一种曝光机Chuck盘的制作方法

本技术涉及chuck盘领域，尤其涉及一种曝光机chuck盘。

背景技术：

1、chuck盘又称卡盘，是在半导体、面板显示、光学等领域中常用到的卡盘，现有的曝光机chuck盘大多是依靠夹具将晶圆进行固定，这种方式不方便对晶圆进行固定，使用起来较为不便。

技术实现思路

1、为了弥补以上不足，本实用新型提供了一种曝光机chuck盘，旨在改善曝光机chuck盘，在通常情况下曝光机chuck盘不方便对晶圆进行固定的问题。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种曝光机chuck盘，包括底板，所述底板的上表面中心处固定连接有放置盘，所述放置盘的上表面开设有凹槽，所述底板的一端开设有抽气孔，所述底板的上表面四角处开设有安装孔，所述安装孔的内壁滑动连接有夹持机构，所述夹持机构包括连接槽、滑杆与固定板，所述安装孔的上表面开设有连接槽，所述安装孔的内壁滑动连接有滑杆，所述滑杆的外壁固定连接有固定板，所述固定板滑动连接在连接槽的内壁。

3、作为上述技术方案的进一步描述：

4、所述滑杆的外壁套设有滑块。

5、作为上述技术方案的进一步描述：

6、所述滑块的外壁固定连接有夹板，所述夹板内壁设有硅胶缓冲层。

7、作为上述技术方案的进一步描述：

8、所述滑块的上表面设置有锁紧螺母。

9、作为上述技术方案的进一步描述：

10、所述锁紧螺母螺纹连接在滑杆的外壁。

11、作为上述技术方案的进一步描述：

12、所述固定板的上表面开设有螺孔。

13、作为上述技术方案的进一步描述：

14、所述螺孔的内壁螺纹连接有螺丝。

15、作为上述技术方案的进一步描述：

16、所述螺孔贯穿底板。

17、本实用新型具有如下有益效果：

18、1、本实用新型中，将晶圆放置在放置盘上，而后将抽气泵连接抽气孔，抽气泵将空气抽出，晶圆与放置盘形成负压，通过这种设计达到了方便将晶圆固定在放置盘上的效果。

19、2、本实用新型中，将滑杆放置在安装孔内，固定板同步滑入连接槽内，通过转动螺丝的方式将螺丝安装进螺孔内，将滑块安装在滑杆上，夹板随着滑块下移，通过转动锁紧螺母的方式将锁紧螺母安装在滑杆上，通过这种设计达到进一步固定晶圆的效果，同时达到了防止晶圆发生偏移的效果。

技术特征：

1.一种曝光机chuck盘，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的上表面中心处固定连接有放置盘(2)，所述放置盘(2)的上表面开设有凹槽(3)，所述底板(1)的一端开设有抽气孔(4)，所述底板(1)的上表面四角处开设有安装孔(5)，所述安装孔(5)的内壁滑动连接有夹持机构，所述夹持机构包括连接槽(6)、滑杆(7)与固定板(8)，所述安装孔(5)的上表面开设有连接槽(6)，所述安装孔(5)的内壁滑动连接有滑杆(7)，所述滑杆(7)的外壁固定连接有固定板(8)，所述固定板(8)滑动连接在连接槽(6)的内壁。

2.根据权利要求1所述的一种曝光机chuck盘，其特征在于：所述滑杆(7)的外壁套设有滑块(9)。

3.根据权利要求2所述的一种曝光机chuck盘，其特征在于：所述滑块(9)的外壁固定连接有夹板(10)，所述夹板(10)内壁设有硅胶缓冲层。

4.根据权利要求3所述的一种曝光机chuck盘，其特征在于：所述滑块(9)的上表面设置有锁紧螺母(11)。

5.根据权利要求4所述的一种曝光机chuck盘，其特征在于：所述锁紧螺母(11)螺纹连接在滑杆(7)的外壁。

6.根据权利要求1所述的一种曝光机chuck盘，其特征在于：所述固定板(8)的上表面开设有螺孔(12)。

7.根据权利要求6所述的一种曝光机chuck盘，其特征在于：所述螺孔(12)的内壁螺纹连接有螺丝(13)。

8.根据权利要求6所述的一种曝光机chuck盘，其特征在于：所述螺孔(12)贯穿底板(1)。

技术总结本技术涉及Chuck盘领域，公开了一种曝光机Chuck盘，包括底板，所述底板的上表面中心处固定连接有放置盘，所述放置盘的上表面开设有凹槽，所述底板的一端开设有抽气孔，所述底板的上表面四角处开设有安装孔，所述安装孔的内壁滑动连接有夹持机构，所述夹持机构包括连接槽、滑杆与固定板，所述安装孔的上表面开设有连接槽，所述安装孔的内壁滑动连接有滑杆，所述滑杆的外壁固定连接有固定板，所述固定板滑动连接在连接槽的内壁。本技术中，将晶圆放置在放置盘上，而后将抽气泵连接抽气孔，抽气泵将空气抽出，晶圆与放置盘形成负压，通过这种设计达到了方便将晶圆固定在放置盘上的效果。技术研发人员：徐向东,徐晋阳受保护的技术使用者：昆山捷发电子材料有限公司技术研发日：20230926技术公布日：2024/5/16