技术研发人员：张颖力,张超,鲁巍,赵遵成受保护的技术使用者：河南省启封新源光电科技有限公司技术研发日：20231009技术公布日：2024/5/16