一种曝光机Chuck盘的制作方法

本技术涉及chuck盘领域，尤其涉及一种曝光机chuck盘。背景技术：1、chuck盘又称卡盘，是在半导体、面板显示、光学等领域中常用到的卡盘，现有的曝光机chuck盘大多是依靠夹具将晶圆进行固定，这......

2024-06-21 84

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